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[发明专利]基于平面螺型结的耐高压元件及制造工艺-CN201910911364.8在审
发明人：曲迪;明辰;白国人;王磊;李康;陈景春 -专利权人：天津华慧芯科技集团有限公司
申请日： 2019-09-25 - 公布日： 2019-12-24 - 主分类号： H01L29/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于平面螺型结的耐高压元件及制造工艺，涉及半导体技术领域，其特征在于：至少包括：单晶硅片、位于单晶硅片上表面的第二导电类型轻掺层和第一绝缘层、位于第二导电类型轻掺层一端的第一导电类型重掺杂层、位于第二导电类型轻掺层另一端的第二导电类型重掺层、与第一导电类型重掺杂层连通的第一电极、与第二导电类型重掺层连通的第二电极；第二导电类型轻掺层成螺旋结构；所述第一绝缘层位于第二导电类型轻掺层的两侧；第二导电类型轻掺层、第一绝缘层、第一导电类型重掺杂层和第二导电类型重掺层位于同一平面内；第一电极垂直于上述平面；所述第二电极垂直于上述平面；位于平面上的第一绝缘层。
导电类型绝缘层第一导电类型重掺杂层重掺层单晶硅片第二电极第一电极连通半导体技术领域垂直耐高压元件螺旋结构制造工艺上表面螺型

[实用新型]一种衬底片切割装置-CN201920525406.X有效
发明人：曲迪;闫青芝;陈墨;白国人;宋学颖;靳春艳 -专利权人：天津华慧芯科技集团有限公司
申请日： 2019-04-17 - 公布日： 2019-12-24 - 主分类号： B26D1/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种衬底片切割装置，涉及半导体制备设备技术领域，包括方形的载物台及切割刀；所述载物台上设有对称固定在衬底片切割线两侧的一对固定伸缩装置；所述固定伸缩装置卡合在衬底片的两侧；所述切割刀沿衬底片切割线方向设置；所述载物台上设有角度可调的切割臂，所述切割刀连接在所述切割臂上；切割刀的刀尖正对衬底片切割线的一端；还包括设在切割刀对向的定位尖角；所述定位尖角中心线正压在切割线的另一端。还包括设在衬底片被切割一侧的挡板；所述挡板与所述固定伸缩装置平行，挡板设在衬底片正上方。该衬底片切割装置结构简单合理，可以有效的减少碎屑的产生；而且方便规定任意大小的衬底片。
衬底片切割刀固定伸缩装置挡板切割线定位尖切割臂半导体制备设备切割装置结构本实用新型切割线方向刀尖对称固定角度可调切割装置载物台对向卡合碎屑正对正压平行切割

[实用新型]洁净室用冬季运行中的组合式空调机组表冷器防冻装置-CN201920565558.2有效
发明人：索建康;曲迪;李淼;付艳涛;邹伟伟;李双;常淑荣 -专利权人：天津华慧芯科技集团有限公司
申请日： 2019-04-23 - 公布日： 2019-12-24 - 主分类号： F24F11/42 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种洁净室用冬季运行中的组合式空调机组表冷器防冻装置，包括空调机组和PLC控制器，空调机组上设置有进风管道，进风管道入口处设置电动阀门，进风管道内部设有表冷器和送风电机，表冷器上设置有加热元件，在靠近电动阀门室外一侧的进风管道上设置有PT100温度传感器，表冷器的回水管路上设置有水流指示器，PT100温度传感器和水流指示器均与控制送风电机、加热元件和电动阀门动作的PLC控制器电连接。本实用新型设计科学，操作方便，有效解决了空调机组运行时因室外环境温度过低和表冷器水流量不足或中断后导致表冷器铜管内残留的水分结冰而冻裂盘管的问题。
表冷器进风管道电动阀门空调机组本实用新型水流指示器加热元件送风电机组合式空调机组表冷器铜管水流量冬季运行防冻装置回水管路室外环境有效解决电连接洁净室入口处运行时结冰冻裂盘管室外残留中断

