专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]复合能量场辅助激光诱导等离子体加工装置及方法-CN202111678508.3在审
  • 卢希钊;陈嘉林;姜峰;温秋玲;陆静;江安娜 - 华侨大学
  • 2021-12-31 - 2022-04-01 - B23K26/362
  • 本发明公开了复合能量场辅助激光诱导等离子体加工装置及方法,加工装置包括激光器、透镜组件和工作台装置;工作台装置包括安装工作台、磁场辅助装置、振动工作台、驱动器和金属靶材;通过振动工作台带动透明工件一维振动,驱动器带动金属靶材绕自身轴线转动,透明工件和金属靶材上下平隔布置;激光器产生的激光束经透镜组件、透明工件聚焦在金属靶材偏心位置且与金属靶材发生相互作用,通过相互作用产生的等离子体向透明工件背面转移以刻蚀加工透明工件,等离子体受磁场辅助装置产生的磁场、透明工件的一维振动和金属靶材的转动的作用。它具有如下优点:能加工透明硬脆材料且达微纳米高精密加工需求。
  • 复合能量辅助激光诱导等离子体加工装置方法
  • [实用新型]金属膜辅助脆性材料的激光打孔装置-CN202020072826.X有效
  • 温秋玲;王华禄;陆静;胡中伟;姜峰;黄辉;崔长彩;徐西鹏 - 华侨大学
  • 2020-01-14 - 2020-12-25 - B23K26/046
  • 本实用新型公开了金属膜辅助脆性材料的激光打孔装置,包括激光加工系统和样品运动系统;所述激光加工系统包括激光器、扩束镜、机械快门、激光能量控制器、反射镜和聚焦物镜,所述激光器产生的激光依次通过扩束镜、机械快门、激光能量控制器、反射镜和聚焦物镜以聚焦;所述样品运动系统包括三维位移台和置放在三维位移台上的镀有金属膜的脆性材料基底;所述激光加工系统的激光聚焦到镀有金属膜的脆性材料基底上表面以写入微孔图案。它具有如下优点:不仅能够改善微孔的表面质量,而且还可以增加激光打孔的孔深,最终实现在脆性材料上进行高质量、高深径比打孔。
  • 金属膜辅助脆性材料激光打孔装置
  • [实用新型]一种脆性材料表面纳米孔阵列的加工装置-CN202020510033.1有效
  • 温秋玲;王华禄;张鹏程;徐西鹏;陆静;姜峰;黄辉 - 华侨大学
  • 2020-04-09 - 2020-12-25 - B23K26/352
  • 本实用新型提供了一种脆性材料表面纳米孔阵列的加工装置,脆性材料基底的上表面镀有金属薄膜,所述金属薄膜的上面铺设单层致密排布的微球,所述脆性材料基底置于一工作台上;激光器、扩束镜、光束整型器沿水平方向依次设置,扫描振镜、聚光透镜集工作台沿竖直方向从上至下依次设置;激光器产生的激光依次通过扩束镜、光束整型器后经由反射镜反射到达扫描振镜以及聚焦透镜,再辐照到铺设有微球的镀有金属薄膜的脆性材料基底的上表面;计算机连接所述激光器集扫描振镜,所述计算机控制激光器产生的激光束的脉冲能量和重复频率。应用本技术方案在脆性材料基底表面铺设单层致密排布的微球可以实现大面积纳米孔阵列的加工。
  • 一种脆性材料表面纳米阵列加工装置
  • [发明专利]一种脆性材料表面纳米孔阵列的加工装置及方法-CN202010274062.7在审
  • 温秋玲;王华禄;张鹏程;徐西鹏;陆静;姜峰;黄辉 - 华侨大学
  • 2020-04-09 - 2020-08-07 - B23K26/352
  • 本发明提供了一种脆性材料表面纳米孔阵列的加工装置及方法,脆性材料基底的上表面镀有金属薄膜,所述金属薄膜的上面铺设单层致密排布的微球,所述脆性材料基底置于一工作台上;激光器、扩束镜、光束整型器沿水平方向依次设置,扫描振镜、聚光透镜集工作台沿竖直方向从上至下依次设置;激光器产生的激光依次通过扩束镜、光束整型器后经由反射镜反射到达扫描振镜以及聚焦透镜,再辐照到铺设有微球的镀有金属薄膜的脆性材料基底的上表面;计算机连接所述激光器集扫描振镜,所述计算机控制激光器产生的激光束的脉冲能量和重复频率。应用本技术方案在脆性材料基底表面铺设单层致密排布的微球可以实现大面积纳米孔阵列的加工。
  • 一种脆性材料表面纳米阵列加工装置方法
  • [实用新型]一种工件自动传输装置-CN201921265201.9有效
  • 曾志坚;胡中伟;林琳;姜峰;陆静;温秋玲;黄辉;崔长彩 - 华侨大学
  • 2019-08-06 - 2020-05-05 - H01L21/677
  • 本实用新型公开了一种工件自动传输装置,包括上料部分、传送部分和下料部分。所述上料部分包括升降机构、翻转机构、气缸推杆机构、平滑导轨和内层叠装置有工件的第一晶舟盒;所述传送部分包括皮带运输机和光学传感器;所述下料部分包括导向机构、往复移动装载机构和用于装置工件的第二晶舟盒。它具有如下优点:能自动上料‑传送‑下料,提高生产过程自动化,减少生产过程中的劳动力需求,提高传片效率,有利于降低生产成本。
  • 一种工件自动传输装置
  • [发明专利]金属膜辅助脆性材料的激光打孔装置及方法-CN202010038020.3在审
  • 温秋玲;王华禄;陆静;胡中伟;姜峰;黄辉;崔长彩;徐西鹏 - 华侨大学
  • 2020-01-14 - 2020-05-01 - B23K26/046
  • 本发明公开了金属膜辅助脆性材料的激光打孔方法及装置。激光打孔装置包括激光加工系统和样品运动系统;所述激光加工系统包括激光器、扩束镜、机械快门、激光能量控制器、反射镜和聚焦物镜,所述激光器产生的激光依次通过扩束镜、机械快门、激光能量控制器、反射镜和聚焦物镜以聚焦;所述样品运动系统包括三维位移台和置放在三维位移台上的镀有金属膜的脆性材料基底;所述激光加工系统的激光聚焦到镀有金属膜的脆性材料基底上表面以写入微孔图案。它具有如下优点:不仅能够改善微孔的表面质量,而且还可以增加激光打孔的孔深,最终实现在脆性材料上进行高质量、高深径比打孔。
  • 金属膜辅助脆性材料激光打孔装置方法

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