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[发明专利]一种可分离的复合碳化硅衬底及其制备和分离方法-CN202210213635.4在审
发明人：王振中 -专利权人： 无锡华鑫检测技术有限公司
申请日： 2022-03-04 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： H01L29/16 文献下载
摘要：本发明提出了一种可分离的复合碳化硅衬底，包括第一碳化硅单晶层、第二碳化硅单晶层以及位于两个碳化硅单晶层之间的非晶层；所述碳化硅衬底，对于波长为1030nm的光，第二碳化硅单晶层的透过率大于50％，非晶层的透过率小于0.2％。本发明得到的复合碳化硅衬底，采用波长为1030nm的激光束，从第二碳化硅单晶层射入，聚焦在非晶层，非晶层吸收激光能量发生结构分解，从而第一碳化硅单晶层与第二碳化硅单晶层自然分离，解决了碳化硅器件工艺中背面减薄的问题，能有效保持衬底性能稳定及与后续垂直器件工艺的兼容性，降低了后段器件工艺背面减薄的成本与难度，为高性能低成本碳化硅基器件制备奠定材料基础。
一种可分离复合碳化硅衬底及其制备分离方法

[发明专利]一种碳化硅异质晶圆及其制造方法-CN202310303015.4在审
发明人：王振中 -专利权人： 无锡华鑫检测技术有限公司
申请日： 2023-03-27 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： C30B29/36 文献下载
摘要：本发明公开了一种碳化硅异质晶圆及其制造方法。碳化硅异质晶圆包括碳化硅单晶层、碳化硅支撑层以及位于单晶层与支撑层之间的中间层；中间层的材料是耐高温氧化物，含有碳氧化硅、氧化铝和氧化铪中的一种。同时本发明还提出了碳化硅异质晶圆的制造方法，在碳化硅单晶片和碳化硅支撑片的待键合表面，分别形成薄膜，然后氧等离子体处理后，原位直接键合，形成碳化硅异质晶圆。本发明提出的SiC异质晶圆，提高了SiC单晶的利用率，具有键合强度高，高温下结构稳定，与现有功率器件工艺兼容等优点；制造过程对键合设备和键合工艺要求低，键合良率高，从而降低了SiC晶圆的制造成本。
一种碳化硅异质晶圆及其制造方法

[发明专利]一种复合碳化硅衬底及其制备方法-CN202210098073.3在审
发明人：王振中 -专利权人： 无锡华鑫检测技术有限公司
申请日： 2022-01-27 - 公布日： 2022-05-06 - 主分类号： H01L29/04 文献下载
摘要：本发明提出了一种复合碳化硅衬底，包括碳化硅单晶层、碳化硅多晶层以及位于碳化硅单晶层与碳化硅多晶层之间碳化硅陶瓷层；所述碳化硅单晶层晶体为六方相4H型，所述碳化硅多晶层晶体颗粒为立方相3C型；所述碳化硅陶瓷层晶体颗粒为六方相4H型和立方相3C型的混合；所述碳化硅陶瓷层靠近碳化硅单晶层的一侧，其六方相4H型晶体颗粒的平均尺寸大于陶瓷层中其他位置的4H型晶体颗粒；所述碳化硅陶瓷层靠近碳化硅多晶层的一侧，其立方相3C型晶体颗粒平均尺寸大于陶瓷层中其他位置的3C型晶体颗粒。解决了碳化硅单晶和多晶复合衬底存在的界面空隙和缺陷问题，能有效保持衬底性能稳定及与后续垂直器件工艺的兼容性，为高性能低成本碳化硅基器件制备奠定基础。
一种复合碳化硅衬底及其制备方法