[实用新型]一种利用液氮对洁净室用水进行冷量置换的装置-CN201920560678.3有效
发明人：李双;曲迪;李淼;付艳涛;邹伟伟;常淑荣;索建康 -专利权人：天津华慧芯科技集团有限公司
申请日： 2019-04-23 - 公布日： 2019-12-24 - 主分类号： F25D3/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种利用液氮对洁净室用水进行冷量置换的装置，包括液氮输送管线、水浴式汽化器、气液分离器、板式换热器、冷冻水循环管线、工艺冷却水循环管线和中温水循环管线，液氮输送管线与水浴式汽化器的液氮入口相连，水浴式汽化器的液氮出口与气液分离器的入口相连，气液分离器的液氮出口与水浴式汽化器的液氮入口相连，水浴式汽化器内装有40％纯水与60％乙二醇混合溶液，水浴式汽化器的混合溶液循环管线与板式换热器的一个介质流体通道相连，板式换热器的另外三个介质流体通道分别与冷冻水循环管线、工艺冷却水循环管线和中温水循环管线相连。本实用新型大大增加了冷量置换的效率，有效地实现了洁净室的温湿度控制。
水浴式汽化器板式换热器气液分离器循环管线本实用新型工艺冷却水冷冻水循环水循环管线混合溶液介质流体液氮出口液氮入口液氮输送洁净室冷量中温置换温湿度控制有效地实现乙二醇液氮

[实用新型]一种超净实验室双向稳定正负压源风淋室-CN201920565557.8有效
发明人：邹伟伟;曲迪;宋学颖;李淼;付艳涛;李双;常淑荣;索建康 -专利权人：天津华慧芯科技集团有限公司
申请日： 2019-04-23 - 公布日： 2019-12-24 - 主分类号： B08B5/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种超净实验室双向稳定正负压源风淋室，包括风淋室壳体、风淋室内壁、以及位于风淋室壳体与风淋室内壁之间的过滤系统，过滤系统用于净化风淋室内的空气，过滤系统包括变速离心风机、真空发生器和过滤器，风淋室内壁的一侧安装有风淋口，相应另一侧安装有吸风口，变速离心风机的出风管路分两路，一路连接风淋口，另一路连接真空发生器的压缩空气进口，真空发生器位于吸风口侧，真空发生器的真空口连接吸风口，真空发生器的压缩空气出口通过管路将压缩空气输送至过滤器。本实用新型大大增加了风淋室的风淋除尘效果，从源头上有效地实现了超净实验室洁净度管控，使用效果优于传统方式，具有较好的实际应用价值和推广价值。
风淋真空发生器风淋室过滤系统室内壁吸风口过滤器本实用新型变速离心风机壳体压缩空气出口压缩空气进口压缩空气输送有效地实现出风管路除尘效果传统方式正负压源分两路洁净度真空口管控室内净化源头应用

[实用新型]一种静电吸附样品用扫描电镜样品台-CN201920965724.8有效
发明人：姬静远;曲迪;王磊;李康;陈景春;梁娟 -专利权人：天津华慧芯科技集团有限公司
申请日： 2019-06-25 - 公布日： 2019-12-24 - 主分类号： H01J37/20 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种静电吸附样品用扫描电镜样品台，包括金属样品台，金属样品台的外围套设有一绝缘圈，金属样品台的正下方设有平行板电容器，平行板电容器与金属样品台之间设有绝缘垫，绝缘垫位于金属样品台下表面上，平行板电容器与绝缘垫电连接，平行板电容器与电池组电连接，电池组的正极与平行板电容器的上极板电连接。本实用新型结构构思巧妙、使用方便、便于操作，对于薄片、尺寸较小样品或粉末状样品能够很好的完成样品的取放，不会对样品造成损伤，有利于样品进一步回收，同时减少固定样品过程中引入其他污染，而且固定的更加牢固，大大提高了工作效率，节约了生产成本。
平行板电容器金属样品台电连接绝缘垫电池组本实用新型扫描电镜样品台正极粉末状样品工作效率固定样品金属样品静电吸附固定的绝缘圈上极板小样品取放生产成本损伤外围回收节约引入污染

