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- [发明专利]一种侧墙法沟道缩微方法-CN202310528505.4在审
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郭琦;高建峰;邓凡;卫路兵
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合肥欧益睿芯科技有限公司
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2023-05-10
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2023-09-12
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H01L21/311
- 本发明涉及一种侧墙法沟道缩微方法，包括以下步骤：S1：选取衬底；S2：在衬底表面沉积厚度为T1的第一介质层；S3：在第一介质层上形成宽度为W1的光刻线条；S4：沿光刻线条在第一介质层上刻蚀宽度为W2的第一凹槽；S5：利用化学气相沉积法的各向同性在第一介质层表面和第一凹槽内沉积厚度为T2的第二介质层，第一介质层上表面与第一凹槽侧壁的第二介质层厚度相等；S6：对第二介质层进行刻蚀，形成第二凹槽。该方法可以使用普通的UV光刻机形成50～100nm的沟道，无需采购更高精度的光刻设备，低成本、高效率的对半导体器件进行加工，在光刻机的最小光刻尺寸的基础上再次缩小刻蚀尺寸，实现半导体器件的沟道缩微。
- 一种侧墙法沟道缩微方法
- [实用新型]一种高强度可回收锚杆装置-CN202320613949.3有效
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解京;曲秋扬;赵虎;赵新;高建峰;田晓波
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天地（榆林）开采工程技术有限公司
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2023-03-24
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2023-09-08
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E21D21/00
- 本实用新型涉及煤矿巷道支护技术领域，提供了一种高强度可回收锚杆装置，包括：螺纹钢锚杆、封孔器和控制阀；螺纹钢锚杆的第一端和第二端之间形成有流体通道，螺纹钢锚杆的第一端和控制阀的一端连通，控制阀的另一端被配置为与流体泵送设备连通，螺纹钢锚杆的第二端与封孔器的入口端连通；封孔器和螺纹钢锚杆同轴设置于钻孔内，控制阀用于控制流体在封孔器和螺纹钢锚杆内的封存状态；其中，在封孔器内封存有流体的情形下，封孔器在流体的驱动下处于膨胀状态，封孔器的外壁与钻孔的孔壁抵接；在封孔器内没有封存流体的情形下，封孔器处于初始状态，封孔器的外壁与钻孔的孔壁分离。本实用新型不仅支护强度高，支护效果好，并且能够回收重复利用。
- 一种强度可回收装置
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