|
钻瓜专利网为您找到相关结果 30个,建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]一种半导体基板进料的自动搬运设备-CN201810941335.1有效
-
沈良霖
-
浙江雅市晶科技有限公司
-
2018-08-17
-
2021-08-17
-
H01L21/677
- 本发明公开了一种半导体基板进料的自动搬运设备,包括立柱,所述立柱一侧设有横杆,所述横杆一侧设有第一弹簧,所述第一弹簧一端与横杆固定连接,所述第一弹簧另一端设有平衡板,所述平衡板一侧设有固定块,所述固定块一侧设有吸盘,所述吸盘两侧均设有第二弹簧,所述第二弹簧一端与吸盘固定连接,所述第二弹簧另一端与平衡板固定连接。本发明通过吸盘一侧设有第二弹簧,伸长电动伸缩杆,同时步进电机工作带动齿轮盘转动,齿轮盘转动带动连接件转动,连接件转动带动立柱往一侧运动,当立柱一侧吸盘接触到基板时,由于相互作用力的存在,吸盘往一侧运动带动第二弹簧压缩,第二弹簧恢复形变使吸盘表面紧贴在基板表面。
- 一种半导体进料自动搬运设备
- [发明专利]一种半导体基板生产线运输用转角装置-CN201810941334.7有效
-
沈良霖
-
浙江雅市晶科技有限公司
-
2018-08-17
-
2020-07-14
-
B65G21/12
- 本发明公开了一种半导体基板生产线运输用转角装置,包括第一支架,所述第一支架内部设有第一转动轴,所述第一支架一侧设有第二支架,所述第二支架内部设有第二转动轴,所述第二支架一侧设有凸出块,所述凸出块内部设有防撞装置,所述第二支架底端设有支撑圆盘,所述支撑圆盘表面设有环形齿条,所述支撑圆盘底端设有支撑座,所述支撑座内部设有电动伸缩杆。本发明通过设有传动轮,基板经第一转动轴带动到第二转动轴顶端,基板往一侧运动给压力传感器施加压力,当压力达到设定的范围时,压力传感器将信号传递给单片机,单片机将停止信号传递给第二电机,第二电机停止工作,同时单片机传递伸长信号给电动伸缩杆。
- 一种半导体生产线运输转角装置
|