[发明专利]基于垂直S型结的耐高压元件及制造工艺-CN201910911399.1在审
发明人：明辰;曲迪;白国人;王磊;李康 -专利权人：天津华慧芯科技集团有限公司
申请日： 2019-09-25 - 公布日： 2019-12-20 - 主分类号： H01L29/40 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于垂直S型结的耐高压元件及制造工艺，涉及半导体技术领域，其特征在于：至少包括：单晶硅片、位于单晶硅片上表面的第二导电类型轻掺层、位于第二导电类型轻掺层一端的第一导电类型重掺杂层、位于第二导电类型轻掺层另一端的第二导电类型重掺层、与第一导电类型重掺杂层连通的第一电极、与所述第二导电类型重掺层连通的第二电极；相邻两条导电类型轻掺层之间为第一绝缘层；每条导电类型轻掺层的两侧均为第一绝缘层；第二导电类型轻掺层、第一绝缘层、第一导电类型重掺杂层和第二导电类型重掺层位于同一平面内；第一电极垂直于上述导电类型轻掺层；第二电极垂直于上述导电类型轻掺层；位于所述平面上的第一绝缘层。
导电类型绝缘层第一导电类型重掺杂层重掺层单晶硅片第二电极第一电极垂直连通半导体技术领域耐高压元件制造工艺上表面

[实用新型]一种不导电块体样品用扫描电镜样品台-CN201920526862.6有效
发明人：王磊;曲迪;李康;陈景春;宋学颖;姬静远;梁娟 -专利权人：天津华慧芯科技集团有限公司
申请日： 2019-04-17 - 公布日： 2019-12-20 - 主分类号： H01J37/20 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种不导电块体样品用扫描电镜样品台，包括底座和圆台，圆台的表面设置有用于夹持样品的夹持组件，夹持组件整体由铜材质制成，夹持组件包括依次相连的水平连接部、拱高部和夹持部，水平连接部上开设有通孔，水平连接部通过穿过通孔的螺栓固定在圆台上且与圆台表面面接触，拱高部用于为样品提供容置空间，夹持部沿拱高部最高点向下倾斜设置，螺栓、圆台和底座均由铝材质制成。本实用新型可以把样品表面的电荷通过铜质夹持组件、铝质圆台和铝质底座有效的导走，同时还具有固定样品的功能，方便装卸样品，并且不会损伤和污染样品表面，而且大大提高了工作效率，适合推广应用。
夹持组件圆台水平连接部拱高本实用新型夹持部通孔底座扫描电镜样品台向下倾斜设置螺栓表面设置方便装卸工作效率固定样品铝质底座螺栓固定容置空间污染样品样品表面样品提供依次相连圆台表面电荷不导电铝材质面接触铜材质夹持块体铝质铜质损伤穿过

[实用新型]一种墙体改造用暗盒扣孔设备-CN201920039670.2有效
发明人：曲迪 -专利权人：辽宁悦利建设科技发展集团有限公司
申请日： 2019-01-10 - 公布日： 2019-12-06 - 主分类号： B28D1/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种墙体改造用暗盒扣孔设备，电锤的左端固定装配有连接杆，连接杆的左端装配有方孔开设装置，方孔开设装置包括基柱，基柱的左侧面中部开设有钻孔腔，基柱的右侧面中部贯穿固定有连接管，基柱的外侧壁固定装配有传送杆，基柱的左侧面均匀固定装配有刀头，连接管的外侧壁中部开设有第一环形槽，第一环形槽的内部转动套接有第一圆环，第一圆环的外侧均匀固定装配有固定杆，固定杆的外侧端固定套接有矩形管，本实用新型通过在电锤上安装方孔开设装置，一次性在内墙上开设出一个方形的孔洞，对比现有开设预留孔的方法，简化了操作步骤，省去了填充材料的使用，节约了资源，同时有效避免了暗盒脱落。
基柱装配本实用新型固定装配均匀固定固定杆环形槽连接杆连接管左侧面暗盒电锤圆环左端孔洞外侧壁中部安装方孔墙体改造填充材料转动套接传送杆固定套矩形管外侧壁外侧端一次性右侧面预留孔钻孔刀头方孔扣孔贯穿节约

