专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]半导体层叠体、半导体装置,以及它们的制造方法-CN201710907263.4有效
  • 富泽由香;池田吉纪;今村哲也 - 帝人株式会社
  • 2011-12-09 - 2021-08-06 - H01L21/02
  • 本发明提供半导体层叠体、半导体装置,以及它们的制造方法。提供半导体装置的制造方法。另外,能使用该方法获得的半导体装置,以及能够用于该方法的分散体。制造半导体装置(500a)的本发明的方法包含下述工序(a)~(c),且第1掺杂剂注入层(52)的晶体取向与由半导体元素形成的半导体层或基材(10)的晶体取向相同:(a)对层或基材的特定部位适用含有经过掺杂的粒子的分散体,和(b)将适用的分散体干燥,形成未烧结掺杂剂注入层,以及(c)通过对未烧结掺杂剂注入层进行光照射,对层或基材的特定部位通过p型或n型掺杂剂进行掺杂,同时使未烧结掺杂剂注入层烧结,形成与层或基材一体化的掺杂剂注入层。
  • 半导体层叠装置以及它们制造方法
  • [发明专利]感光性树脂组合物和半导体设备制造方法-CN201680076774.X有效
  • 添田淳史;池田吉纪 - 帝人株式会社
  • 2016-12-08 - 2021-06-01 - G03F7/004
  • 提供具有高温耐热性且具有导电性、对半导体基材而言不存在产生金属杂质的担忧、能够进行图案形成、且能够以低成本应用于高温的离子注入工艺的感光性树脂组合物、和使用这样的组合物的半导体设备的制造方法。本发明的感光性树脂组合物含有感光性树脂、以及导电性材料和/或半导体材料的颗粒。此外,制造半导体设备的本发明的方法包括:在半导体层或基材(2)上形成本发明的感光性树脂组合物的膜的图案(11)的步骤;将感光性树脂组合物的膜的图案进行煅烧从而形成离子注入用掩模(13)的步骤;通过离子注入用掩模的图案开口部(12)向半导体层或基材(2)注入离子的步骤;和,去除离子注入用掩模(13)的步骤。
  • 感光性树脂组合半导体设备制造方法
  • [发明专利]掺杂剂组合物、掺杂剂注入层和掺杂层的形成方法-CN201610918606.2有效
  • 今村哲也;富泽由香;池田吉纪 - 帝人株式会社
  • 2013-03-29 - 2018-12-14 - H01L21/208
  • 本发明的第1方面提供表面凹凸少、连续性高的硅层形成于基材上的半导体层合体的制造方法。本发明的第1方面的制造具有基材10和基材上的烧结硅粒子层5的半导体层合体的方法包含以下工序:(a)将含有分散介质和分散于分散介质中的硅粒子的硅粒子分散体涂布在基材10上,形成硅粒子分散体层1的工序;(b)将硅粒子分散体层1干燥,形成未烧结硅粒子层2的工序;(c)在未烧结硅粒子层上层合光透射性层3的工序;以及(d)穿过光透射性层3对未烧结硅粒子层2照射光,使构成未烧结硅粒子层2的硅粒子烧结,由此形成烧结硅粒子层5的工序。
  • 掺杂组合注入形成方法
  • [发明专利]半导体装置的制造方法-CN201380018274.7有效
  • 今村哲也;富泽由香;池田吉纪 - 帝人株式会社
  • 2013-03-29 - 2017-09-12 - H01L21/20
  • 本发明的第1方面提供表面凹凸少、连续性高的硅层形成于基材上的半导体层合体的制造方法。本发明的第1方面的制造具有基材10和基材上的烧结硅粒子层5的半导体层合体的方法包含以下工序(a)将含有分散介质和分散于分散介质中的硅粒子的硅粒子分散体涂布在基材10上,形成硅粒子分散体层1的工序;(b)将硅粒子分散体层1干燥,形成未烧结硅粒子层2的工序;(c)在未烧结硅粒子层上层合光透射性层3的工序;以及(d)穿过光透射性层3对未烧结硅粒子层2照射光,使构成未烧结硅粒子层2的硅粒子烧结,由此形成烧结硅粒子层5的工序。
  • 半导体合体及其制造方法装置掺杂组合注入形成
  • [发明专利]半导体器件的制造方法以及半导体器件-CN201580046174.4在审
  • 井上由香;池田吉纪;今村哲也 - 帝人株式会社
  • 2015-08-27 - 2017-05-10 - H01L31/0224
  • 本发明的目的在于,在半导体器件的制造方法中,能够在对铝浆料进行烧成来形成电极时,防止电极与硅层或基材的电极区域的电气接触恶化这样的问题,并且使钝化层的贯通孔的最小直径变小由此防止钝化层能担负的功能的损失。此外,本发明的目的在于,提供这样做而得到的半导体器件。制造半导体器件的本发明的方法包括在具有钝化层(18)的硅层或基材(15)上形成通过钝化层的贯通孔与硅层或基材的电极区域(15a)电气接触的电极(12)。在此,在该方法中,通过贯通孔在电极区域涂敷铝浆料,然后对铝浆料进行烧成,由此,形成电极。此外,在该方法中,贯通孔的最小直径为50μm以下,并且电极区域的表面掺杂剂浓度为7×1018原子/cm3以上,或者电极区域的薄层电阻值为70Ω以下。
  • 半导体器件制造方法以及

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