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- [发明专利]一种硅片的化学镀镍钯金装置-CN202310800177.9在审
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陈云利;孙彩霞;肖锦成
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苏州尊恒半导体科技有限公司
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2023-07-03
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2023-09-01
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C23C18/08
- 本发明涉及镀镍钯金技术领域，且公开了一种硅片的化学镀镍钯金装置，包括镀箱主体和位于镀箱主体内的挂篮，镀箱主体上端两侧均固定安装有U型架，两个U型架之间转动设置有控制挂篮移动的收纳机构，本发明通过在镀箱主体内滑动连接的矩形框上端转动设置密封机构，通过控制第一滑块与第一横槽和第一螺旋槽的滑动，以及第二滑块与第二横槽和第二螺旋槽的滑动，在需要将装有硅片的挂篮放入镀箱主体内时，可使得矩形框带动密封机构上移，上移过程中通过挂篮的挤压将密封机构打开，然后控制挂篮下移，挂篮还未与试剂接触时，密封机构自动关闭，避免溅起的试剂溅出，工作结束后，可控制挂篮上移，此时密封机构处于关闭状态，避免上移溅起的试剂溅出。
- 一种硅片化学镀镍钯金装置
- [发明专利]一种晶圆镀液的快速降温设备-CN202310628126.2在审
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肖锦成;陈云利;赵细海
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苏州尊恒半导体科技有限公司
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2023-05-31
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2023-08-25
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C23C18/16
- 本发明公开了一种晶圆镀液的快速降温设备，涉及晶圆镀液降温技术领域，包括固定槽，所述固定槽的两侧内壁均开设有转动孔，两个所述转动孔内分别转动连接有转动管和从动管。本发明通过循环冷却单元的设置，水泵将水箱中的水抽出并通过固定管导入冷却箱内，冷却箱将水冷却后通过出水管和从动管导入连接管内，然后通过转动管和进水管流回水箱内，进而能够对晶圆镀液进行循环水冷，通过风冷单元的设置，旋叶转动能够将晶圆镀液推送固定筒的顶部，然后晶圆镀液从固定筒的出料口排出进入出料通道上，实现了对晶圆镀液进行翻料，使得晶圆镀液的出料过程能够充分与空气接触，配合转动扇叶104对晶圆镀液的吹风散热，从而提高了对晶圆镀液进行冷却效果。
- 一种晶圆镀液快速降温设备
- [发明专利]一种晶圆化镀设备快排清洗槽装置-CN202310625030.0在审
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孙彩霞;陈云利;唐小峄
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苏州尊恒半导体科技有限公司
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2023-05-30
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2023-08-25
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H01L21/67
- 本发明公开了一种晶圆化镀设备快排清洗槽装置，涉及晶圆生产技术领域，包括基座，所述基座的顶部外壁一侧固定安装有清洗箱，且清洗箱内设置有多个清洗池，所述基座表面靠近清洗箱的一侧固定安装有回形轨槽，还包括悬挑架和装料组件；本发明当活动卡块能够以震动弹簧为基础在限位滑槽中进行小幅度震动时，延伸柱连同端块能够在惯性作用下，与清洗网箱产生相对位移，此时，设置的带轮杆能够与侧端杆上的弧面凸块相抵触，并在支撑弹簧作用下，使得清洗网箱在横向以及纵向方向上均能够产生一定幅度的震动，从而有利于晶圆与水液的充分接触，进而确保清洗效果；此外，该过程也有利于清洗后的脱水作业，使得晶圆能够快速干燥。
- 一种晶圆化镀设备清洗装置
- [发明专利]一种耐腐蚀的晶圆化镀方法-CN202310480429.4在审
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孙彩霞;陈云利;赵细海
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苏州尊恒半导体科技有限公司
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2023-04-28
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2023-08-04
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C23C18/36