[发明专利]基于平面S型结的耐高压元件及制造工艺-CN201910910852.7在审
发明人：潘旭捷;曲迪 -专利权人：华慧高芯科技(深圳)有限公司
申请日： 2019-09-25 - 公布日： 2019-11-29 - 主分类号： H01L29/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于平面S型结的耐高压元件及制造工艺，涉及半导体技术领域，其特征在于：至少包括：单晶硅片、位于单晶硅片上表面的第二导电类型轻掺层、位于第二导电类型轻掺层一端的第一导电类型重掺杂层、位于第二导电类型轻掺层另一端的第二导电类型重掺层、与第一导电类型重掺杂层连通的第一电极、与所述第二导电类型重掺层连通的第二电极；相邻两条导电类型轻掺层之间为第一绝缘层；每条导电类型轻掺层的两侧均为第一绝缘层；第二导电类型轻掺层、第一绝缘层、第一导电类型重掺杂层和第二导电类型重掺层位于同一平面内；第一电极平行于上述导电类型轻掺层；第二电极平行于上述导电类型轻掺层；位于所述平面上的第一绝缘层。
导电类型绝缘层第一导电类型重掺杂层重掺层单晶硅片第二电极第一电极连通平行半导体技术领域耐高压元件制造工艺上表面

[实用新型]一种多片装晶圆剥离花篮-CN201920560679.8有效
发明人：靳春艳;曲迪;陈墨;白国人;闫青芝 -专利权人：天津华慧芯科技集团有限公司
申请日： 2019-04-23 - 公布日： 2019-11-26 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多片装晶圆剥离花篮，涉及晶圆作业技术领域，包括置于超声槽内的花篮下托盘；所述花篮下托盘是承载晶圆的圆柱形体；花篮下托盘上下端面贯通有多个与晶圆尺寸匹配的卡槽；所述卡槽沿花篮下托盘的周向均匀设置；卡槽内沿径向设有镂空的晶圆承载体；晶圆待剥离的一面与晶圆承载体贴合。还包括可拆卸的与所述花篮下托盘扣合的花篮上盖；在所述花篮下托盘的上端面设有多爪弹片；所述多爪弹片为圆形薄片，多爪弹片包括实心的圆片及设在圆片周围的条状挡片；所述挡片与所述卡槽的数量和位置对应。该剥离花篮不仅结构简单合理、剥离后晶圆表面清洁、剥离时晶圆不易滑落，而且剥离花篮在不同溶液间的转换很方便。
花篮晶圆下托盘剥离弹片多爪卡槽圆片承载周向均匀设置作业技术领域本实用新型尺寸匹配晶圆表面可拆卸的上下端面圆形薄片圆柱形体镂空超声槽承载体卡槽沿上端面实心的条状挡挡片多片滑落上盖贯通清洁转换

[实用新型]一种整片晶圆剥离花篮-CN201920561271.2有效
发明人：靳春艳;曲迪;陈墨;白国人;闫青芝 -专利权人：天津华慧芯科技集团有限公司
申请日： 2019-04-23 - 公布日： 2019-11-08 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型涉及晶圆作业技术领域，公开了一种整片晶圆剥离花篮，包括在竖直方向相隔一定间距连接的晶圆下托盘和晶圆上卡台；在晶圆下托盘上端面的相对两侧设有连接卡件；所述连接卡件的一端与晶圆下托盘的上端边缘固定，另一端与晶圆上卡台的下端边缘固定；晶圆下托盘沿竖直方向设有通孔；整片晶圆卡合在两个连接卡件之间，晶圆的待剥离面向下放置。还包括可拆卸的提梁；所述提梁包括水平的第一提手和相对设置在晶圆两侧的连接杆；两个所述连接杆所在径向与两个连接卡件所在径向互相垂直。该剥离花篮不仅结构简单合理、剥离后晶圆表面清洁、剥离时晶圆不易滑落，而且剥离花篮在不同溶液间的转换很方便。
晶圆剥离连接卡件下托盘花篮整片提梁连接杆上卡竖直作业技术领域本实用新型互相垂直间距连接晶圆表面可拆卸的上端边缘下端边缘相对两侧相对设置上端滑落卡合提手通孔相隔清洁转换

