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- [发明专利]薄膜片热压合方法及系统-CN201910570321.8在审
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兰立广;刘香廷;严静融
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东泰高科装备科技有限公司
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2019-06-27
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2020-12-29
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B32B37/10
- 本发明涉及薄膜片的热压合技术领域，尤其涉及一种薄膜片热压合方法及系统，薄膜片热压合方法包括以下步骤：S1，剥离双层离型纸的底层离型纸；S2，对双层离型纸的热熔胶层进行预设形状的切割处理，形成胶合区和分离区；S3，将分离区由双层离型纸的顶层离型纸上剥离，胶合区留在顶层离型纸上，分离区与胶合区分离；S4，将胶合区与衬底结构的表面进行热压合；S5，剥离顶层离型纸；S6，将高分子聚合物薄膜与衬底结构上的胶合区进行热压合。本发明实现胶合区与衬底结构的热压合，剥离顶层离型纸，从而获得局部覆盖热熔胶的衬底结构，有效解决了在衬底结构的倒角处层压有热熔胶的问题,防止后续外延层剥离的失效。
- 薄膜热压方法系统
- [发明专利]膜片分离装置及方法-CN201811609516.0在审
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兰立广;李秋凤;刘香廷;姚立强
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东泰高科装备科技有限公司
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2018-12-27
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2020-07-07
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B32B38/10
- 本发明提供一种膜片分离装置，所述膜片分离装置包括承载台、分离机构和收集机构；所述承载台包括承载面，所述承载面用于吸附膜片的衬底，所述收集机构包括收集面；所述承载面与所述收集面分别设置在所述分离机构的两侧，且所述承载面与所述分离机构相对，所述收集面与所述分离机构相背，所述分离机构包括分离辊，所述分离辊能够绕自身轴线转动且同时能够相对所述承载台运动，所述分离辊外表面设置有多个第一外气孔，所述多个第一外气孔能够分别吸气或者喷气。本发明还提供一种膜片分离方法，所述膜片分离装置在分离过程中能够避免该膜片的本体的功能层被损坏或者被污染。
- 膜片分离装置方法
- [发明专利]处理装置-CN201810996908.0在审
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邹金成;申兵兵;王敬苗;刘香廷
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东泰高科装备科技有限公司
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2018-08-29
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2020-03-10
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H01L21/67
- 本发明提供了一种处理装置，包括：载具，用于放置产品；浸泡机构，浸泡机构能够储存液体，浸泡机构用于浸泡产品；第一移动机构，可移动地设置，第一移动机构具有将载具至少部分地放入浸泡机构的第一工况以及将载具从浸泡机构取出的第二工况；第二移动机构，可移动地设置在第一移动机构上，第二移动机构包括吸附机构，吸附机构用于吸附和移动产品以将产品放入载具中。通过本发明提供的技术方案，可以自动将未完全分离的薄膜和晶片集中接收和处理，从而可以代替现有的人工处理的方式，提高处理效率，并且可以避免损伤薄膜。
- 处理装置
- [发明专利]处理装置-CN201810997869.6在审
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邹金成;申兵兵;王敬苗;刘香廷
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深圳市永盛隆科技有限公司
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2018-08-29
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2020-03-10
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H01L21/67
- 本发明提供了一种处理装置，包括：载具，用于放置产品；浸泡机构，浸泡机构能够储存液体，浸泡机构用于浸泡产品；第一移动机构，可移动地设置，第一移动机构具有将载具至少部分地放入浸泡机构的第一工况以及将载具从浸泡机构取出的第二工况；第二移动机构，可移动地设置，第二移动机构用于将产品放入载具中；第三移动机构，可移动地设置，第三移动机构具有接收第一移动机构上的载具的第三工况以及将载具输送到外部的第四工况。通过本发明提供的技术方案，可以自动将未完全分离的薄膜和晶片集中接收和处理，从而可以代替现有的人工处理的方式，提高处理效率，并且可以避免损伤薄膜。
- 处理装置
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