专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种硅晶圆腐蚀装置-CN202211170246.4在审
  • 陈仙;张培健;唐新悦;洪敏;易孝辉;魏佳男;罗婷;仵韵辰;张静;谭开洲 - 中国电子科技集团公司第二十四研究所
  • 2022-09-22 - 2022-11-29 - H01L21/67
  • 本发明提供一种硅晶圆腐蚀装置,包括:承载机构,承载机构包括用于承载硅晶圆的承载盘;旋转机构,与所述承载机构连接,并驱动所述承载机构旋转;喷液机构,设置在所述承载盘上方,用于向所述承载盘上的所述硅晶圆喷射液体;集液流道,环绕于所述承载盘边缘地设置在所述承载盘的外侧,所述集液流道在朝向所述承载盘的方向设置有集液口,所述承载机构旋转时,所述承载盘上的液体在离心作用下进入所述集液流道。本申请能够与硅晶圆的机械减薄工序配合进一步对硅晶圆进行减薄,有效消除了硅晶圆背面所受的机械损伤,有利于提高硅基超薄柔性芯片加工成品率,增加柔性芯片产品可靠性,提高制造效率,具有结构巧妙、实用性强、控制精度高等特点。
  • 一种硅晶圆腐蚀装置
  • [实用新型]一种条烟输送缓冲装置-CN202222013788.2有效
  • 李亚;郑蜀仁;刘磊;赵景瑞;施少卿;徐秀;张培健;许良 - 安徽中烟工业有限责任公司
  • 2022-07-29 - 2022-11-15 - B65G47/74
  • 本实用新型公开了一种条烟输送缓冲装置,包括位于条烟输送带上方左右两侧的两个缓冲机构,条烟输送带安装在输送轨道上且沿前后方向延伸,每个缓冲机构包括缓冲组件以及用于支撑缓冲组件的支撑架,两个缓冲机构的支撑架底部分别滑动设置在一个升降平台上,支撑架能沿着升降平台的左右方向来回滑动,升降平台底部通过升降机构支撑,并通过升降机构驱动升降平台升降,升降平台上设有能带动两个支撑架左右滑动的滑移机构。本实用新型相比现有技术具有以下优点:其与输送轨道为独立设计,实现了缓冲装置方便快捷的安装和取下,且能方便快捷的调整两个缓冲机构的间距。
  • 一种输送缓冲装置
  • [发明专利]深槽隔离双极晶体管及其制造方法-CN202210933000.1在审
  • 罗婷;魏佳男;张培健;付晓君;王鹏;陈仙;易孝辉 - 中国电子科技集团公司第二十四研究所
  • 2022-08-04 - 2022-11-01 - H01L29/732
  • 本发明提供一种深槽隔离双极晶体管及其制造方法,通过设置在第一杂质类型衬底内的第一杂质类型重掺杂区,在过剩载流子向集电区‑衬底PN结输运的路径上引入了高复合率区域,减少了被集电区收集的过剩载流子数量,能够有效降低瞬时光电流的幅值并缩短其持续时间,从而大幅提高了深槽隔离双极晶体管的抗瞬时剂量率效应能力;第一杂质类型重掺杂区位于衬底中,不改变器件的本征区域结构和工艺流程,不影响器件的常规电学参数;第一杂质类型重掺杂区的形成方法简单,与常规器件相比,仅需增加一次离子注入流程,同时不需引出单独的金属接触,有利于降低工艺复杂度和制造成本;同时,在提高抗瞬时剂量率效应能力的同时,还能够提高抗单粒子效应能力。
  • 隔离双极晶体管及其制造方法

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