“宋吉勋”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网_中国专利网

首页在售求购查询申请展会资讯专利榜企服商城升级VIP

立即登录免费注册

在售专利
求购专利
查询专利
新闻资讯
技术展会
招商加盟
专利榜

本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247

本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247

专利名称

专利名称
专利号码
专利分类
申请人
公布日期

农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

专利下载VIP

公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

钻瓜专利网为您找到相关结果9个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]后喷嘴单元及包括后喷嘴单元的基板处理装置-CN202110879710.6在审
发明人：林俊铉;全伦奭;宋吉勋;姜准基 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2021-08-02 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：基板处理装置可具有包括对基板执行所需工程的至少一个工程腔室的处理模块及将所述基板从外部移送到所述处理模块的转位模块。所述至少一个工程腔室可包括上部被放置基板的支撑单元及配置在所述基板的底面下方的后喷嘴单元。所述后喷嘴单元可包括裙座、向所述基板的底面上供应清洗液的至少一个后喷嘴及向所述基板的底面上供应气体的气体喷嘴。所述裙座可包括本体及形成于所述本体内且向所述基板的底面供应气体的多个第一流道及多个第二流道。
喷嘴单元包括处理装置

[发明专利]化学品供应单元和基板处理装置-CN201710302224.1有效
发明人：郑富荣;柳镇泽;宋吉勋;朴善用 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2017-05-02 - 公布日： 2020-11-06 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：提供了一种基板处理装置。该基板处理装置包括：壳体，所述壳体在其中具有处理空间;旋转头，所述旋转头用于支撑和旋转所述处理空间中的基板；以及化学品供应单元，所述化学品供应单元具有喷射喷嘴，所述喷射喷嘴用于将化学品供应到由所述旋转头支撑的所述基板上，其中，所述喷射喷嘴包括喷嘴主体，且其中所述喷嘴主体包括内部空间和微孔，所述内部空间用于接收化学品，所述微孔与所述内部空间连接，用于向下排放所述化学品。
化学品供应单元处理装置

[发明专利]用于处理基板的装置-CN202010703983.0在审
发明人： 宋吉勋;崔起龙;崔荣哲;朴贵秀;朴善用 -专利权人：细美事有限公司;三星电子株式会社
申请日： 2015-05-29 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请涉及用于处理基板的装置。该装置包括：器皿，提供处理空间；基板支撑单元，设置在器皿中以支撑基板；喷射构件，在基板上喷射处理溶液以清洗基板；及提升单元，根据处理溶液的种类改变器皿的垂直位置，以允许处理溶液流入预定一个收集瓶，器皿具有内侧面，在内侧面上形成有至少一个纹理图案；器皿包括多个收集瓶，收集瓶具有在垂直方向上位于不同水平高度的入口，至少一个纹理图案设置在收集瓶中每一个的内侧面上、被设置成具有线性形状、包括多个纹理图案，其中一些纹理图案被设置成彼此具有相同的深度或者具有至少两种不同的深度；至少一个纹理图案包括多个纹理图案，其中一些纹理图案被设置成以至少两种不同的距离彼此间隔开。
用于处理装置

[发明专利]基板处理装置和基板处理方法-CN202010725079.X在审
发明人：李映一;崔重奉;李昇浩;朴贵秀;宋吉勋;吴承勋;金钟翰 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2018-10-12 - 公布日： 2020-10-23 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：提供了一种基板处理装置和基板处理方法。该基板处理装置包括支承构件、处理液喷嘴和控制器，支承构件用于支承基板，处理液喷嘴用于供应处理液至定位在支承构件上的基板，控制器用于控制处理液喷嘴使得在低流量供应段和高流量供应段中将供应至基板的处理液不同地排出，高流量供应段中的每小时平均排出量多于低流量供应段中的每小时平均排出量。
处理装置方法