[发明专利]一种扫描电子显微镜电子束斑深度的测量方法-CN202011154425.X有效
发明人：屈晓兰;李璐;黄孟琼 -专利权人： 无锡华鑫检测技术有限公司
申请日： 2020-10-26 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： G01B15/00 文献下载
摘要：本发明提出一种测量扫描电子显微镜电子束斑深度的方法，在导电金属基底层上，逐步溅射上若干层金属层，形成标准样品；利用扫描电子显微镜对标准样品在测试倍率下进行聚焦放大扫描，同时利用能谱仪在测试倍率下分别获取每一金属层的金属元素的出峰临界值电压，以及扫描显微镜电子束到达每一金属层表面激发金属特征信号需要的深度值；进行建模形成测试倍率下的三坐标数据矩阵；调整测试倍率再按照上述的方法分别获取不同倍率下的三坐标数据矩阵；将在不同测试倍率下获取的的数据矩阵进行拟合形成数据矩阵群落；通过拟合形成三维曲面，按照三维曲面则可得到任一倍率和任一出峰临界值电压下的扫描电子显微镜的电子束斑深度值。
一种扫描电子显微镜电子束深度测量方法

[发明专利]一种氮化镓-金刚石异质结晶片及其制备方法-CN202111503831.7在审
发明人：王振中 -专利权人： 无锡华鑫检测技术有限公司
申请日： 2021-12-09 - 公布日： 2022-03-11 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明提出了一种氮化镓‑金刚石异质结晶片及其制备方法，所述结晶片包括金刚石衬底、二硫化钨薄膜层以及氮化镓外延层；所述氮化镓外延层包括AlGaN缓冲层和GaN功能层；所述AlGaN缓冲层在靠近二硫化钨薄膜层一侧是N原子终止的。本发明以二硫化钨(WS2)薄膜作为晶格匹配成核层，有效解决了氮化镓和金刚石衬底之间的晶格失配问题，降低了AlGaN缓冲层的厚度，从而极大地降低了GaN功能层与金刚石衬底间的热阻。该方法可实现大尺寸氮化镓‑金刚石异质结晶片的量产，为高功率高密度氮化镓射频器件提供了材料基础。
一种氮化金刚石结晶及其制备方法

[实用新型]一种便携式氧化石墨烯海绵循环除醛装置-CN202122400936.1有效
发明人：屈晓兰;李璐;黄孟琼 -专利权人： 无锡华鑫检测技术有限公司
申请日： 2021-10-02 - 公布日： 2022-03-08 - 主分类号： B01D53/74 文献下载
摘要：本实用新型提出一种便携式氧化石墨烯海绵循环除醛装置，所述装置包括长方体壳体、氧化石墨烯海绵机芯、紫外灯组以及风扇，所述长方体壳体外表面上为均匀分布的蜂窝孔结构，所述长方体外壳体内部设有机芯支撑架，所述氧化石墨烯海绵机芯通过支撑架位于长方体壳体中心位置；所述紫外灯组固定于长方体壳体内表面顶部，所述紫外灯组包括若干个紫外灯，所述紫外灯均匀分布在氧化石墨烯海绵机芯上方两侧的；所述风扇固定于长方体壳体内表面底部，位于氧化石墨烯海绵机芯下方；所述长方体壳体上方一端的外表面还设有太阳能电池板，内表面设有锂离子电池组；所述太阳能电池板与锂离子电池组相连接，所述锂离子电池组还连接至紫外灯组和风扇。可循环使用。
一种便携式氧化石墨海绵循环装置

[发明专利]一种双层复合碳化硅衬底及其制备方法-CN202111381323.6在审
发明人：王振中 -专利权人： 无锡华鑫检测技术有限公司
申请日： 2021-11-21 - 公布日： 2022-02-22 - 主分类号： C30B29/36 文献下载
摘要：本发明提出了一种双层复合碳化硅衬底，所述衬底包括碳化硅单晶层和碳化硅多晶层；所述碳化硅多晶层中含有3C型晶体颗粒；所述晶体颗粒尺寸沿着垂直于衬底方向逆着碳化硅单晶层一侧渐次变小。利用化学气相沉积法在碳化硅单晶层上沉积碳化硅多晶层，控制晶体质量，提高了界面的结合强度，且兼顾了生长成本。本发明解决了碳化硅单晶和碳化硅多晶复合衬底存在的界面空隙和缺陷问题，能有效保持衬底应用性能的稳定性，保证与后续垂直器件工艺的兼容性，且制备过程有效减少碳化硅单晶的损耗，为高性能低成本碳化硅基器件制备奠定基础。
一种双层复合碳化硅衬底及其制备方法