- 本发明公开了一种耐腐蚀的晶圆化镀方法，涉及晶圆化镀技术领域，具体包括以下步骤：在对超薄聚甲基丙烯酸薄膜进行加强预处理的过程中，释放出的电子被重氮盐所捕获，重氮阳离子被电子还原成硝基苯自由基，进而引发接枝反应。硝基苯自由基接枝到聚甲基丙烯酸薄膜表面形成硝基苯有机层，然后硝基苯自由基继续在硝基的邻位进行接枝反应，从而使有机层的膜厚增加。同时经活化处理后，苯胺官能团与钯离子形成稳定的络合物，钯离子成功地吸附在了聚合物薄膜表面。从而使得制得的晶圆表面得到了加强，在之后晶圆的使用过程中，晶圆的表面不会轻易出现划伤破损，从而增加了晶圆整体的耐腐蚀性和使用寿命。
- 一种腐蚀晶圆化镀方法
- [发明专利]一种可回收电镀液的电镀装置-CN202310449879.7有效
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肖锦成;陈云利;赵细海
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苏州尊恒半导体科技有限公司
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2023-04-25
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2023-06-30
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C25D17/16
- 本发明公开了一种可回收电镀液的电镀装置，涉及电镀技术领域，包括基座，所述基座上固定安装有环形电镀池，所述基座上靠近环形电镀池的位置处固定有主撑架，还包括C形坡面端、双层下轨槽和上轨槽、立柱以及推动组件，所述C形坡面端固定安装在环形电镀池内，且C形坡面端的一端与环形电镀池之间构成电镀沉槽，所述双层下轨槽和上轨槽均设置在环形电镀池的上方位置；本发明当零部件电镀完成后，多余的电镀液会滴落在正下方的C形坡面端上，同时，由于C形坡面端的表面呈倾斜结构，盛接的电镀液能够重新流回电镀沉槽中，从而实现对电镀液的回收利用，同时，也避免了滴落的电镀液对生产现场造成污染。
- 一种可回收电镀装置
- [实用新型]天车抓取机-CN202223066958.X有效
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陈云利;赵海峰;赵细海
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苏州尊恒半导体科技有限公司
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2022-11-18
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2023-04-18
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B66C1/10
- 本实用新型涉及抓取机领域，尤其是天车抓取机。该抓取机包括机壳、夹爪转动轴、转动轴旋转机构、旋转角度感应机构、夹爪、产品感应器，所述机壳上转动有两根相互平行的夹爪转动轴，机壳内安装有两个转动轴旋转机构和两个旋转角度感应机构，转动轴旋转机构与夹爪转动轴相连，夹爪转动轴上固定有夹爪，夹爪上设有产品感应器。本实用新型通过转动轴旋转机构来驱使夹爪转动轴及夹爪转动，来抓取产品。通过旋转角度感应机构与产品感应器来提高产品精确度。本申请结构简单体积小。
- 天车抓取
- [实用新型]阴极挂具-CN202223230433.5有效
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陈云利;江文;唐小峄
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苏州尊恒半导体科技有限公司
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2022-12-01
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2023-04-11
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C25D17/08
- 本实用新型涉及挂具领域，尤其是阴极挂具。该挂具包括固定板、盖板、导电机构、导电片一、导电片二、导电片三、产品定位槽，所述固定板上可拆卸的固定连接有盖板，导电机构固定在固定板的夹层内，导电机构的端头露出固定板，导电片一与导电片二分别与导电机构相接触，固定板和盖板上均设有用于露出产品的开孔，固定板的开孔边沿分布有数个导电片一，固定板的开孔内设有产品定位槽，产品定位槽上分布有数个导电片二，盖板的开孔边沿处分布有数个导电片三。本实用新型通过将导电机构隐藏于固定板内可以有效降低设备在电镀中对带电物的电镀，固定板与盖板的密封连接可以有效减少药水与带电体的接触，通过固定板与盖板的可拆卸连接可快速更换产品。
- 阴极
- [实用新型]一种双面自动拆装晶圆装置-CN202122832729.3有效
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陈云利;唐小峄
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苏州尊恒半导体科技有限公司
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2021-11-18
