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- [发明专利]化学机械抛光方法和装置-CN201610824467.7在审
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曹阳;王同庆;李昆;路新春
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天津华海清科机电科技有限公司;清华大学
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2016-09-14
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2017-01-11
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B24B1/00
- 本发明公开了一种化学机械抛光方法和装置,所述化学机械抛光方法,包括如下步骤:抛光,供应抛光液,抛光头夹持微晶玻璃并以第一预定压力P1将微晶玻璃止抵于抛光垫上;修整,供应清洗液,修整单元以第二预定压力P2止抵所述抛光垫;其中所述步骤抛光和所述步骤修整交替进行,且在微晶玻璃的抛光周期内,至少包括两次修整。本发明的化学机械抛光方法,通过将整个抛光周期分隔为多个抛光步骤,在相邻的抛光步骤中对抛光垫进行修整,能够有效减少微晶玻璃样品的表面缺陷,降低其表面粗糙度,且能够使微晶玻璃在抛光过程中保持稳定的抛光率,提高产品良率,便于工业化应用。下面描述根据本发明实施例的化学机械抛光方法。
- 化学机械抛光方法装置
- [发明专利]电力系统-CN201410274204.4有效
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赵千川;申颖;李明扬
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清华大学
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2014-06-18
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2017-01-11
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H02J3/06
- 本发明提出一种电力系统,包括:第一和第二能源电源,用于为负载联合供电;高压输电线、变电站和低压配电母线,第一能源电源通过高压输电线和变电站向低压配电母线输送负载所需电能中的一部分电能;第一和第二馈线,与低压配电母线相连,第二馈线与第二能源电源相连;负载分别与第一和第二馈线相连,以通过第一馈线和第二馈线获取由第一能源电源提供的一部分电能,并通过第二馈线从第二能源电源获取其所需电能的另一部分电能。本发明的系统依据实时的第二能源电源最大发电能力和负载需求,调节第二能源电源和第一能源电源的输出电量,保证系统供需平衡,该电力系统具有高效、易于实现、成本低、能源利用率高的优点。
- 电力系统
- [发明专利]一种采用斜置板簧的半独立悬架-CN201510330387.1有效
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赵景山;刘向;侯帅松
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清华大学
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2015-06-15
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2017-01-11
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B60G11/10
- 一种采用斜置板簧的半独立悬架,属于汽车工程领域。该悬架包括车架、半轴和车架两侧的两个半独立悬架装置;每侧悬架装置包括四片斜置板簧;第一片与第四片斜置板簧关于半轴对称,第二片与第三片斜置板簧关于半轴对称;第一片、第四片斜置板簧所确定的纵向对称中心面的交线与第二片、第三片斜置板簧所确定的纵向对称中心面的交线彼此平行或者共线。本发明本质上属于半独立悬架,其左右两侧车轮之间无硬轴直接连接,较传统非独立板簧悬架具有更好的操纵稳定性和行驶平顺性。同时四片并联板簧可有效承载并缓和冲击,使其具有较好的承载能力和可靠性;而且增大了两侧承载中心距以及车轮的转向范围,使得整车具有更好的低速灵活性。
- 一种采用斜置板簧独立悬架
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