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[发明专利]一种掩膜版、图形化衬底及其光刻方法-CN202310264601.2在审
发明人：张巳旸;王子荣;张剑桥;向炯;张锦宏 -专利权人：广东中图半导体科技股份有限公司
申请日： 2023-03-17 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： G03F1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种掩膜版、图形化衬底及其光刻方法。掩膜版包括：第一图形区，第一图形区内包括阵列排布的多个第一掩膜图案；至少一个第二图形区，第二图形区内包括第二掩膜图案；其中第一掩膜图案不透光，第二掩膜图案透光。利用上述掩膜版对平片衬底进行光刻工艺流程后，平片衬底中被第一掩膜图案遮挡过的区域形成平片衬底表面的多个胶柱，被第二掩膜图案遮挡过的区域形成平片衬底表面的至少一个空缺位置。在后续对平片衬底表面的胶柱进行观测时，待观测胶柱可从空缺位置处暴露，进而在不对衬底进行破坏性切片的情况下，实现对胶柱形貌尺寸参数的准确测量。
一种掩膜版图形衬底及其光刻方法

[发明专利]一种外延片、制备方法及发光二极管-CN202310352331.0在审
发明人：向炯;王子荣;卢建航;张锦宏;王农华 -专利权人：广东中图半导体科技股份有限公司
申请日： 2023-04-03 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： H01L33/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种外延片、制备方法及发光二极管。外延片包括：衬底，衬底一侧设置有多个凸起结构，凸起结构呈周期排布，相邻凸起结构之间形成凹坑结构，相邻凹坑结构相连；第一缓冲层，位于靠近凹坑结构一侧；无掺杂GaN层，位于第一缓冲层远离衬底一侧；无掺杂GaN层内存在至少一种凹形微结构，同一种凹形微结构呈周期排布；沿垂直于衬底的方向，至少部分凹形微结构与凸起结构至少部分交叠；位于无掺杂GaN层远离衬底一侧依次设置的N型GaN层、多量子阱有源层、第二缓冲层和P型GaN层。通过在无掺杂GaN层中引入凹形微结构，降低后续生长GaN层中的位错密度和应力释放，改善晶体质量，提高出光效率。
一种外延制备方法发光二极管

[发明专利]一种图形化蓝宝石衬底、制备方法和LED外延片-CN202211462501.2在审
发明人：王子荣;康凯;陆前军;向炯 -专利权人：广东中图半导体科技股份有限公司
申请日： 2022-11-21 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： H01L33/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种图形化蓝宝石衬底、制备方法和LED外延片。该图形化蓝宝石衬底的制备方法包括：在蓝宝石基晶片表面进行光刻胶掩膜制备；通过第一等离子源对所述蓝宝石基晶片进行刻蚀以形成第一图形化区域，并在刻蚀过程中生成刻蚀产物，以及同时通过第二等离子源与所述刻蚀产物反应生成二次掩膜，以使所述二次掩膜沉积在被刻蚀表面，其中，所述第一图形化区域侧面的沉积效果大于底部沉积效果，刻蚀效果大于所述二次掩膜沉积效果；通过第一等离子体源对所述第一图形化区域进行图形修饰刻蚀，以得到蓝宝石基三维图形。通过采用上述方案，解决了现有的图形化蓝宝石衬底的制备方法存在横向刻蚀控制能力不足、整体刻蚀时间过长的问题。
一种图形蓝宝石衬底制备方法 led 外延

[发明专利]一种图形化衬底及其制备方法、LED外延片-CN202211257320.6在审
发明人：张锦宏;张剑桥;向炯;张巳扬;吴先燕;卢建航 -专利权人：广东中图半导体科技股份有限公司
申请日： 2022-10-14 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： H01L33/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种图形化衬底及其制备方法、LED外延片。制备方法包括：提供蓝宝石基板；蓝宝石基板包括层叠设置的基板本体以及金属离子掺杂层，金属离子掺杂层背离基板本体的一侧表面为蓝宝石基板正面；在蓝宝石基板正面形成掩膜层；利用曝光显影工艺对掩膜层进行图案化处理，以形成掩膜图案；基于掩膜图案，利用干法刻蚀工艺，对蓝宝石基板进行刻蚀，以在蓝宝石基板正面形多个凸起结构，凸起结构中掺杂有金属离子。本申请中，金属离子掺杂层能够吸收曝光时进入蓝宝石基板内部的光，避免出现二次曝光现象，改善掩膜图案均匀性；凸起结构中掺杂的金属离子，能够调节外延膜层的载流子浓度，减少芯片中多余电子的非辐射过程，改善芯片整体性能。
一种图形衬底及其制备方法 led 外延