[发明专利]基板处理装置和基板处理方法-CN201811191785.X在审
发明人：李映一;崔重奉;李昇浩;朴贵秀;宋吉勋;吴承勋;金钟翰 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2018-10-12 - 公布日： 2019-04-19 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：提供了一种基板处理装置和基板处理方法。该基板处理装置包括支承构件、处理液喷嘴和控制器，支承构件用于支承基板，处理液喷嘴用于供应处理液至定位在支承构件上的基板，控制器用于控制处理液喷嘴使得在低流量供应段和高流量供应段中将供应至基板的处理液不同地排出，高流量供应段中的每小时平均排出量多于低流量供应段中的每小时平均排出量。
基板处理装置支承构件处理液喷嘴基板处理控制器处理液低流量高流量排出量基板控制处理支承基板液喷嘴地排

[发明专利]用于干燥基板的装置和方法-CN201310215171.1有效
发明人：金鹏;金基峰;宋吉勋;权五珍 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2013-05-31 - 公布日： 2019-03-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于干燥基板的装置和方法。该装置包括壳体、基板支撑件、流体供给件、以及排放件。壳体设有在其中执行干燥处理的空间。基板支撑件设置在壳体中以支撑基板。流体供给件包括用于将超临界状态的处理流体供给到壳体的供给管线。排放件包括用于将处理流体从壳体排放出的排放管线。这里，供给管线包括设置为以第一供给流速将处理流体供给到壳体的第一供给管线，以及设置为以第二供给流速将处理流体供给到壳体的第二供给管线。
用于干燥装置方法

[发明专利]基板处理装置和基板处理方法-CN201810476146.1在审
发明人：方炳善;郑富荣;崔重奉;金奉主;李映一;宋吉勋;朴贵秀;金光烈;李广燮;柳镇泽 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2018-05-17 - 公布日： 2018-12-07 - 主分类号： H01L21/311 文献下载
摘要：公开了一种基板处理装置和基板处理方法。基板处理方法包括通过向基板照射激光来去除一部分薄膜，并且在去除一部分薄膜之后，通过向基板供应化学品来去除剩余部分的薄膜。
基板处理去除薄膜基板处理装置基板供应化学品基板照射激光

[发明专利]一种基板处理装置及基板处理方法-CN201310215172.6有效
发明人：金基峰;金鹏;宋吉勋;权五珍 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2013-05-31 - 公布日： 2017-07-18 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种利用超临界流体的基板处理装置。所述基板处理装置包括壳体；支撑构件，所述支撑构件设置在所述壳体内以支撑基板；超临界流体供应单元，所述超临界流体供应单元中存储有超临界流体；供应管，所述供应管用于将所述超临界流体供应单元连接到所述壳体；由所述供应管分支出来的排气管，以排放所述供应管中残留的超临界流体；用于调节从所述超临界流体供应单元供应到所述壳体内的超临界流体流量的供应阀设置在所述供应管中；用于打开或关闭所述排气管的开关阀设置在所述排气管中。
一种处理装置方法

[发明专利]用于处理基板的装置-CN201510290660.2在审
发明人： 宋吉勋;崔起龙;崔荣哲;朴贵秀;朴善用 -专利权人：细美事有限公司;三星电子株式会社
申请日： 2015-05-29 - 公布日： 2016-01-27 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于处理基板的装置。用于处理基板的装置可以包括：器皿，被配置为在其中提供处理空间；基板支撑单元，设置在器皿中以支撑基板；以及喷射构件，被配置为在加载在基板支撑单元上的基板上喷射处理溶液。器皿可具有内侧面，在该内侧面上形成有至少一个纹理图案。
用于处理装置

1
共 9 条

友情链接：交换友情链接需要网站权重大于4，网站收录10W以上，如符合条件，请联系QQ：76009968。

关于我们寻求报道投稿须知广告合作版权声明网站地图友情链接企业标识联系我们

在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

版权所有钻瓜科技（天津）有限公司津ICP备15000985号津公网安备 12019202000206号http://www.vipzhuanli.com/公布日期

咨询在线客服

咨询在线客服

tel code back_top