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- [发明专利]等离子去胶设备中的冷却装置-CN202111664557.1在审
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曹兴龙
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上海新微技术研发中心有限公司
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2021-12-31
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2023-07-11
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H01J37/32
- 本发明提供一种等离子去胶设备中的冷却装置，所述冷却装置包括：平台，所述平台上设置有用于承载晶圆的支撑结构；冷却管路，所述冷却管路位于所述平台下方，所述冷却管路形成为蛇形管路，所述蛇形管路包括沿一方向扩展的若干个迂回管段，所述蛇形管路包括接入端和排放端且形成为密封管路，所述蛇形管路内填充有流体介质以用于冷却晶圆，两个以上的所述晶圆沿所述蛇形管路扩展的方向排布。采用本发明的等离子去胶设备中的冷却装置，通过在承载晶圆的槽部下方沿一方向均匀排布的迂回管路可以提高晶圆冷却的均匀性，从而可以降低热应力导致的破片风险，降低了产品的生产成本。
- 等离子设备中的冷却装置
- [实用新型]一种电路板裁磨装置-CN202222319635.0有效
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刘辉;廖科力;吴加林;曹兴龙;周静
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龙南骏亚电子科技有限公司
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2022-09-01
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2023-02-03
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B26D1/15
- 本实用新型提供一种电路板裁磨装置，包括：裁磨装置主体、伸缩杆、切割装置、磨盘、切割片、夹持装置、电路板、旋转盘、旋转驱动装置、移动板、透明罩，其特征在于：所述移动板固定安装于所述裁磨装置主体上表面两侧，所述伸缩杆与移动板连接，所述切割装置一端固定在伸缩杆顶端，所述切割装置另一端安装有磨盘，所述磨盘右边安装有切割片，所述裁磨装置主体上表面中心位置安装有旋转驱动装置，所述旋转驱动装置上方安装有旋转盘，所述旋转盘上方安装有夹持装置，所述夹持装置夹持有电路板。本实用新型通过设置的切割装置能够使设备在进行切割的同时对磨切的电路板进行灰尘清理，同时由于内部气流的快速流通能够为磨盘和切割片进行降温处理，能够提升磨盘和切割片的使用寿命，减少成本的付出。
- 一种电路板装置
- [实用新型]一种铜坯料轧制稳定转运装置-CN202222165848.2有效
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曹兴龙
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安徽永杰铜业有限公司
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2022-08-17
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2022-12-13
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B65D25/24
- 本实用新型公开了一种铜坯料轧制稳定转运装置，包括转运车平台和设在转运车平台上方的一组车轮，所述转运车平台上设有用于对铜坯料侧面限位的一对限位板，一对限位板的间距大于铜坯料的宽度，转运车平台上在一对限位板之间的前部设有用于对铜坯料前部限位的前挡板，转运车平台上在一对限位板之间的后部设有用于对铜坯料后部限位的后挡板，所述前挡板和后挡板的高度小于限位板的高度。该铜坯料轧制稳定转运装置结构设计合理，铜带坯料卷放置在转运车平台上两侧通过相对设置的限位板进行限位，铜带坯料卷的前后通过前后挡板进行限位，铜坯料转运稳定可靠；并且装置结构简单，成本相对较低。
- 一种坯料轧制稳定转运装置
- [实用新型]颈部按摩仪-CN202120504635.0有效
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苗蓓亮;于丽;孟翔;曹兴龙;王涛;赵曼
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苗蓓亮
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2021-03-10
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2021-12-14
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A61H23/02
- 本实用新型公开了颈部按摩仪，包括：旋转机构、震动机构；所述震动机构固定安装在所述旋转机构的内部；所述旋转机构摩擦使用人员的风池穴，所述震动机构通过震动刺激使用人员颈部的肌肉，加快使用人员颈部的血液流动；本实用新型通过震动电机驱动蜗轮旋转，使得蜗轮能够带动蜗杆移动，从而蜗杆推动安装架往复运动，随之安装架一侧的弹性球间歇性地撞击按摩块，实现了震动刺激颈部肌肉的功能，同时通过控制支撑臂上的旋转电机工作，使得旋转电机驱动主轴旋转，从而主轴带动按摩块旋转，从而按摩块改变压板的角度，实现了多角度刺激颈部穴位的功能，能够很好的促进颈部血液循环，极大地提高了实用性。
- 颈部按摩
- [实用新型]工艺腔升降脚的辅助安装治具-CN202023142374.7有效
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曹兴龙;刘国峰
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上海新微技术研发中心有限公司
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2020-12-23
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2021-10-01
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B25B27/00
- 本实用新型提供一种工艺腔升降脚的辅助安装治具，包括环形部、横向延伸部及纵向延伸部；横向延伸部一端与环形部相连通，另一端沿第一方向向远离环形部的方向延伸；纵向延伸部一端与环形部相连接，另一端沿第二方向向远离环形部的方向延伸，第一方向和第二方向相互垂直；其中，环形部的内部空腔尺寸、横向延伸部的空腔宽度及纵向延伸部的空腔宽度均与待安装的工艺腔升降脚及下电极的升降槽相匹配；使用时，先将辅助安装治具安放在下电极的升降槽中，然后将工艺腔升降脚安装在辅助安装治具内侧，待工艺腔升降脚固定完成后，将辅助安装治具收起。本实用新型可以有效降低人力成本和提高设备产出率，有助于提高工艺的一致性和稳定性。
- 工艺升降辅助安装
- [实用新型]半导体工艺设备-CN202023196772.7有效
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胡天保;曹兴龙
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上海新微技术研发中心有限公司
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2020-12-23
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2021-07-23
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H01L21/67
- 本实用新型提供一种半导体工艺设备，包括工艺腔室、第一压力侦测器及第二压力侦测器，第一压力侦测器及第二压力侦测器均通过压力侦测管路与工艺腔室相连接，用于侦测工艺腔室内的压力，第一压力侦测器及第二压力侦测器具有不同的侦测量程；其中，压力侦测管路包括水平管路和竖直管路，水平管路一端与工艺腔室水平相连接，另一端与竖直管路垂直相连接，竖直管路竖直向上延伸，第一压力侦测器及第二压力侦测器与竖直管路相连通。本实用新型的半导体工艺设备可以有效减少反应生成物在压力侦测管路内壁的附着，确保压力侦测器的工作灵敏性，有助于提高设备及工艺稳定性，且可以减少管路维修保养时间，降低设备使用成本。
- 半导体工艺设备
- [实用新型]尾气洗涤塔及半导体刻蚀设备-CN202020704051.3有效
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曹兴龙
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上海新微技术研发中心有限公司
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2020-04-30
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2020-12-04
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B01D47/12
- 本实用新型提供一种尾气洗涤塔及半导体刻蚀设备。洗涤塔包括塔体、进气管路、离心泵及补水管路；塔体的底部设置有反应槽；进气管路包括进气端及出气端，进气端与设备的尾气排放管路相连接，出气端与反应槽相连接；离心泵与反应槽及进气管路相连通；补水管路一端与供水源相连接，另一端与进气管路的进气端相连接，用于向进气管路内补水，以使尾气和水混合。本实用新型的尾气洗涤塔通过优化的结构设计，可以提高特定制程时洗涤塔的处理效率，有助于保护环境、避免真空回灌风险、延长排放管路和洗涤塔的使用寿命。采用本实用新型的尾气洗涤塔及半导体刻蚀设备，有助于降低生产成本和提高设备产出率。
- 尾气洗涤半导体刻蚀设备
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