[实用新型]一种图形化衬底底径快速检测装置-CN202220828524.X有效
发明人：张剑桥;全明;罗凯;向炯;陆前军;康凯 -专利权人：广东中图半导体科技股份有限公司
申请日： 2022-04-11 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种图形化衬底底径快速检测装置，属于检测装置技术领域。在传输单元上设置至少两个承载单元，当其中一个承载单元上的夹具进行检测时，另一个承载单元上的夹具输出箱体外，并可以进行更换待检测的夹具，提高检测效率；在传输单元和承载单元之间设置旋转机构和升降机构，将光学检测单元设置在箱体内腔室的顶部，通过升降机构调节承载单元与光学检测单元之间的间距，使夹具内的图形化衬底位于光学检测单元的焦距范围内，便于对焦，提高检测精度；由于夹具内有多个图形化衬底，通过旋转机构带动承载单元旋转，方便对多个图形化衬底进行检测，加快检测速度。
一种图形衬底快速检测装置

[发明专利]一种图形化衬底及其光刻方法、LED外延片-CN202210841136.X在审
发明人：吴先燕;向炯;康凯;王子荣;程颖;张剑桥;陆前军;杨瑾尧 -专利权人：广东中图半导体科技股份有限公司
申请日： 2022-07-18 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： H01L33/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种图形化衬底及其光刻方法、LED外延片。光刻方法包括：提供蓝宝石基板和光刻载台；在蓝宝石基板的背面和/或光刻载台的正面设置吸光介质层；在蓝宝石基板的待刻蚀表面形成光刻胶层；将蓝宝石基板放入光刻载台；利用掩膜版对光刻胶层进行曝光，以将掩膜版上的图形转移至蓝宝石基板的待刻蚀表面。通过上述方案，在对蓝宝石基板进行光刻时，光束在到达蓝宝石基板背面时能够被吸光介质层吸收，进而减少光束在蓝宝石基板背面、内部和光刻载台处的反射和折射等现象，避免反射光束对光刻胶进行二次曝光，改善光刻胶柱不均的现象，提升光刻胶柱的均匀性和一致性，进而提高图形化衬底的质量，保证外延层在图形化衬底上的生长效果。
一种图形衬底及其光刻方法 led 外延

[发明专利]一种图形化衬底的制备方法和匀胶系统-CN202010849930.X在审
发明人：向炯;肖桂明;康凯;陆前军;刘凤仪 -专利权人：东莞市中图半导体科技有限公司
申请日： 2020-08-21 - 公布日： 2022-02-22 - 主分类号： H01L33/22 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种图形化衬底的制备方法和匀胶系统。该图形化衬底的制备方法包括：依次在多个平片衬底上匀胶光刻胶层；对多个平片衬底上的光刻胶层进行膜厚检测，获得膜厚参数；根据光刻胶层的膜厚参数，对多个平片衬底进行分类；采用匀胶后的平片衬底所属类型对应的曝光参数，对每片平片衬底的光刻胶层进行曝光显影，和/或，采用匀胶后的平片衬底所属类型对应的刻蚀参数，对黄光制程后的平片衬底进行刻蚀。本发明实施例解决了现有制备工艺所制备的不同成品片微结构图形差异较大的问题，能够避免光刻胶层厚度差异对图形结构的影响，保证成品片各片间的微结构图形的底径、高度、侧壁弧度等存在较小误差，实现同类规格成品片的高集中度。
一种图形衬底制备方法系统