[发明专利]异构网络中的干扰协调方法-CN201710770788.8有效
发明人：曲迪;周一青;田霖;石晶林 -专利权人：中国科学院计算技术研究所
申请日： 2017-08-31 - 公布日： 2019-10-25 - 主分类号： H04W16/10 文献下载
摘要：本发明提供一种异构网络中的干扰协调方法，该方法包括：根据接入的目标基站和用户的接收信号强度将用户划分为多种类型；将异构网络中的频段资源划分为中心频段、正交的多个边缘频段、保护频段，其中，所述中心频段用于接入宏站的用户和接入小站的用户共用，所述多个边缘频段和保护频段用于接入小站的用户使用；基于预定的调度规则将所述不同类型的用户分别调度到所述中心频段、多个边缘频段或保护频段上；建立优化异构网络的目标函数，确定用户的接入基站以及分配得到的资源。本发明的方法能够降低宏站和小站之间的跨层干扰以及小站和小站之间的同层干扰，提供全局吞吐量。
网络中的干扰协调方法

[发明专利]一种塔磨机分级装置-CN201910547185.0在审
发明人：路社斌;赵冬博;姜迎春;黄虹;曲迪;赵梅;张志远;刘海;蔡宏飞;高鹏;潘麒仲;N·鹤虎;康健;张曼;李乐;朱国翠 -专利权人：北方重工富勒（沈阳）矿业有限公司
申请日： 2019-06-24 - 公布日： 2019-09-17 - 主分类号： B02C23/12 文献下载
摘要：一种塔磨机分级装置，在分离槽的左上部连接塔磨机溢流口，在分离槽的右下部通过第一连接管与循环泵连接，循环泵通过第二连接管与塔磨机底部给料口连接；下分离槽安装在地面上，在下分离槽上设置上分离槽，上分离槽通过给料筒与塔磨机溢流口相连；电动执行器安装在上分离槽顶部，板阀与电动执行器相连，控制上分离槽底部卸料口的大小；液位传感器安装在上分离槽的连通管顶部；循环泵通过第一连接管连通下分离槽的出料口和塔磨机底部给料口。该发明在塔磨机运行时显著的改善塔磨机过粉磨，在塔磨机内部物料发生板结后显著降低板结程度和降低主电机启动负载，操作简便，可靠性高，维护成本低，应用于矿山、水泥、冶金等行业的细磨设备技术领域中。
分离槽塔磨机连接管循环泵电动执行器分级装置给料口溢流口板结设备技术领域底部卸料口液位传感器出料口给料筒过粉磨连通管主电机板阀塔磨细磨连通矿山水泥冶金应用维护

[发明专利]发光二极管电极扩展条结构的成型工艺-CN201810776398.6有效
发明人：曲迪;白国人;陈墨;明辰;宋学颖 -专利权人：天津华慧芯科技集团有限公司
申请日： 2018-07-09 - 公布日： 2019-09-17 - 主分类号： H01L33/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种发光二极管电极扩展条结构的成型工艺。包括：一：用电感耦合等离子体离子束轰击n‑GaAs表面或开黄光或湿法腐蚀，打出窗口面n‑GaAs窗口；二：用化学气相沉积沉积金属电极；三：取电极光罩板，软烤100℃～150℃，时长为2min～5min；四：电极光罩曝光；五：曝后烤100℃～150℃；六：电极光罩显影；七：等离子体打氧机进行打氧；八：电极蒸镀，以Au/AuGeNi/Au/Pt/Au进行物理蒸镀；九：对电极进行金属电极剥离，形成金属电极图案，在玻璃容器中添加丙酮，片源放置于卡塞中，待整体没过片源后，对片源进行震荡处理；十：对震荡后的片源进行去胶处理，十一：去除掩膜。
极光罩发光二极管电极成型工艺金属电极震荡等离子体沉积金属电极化学气相沉积耦合等离子体离子束轰击玻璃容器湿法腐蚀物理蒸镀电极窗口面打氧机对电极丙酮黄光卡塞取电去胶软烤时长显影掩膜蒸镀去除剥离图案曝光