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2022-04-08
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B65G47/91
- 本实用新型涉及晶圆加工装置领域，尤其是一种双面自动拆装晶圆装置。该装置包括底板、旋转台、晶圆搬运机构、挂具定位框、基座、基座水平直线移动机构、吸盘、吸盘转动机构、支架翻转机构、支架，所述底板上安装有旋转台和晶圆搬运机构，旋转台上固定有挂具定位框和基座水平直线移动机构，基座水平直线移动机构与基座相连，基座滑配连接在旋转台上，基座上安装有支架翻转机构，支架翻转机构与支架相连，支架铰接在基座上，吸盘铰接在支架上。本实用新型通过晶圆搬运机构将晶圆取放在吸盘上，通过基座水平直线移动机构驱使晶圆水平移动，通过支架翻转机构将吸盘横竖转动。通过吸盘转动机构驱使吸盘轴向旋转。本申请提高了晶圆装卸的效率。
- 一种双面自动拆装装置
- [发明专利]一种悬浮式晶圆定位装置-CN202111372763.5在审
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陈云利;唐小峄
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苏州尊恒半导体科技有限公司
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2021-11-18
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2022-01-11
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H01L21/68
- 本发明涉及晶圆搬运装置领域，尤其是一种悬浮式晶圆定位装置。该装置包括圆形盆体、上盘体、底板、气囊，所述圆形盆体的环状边沿处设有环形定位槽，环形定位槽内设有数个吸孔，圆形盆体位于上盘体和底板之间，圆形盆体和底板之间设有气囊，上盘体和底板通过连接组件连接在一起，上盘体的上表面设有数个吹气孔，圆形盆体上分布有数个出气口，上盘体位于圆形盆体内。本发明通过环形定位槽内的吸孔来吸附导电密封圈。通过上盘体吹气来使得晶圆悬浮，并与导电密封圈配合。通过鼓胀的气囊将晶圆吸附在圆形盆体内。本申请可以将晶圆悬浮牵引在导电密封圈上，避免在搬运的时候损坏晶圆上的电路。
- 一种悬浮式晶圆定位装置
- [发明专利]一种双面自动拆装晶圆装置-CN202111370238.X在审
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陈云利;唐小峄
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苏州尊恒半导体科技有限公司
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2021-11-18
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2021-12-31
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B65G47/91
- 本发明涉及晶圆加工装置领域，尤其是一种双面自动拆装晶圆装置。该装置包括底板、旋转台、晶圆搬运机构、挂具定位框、基座、基座水平直线移动机构、吸盘、吸盘转动机构、支架翻转机构、支架，所述底板上安装有旋转台和晶圆搬运机构，旋转台上固定有挂具定位框和基座水平直线移动机构，基座水平直线移动机构与基座相连，基座滑配连接在旋转台上，基座上安装有支架翻转机构，支架翻转机构与支架相连，支架铰接在基座上，吸盘铰接在支架上。本发明通过晶圆搬运机构将晶圆取放在吸盘上，通过基座水平直线移动机构驱使晶圆水平移动，通过支架翻转机构将吸盘横竖转动。通过吸盘转动机构驱使吸盘轴向旋转。本申请提高了晶圆装卸的效率。
- 一种双面自动拆装装置
- [实用新型]高效的晶圆正反面电镀挂具-CN202121677238.X有效
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陈云利;王健;李军;周志强;刘斌
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苏州尊恒半导体科技有限公司
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2021-07-22
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2021-12-14
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C25D17/08
- 本实用新型涉及晶圆挂具领域，尤其是高效的晶圆正反面电镀挂具。该挂具包括挂具基板、压环、导电环一、导电环二、线槽一、线槽二和弹片，所述挂具基板上设有穿孔，导电环一固定在压环上，挂具基板的正面设有导电环二、线槽一、弹片，挂具基板的反面设有线槽二，挂具基板的正面可拆卸的固定有压环，导电环一贴合在弹片上，线槽一与线槽二内分别设有电线，连接弹片连接在线槽一内的电线一端，线槽一内的电线另一端连接第一电源。本实用新型通过压环上的导电环一与线槽一内的电线连接第一电源的阴极，来对晶圆的正面进行电镀。通过挂具基板上的导电环二与线槽二内的电线连接第二电源的阴极，来对晶圆的反面进行电镀。本申请提高了晶圆电镀的效率。
- 高效正反面电镀
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