[实用新型]一种调流液动阀-CN202122158525.6有效
发明人：向炯;戴毅;黄俊 -专利权人：四川渝武兴阀门科技有限公司
申请日： 2021-09-07 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： F16K31/122 文献下载
摘要：本实用新型属于阀门领域，具体涉及一种调流液动阀。其技术方案为：一种调流液动阀，包括液动阀主体，液动阀主体连接活塞驱动装置，所述活塞驱动装置的活塞上连接指示杆；还包括电控箱，电控箱分别电连接电磁换向阀和电磁截流阀，电磁换向阀上设置有第一接口和第二接口，第一接口和活塞驱动装置的关阀口通过管道连接，第二接口通过管道与活塞驱动装置的开阀口连接。本实用新型提供了一种可实现调流的液动阀。
一种调流液动阀

[实用新型]一种电控节能阀-CN202120700238.0有效
发明人：向炯;戴毅;黄俊 -专利权人：四川渝武兴阀门科技有限公司;向炯
申请日： 2021-04-07 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： F16K47/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电控节能阀，包括全通径液动阀、位置传感器、反馈指示杆以及电磁换向阀，所述反馈指示杆与全通径液动阀内的运动组件连接，所述位置传感器与反馈指示杆对应配合，所述电磁换向阀的一个开口通过管道与全通径液动阀上部的关阀接口相连，所述电磁换向阀的另一个开口通过设置有电磁流量控制阀的管道与全通径液动阀下部的开阀接口相连，所述位置传感器设置有用于对反馈指示杆移动至临近阀门关闭位置时的检测点。本实用新型能够达到可靠地调节阀门慢速关闭的目的，实现快慢双速关闭阀门，在消除水锤危害的同时减少水头损失，具有结构简单，安全可靠，维护方便，减少损失为用户降低运行成本，并提高出水量减少电耗。
一种节能

[实用新型]一种气/液动阀和水泵联动控制系统-CN202121042175.0有效
发明人：向炯;戴毅;黄俊 -专利权人：四川渝武兴阀门科技有限公司;向炯
申请日： 2021-05-14 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： F16K37/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种气/液动阀和水泵联动控制系统，包括水泵、气/液动阀及泵阀联动控制箱，在所述气/液动阀上设置有行程传感器，所述泵阀联动控制箱分别与水泵、气/液动阀及行程传感器通过电缆线进行电连接，所述行程传感器用于检测气/液动阀的启闭状态；在开机时，通过泵阀联动控制箱控制水泵开启并延时一定时间后，再控制开启气/液动阀，在关机时，当行程传感器检测到气/液动阀关阀到位后，再通过泵阀联动控制箱控制水泵停机。本实用新型通过对气/液动阀和水泵的联动控制，能够在开机时利用水泵开机信号延时开阀防止水泵过载，以保证水泵正常启机，关机时通过泵阀联动控制箱向水泵反馈关阀到位信号，实现气/液动阀和水泵的顺序停机。
一种液动阀水泵联动控制系统

[发明专利]一种图形化复合衬底、制备方法及LED外延片-CN201911296325.8在审
发明人：康凯;陆前军;向炯 -专利权人：东莞市中图半导体科技有限公司
申请日： 2019-12-16 - 公布日： 2021-06-18 - 主分类号： H01L33/22 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种图形化复合衬底、制备方法及LED外延片。该图形化复合衬底包括：图形化基底；图形化外延缓冲层，所述图形化外延缓冲层覆盖所述图形化基底，所述图形化外延缓冲层背离所述图形化基底的一侧形成有多个第一微结构，所述第一微结构包括第一异质材料结构，所述第一异质材料结构至少位于所述第一微结构的顶部。本发明实施例解决了图形化蓝宝石衬底在生长氮化镓外延层时仍存在晶格失配，外量子效率小，发光亮度低的问题，实现了增强光提取效率，改善外延生长质量的效果，有助于提高LED的外量子效率。
一种图形复合衬底制备方法 led 外延

[实用新型]一种图形化复合衬底及LED外延片-CN201922254470.1有效
发明人：康凯;陆前军;向炯 -专利权人：东莞市中图半导体科技有限公司
申请日： 2019-12-16 - 公布日： 2020-09-29 - 主分类号： H01L33/22 文献下载
摘要：本实用新型实施例公开了一种图形化复合衬底及LED外延片。该图形化复合衬底包括：图形化基底；图形化外延缓冲层，所述图形化外延缓冲层覆盖所述图形化基底，所述图形化外延缓冲层背离所述图形化基底的一侧形成有多个第一微结构，所述第一微结构包括第一异质材料结构，所述第一异质材料结构至少位于所述第一微结构的顶部。本实用新型实施例解决了图形化蓝宝石衬底在生长氮化镓外延层时仍存在晶格失配，外量子效率小，发光亮度低的问题，实现了增强光提取效率，改善外延生长质量的效果，有助于提高LED的外量子效率。
一种图形复合衬底 led 外延

[实用新型]一种图形化复合基底及LED外延片-CN201920953268.5有效
发明人：康凯;杨志伟;陆前军;曾广艺;向炯;王农华;吴先燕;陈志勤;张剑桥;王子荣 -专利权人：东莞市中图半导体科技有限公司
申请日： 2019-06-24 - 公布日： 2020-04-24 - 主分类号： H01L33/20 文献下载
摘要：本实用新型实施例公开了一种图形化复合基底及LED外延片。该图形化复合基底包括：图形化蓝宝石基板，所述图形化蓝宝石基板表面形成有多个蓝宝石台状微结构；位于所述蓝宝石台状微结构上的异质微结构，所述异质微结构覆盖所述蓝宝石台状微结构的至少部分顶面。本实用新型实施例通过异质微结构覆盖蓝宝石台状微结构的至少部分顶面，一方面避免了外延材料在蓝宝石台状微结构的上表面的生长，抑制外延材料在图形化蓝宝石基底上产生双面竞争生长，另一方面保证了在台状微结构上生长外延材料时，可以释放生长应力，降低了外延生长时产生的缺陷，保证了外延层的质量，有利于改善出光率和增加LED的亮度。
一种图形复合基底 led 外延

[发明专利]一种图形化复合基底、制备方法及LED外延片-CN201910548880.9在审
发明人：康凯;杨志伟;陆前军;曾广艺;向炯;王农华;吴先燕;陈志勤;张剑桥;王子荣 -专利权人：东莞市中图半导体科技有限公司
申请日： 2019-06-24 - 公布日： 2019-09-17 - 主分类号： H01L33/20 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种图形化复合基底、制备方法及LED外延片。该图形化复合基底包括：图形化蓝宝石基板，所述图形化蓝宝石基板表面形成有多个蓝宝石台状微结构；位于所述蓝宝石台状微结构上的异质微结构，所述异质微结构覆盖所述蓝宝石台状微结构的至少部分顶面。本发明实施例通过异质微结构覆盖蓝宝石台状微结构的至少部分顶面，一方面避免了外延材料在蓝宝石台状微结构的上表面的生长，抑制外延材料在图形化蓝宝石基底上产生双面竞争生长，另一方面保证了在台状微结构上生长外延材料时，可以释放生长应力，降低了外延生长时产生的缺陷，保证了外延层的质量，有利于改善出光率和增加LED的亮度。
微结构台状蓝宝石图形化蓝宝石外延材料复合基图形化异质生长顶面制备基板表面外延生长出光率上表面外延层覆盖基板基底保证释放

[发明专利]一种综合能源评估优化方法及系统-CN201810609345.5在审
发明人：黄子硕;杨柯;文韬;杨翀;向炯;赵为麒;谢宝军;居里;林炳圣;尚哲函;于航;李超恩 -专利权人：上海朗诗规划建筑设计有限公司
申请日： 2018-06-13 - 公布日： 2018-11-20 - 主分类号： G06Q10/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种综合能源评估优化方法及系统，其方法包括：获取评估对象的全年制冷能源需求量、全年制热能源需求量、全年电力需求量；根据全年制冷能源需求量、全年制热能源需求量、全年电力需求量，评估对象的全年能源消耗量以及评估对象的多个供能设备的能效参数，建立能效分析模型；根据多个供能设备分别对应的标准能效参数，计算能效分析模型的目标能效，以及在目标能效下的目标能效指标参数；根据能效分析模型的目标能效，以及目标能效指标参数，对评估对象的综合能源待评估方案进行优化。本发明实现通过建立能效分析模型，可对评估对象的综合能源待评估方案进行优化，提高评估对象对于能源的利用率。
能效评估对象能源需求量分析模型综合能源电力需求量评估供能设备能效指标全年制冷优化制热能源消耗量能源

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