[发明专利]一种具有分解甲醛功能的氧化石墨烯海绵的制备方法-CN202111167105.2在审
发明人：屈晓兰;李璐;黄孟琼 -专利权人： 无锡华鑫检测技术有限公司
申请日： 2021-10-02 - 公布日： 2021-12-31 - 主分类号： C01B32/194 文献下载
摘要：本发明提出了一种具有分解甲醛功能的氧化石墨烯海绵的制备方法，所述方法包括：制备氧化石墨烯水溶液，水溶液中含氧量为10％～55％；制备纳米二氧化钛水溶液，水溶液浓度为0.1％‑10％；将氧化石墨烯水溶液和纳米二氧化钛水溶液10:1体积百分比进行混合，边搅拌上述氧化石墨烯水溶液的同时，缓慢加入纳米二氧化钛水溶液，搅拌15‑30分钟得到混合物溶液；在上述混合物溶液中加入水性树脂，搅拌一段时间后进行超声分散，装入特定的模具进行冷冻干燥；将上述冷冻干燥得到的混合物进行高温煅烧活化，得到具有分解甲醛功能的氧化石墨烯海绵。本发明氧化石墨烯海绵具有不掉粉、分解甲醛能力强、循环使用的优点。
一种具有分解甲醛功能氧化石墨海绵制备方法

[实用新型]一种基于激光的热扩散系数测试支架-CN202022239731.5有效
发明人：屈晓兰;李璐;黄孟琼 -专利权人： 无锡华鑫检测技术有限公司
申请日： 2020-10-10 - 公布日： 2021-06-22 - 主分类号： G01N25/20 文献下载
摘要：本实用新型提出一种基于激光的热扩散系数测试支架，其特征在于：包括圆柱状载体，所述载体圆周面上设有与测试仪器炉体相契合的卡槽；所述载体正面均匀设有若干个对称的标准测试方孔；所述标准测试方孔底部四边均设有一个卡台；所述测试支架还包括若干个与标准测试方孔尺寸一致的且中间设有圆通孔的方片，所述方片包括配套使用的设有尺寸一致圆通孔的下支撑片和上盖片。解决了样品规格尺寸局限性的问题，实现测试样品多样性应用，同时确保样品在测试过程中不因为激光脉冲产生的热流扰动，引起样品的移位、褶皱等现象，确保测试结果的准确性。
一种基于激光扩散系数测试支架

[发明专利]一种氧化石墨烯金属纳米片复合材料的制备方法-CN202011269231.4在审
发明人：屈晓兰;李璐;黄孟琼 -专利权人： 无锡华鑫检测技术有限公司
申请日： 2020-11-13 - 公布日： 2021-02-19 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提出一种氧化石墨烯金属纳米片复合材料的制备方法，所述方法包括如下：1)在玻璃基底上均匀的涂敷氧化石墨烯浆料，在低温环境下干燥形成氧化石墨烯薄膜；2)将形成氧化石墨烯薄膜的玻璃基底放入等离子刻蚀机，对氧化石墨烯薄膜进行氧等离子体刻蚀；3)将经过等离子体刻蚀后的氧化石墨烯薄膜从玻璃基底上取下，置于磁控溅射炉中，选择特定的金属靶材，在氧化石墨烯薄膜表面进行磁控溅射，得到氧化石墨烯金属纳米粒子复合膜；4)将得到的氧化石墨烯金属纳米粒子复合膜，置于水中浸泡一段时间后，超声分散，得到氧化石墨烯金属纳米片分散液；5)将得到的氧化石墨烯金属纳米片分散液冷冻干燥后得到氧化石墨烯金属纳米片复合材料。
一种氧化石墨金属纳米复合材料制备方法

[实用新型]一种监控摄像机的前盖结构-CN202020564232.0有效
发明人：李璐 -专利权人： 无锡华鑫检测技术有限公司
申请日： 2020-04-16 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： H04N5/225 文献下载
摘要：本实用新型提出一种监控摄像机的前盖结构，包括立方体结构的盖板，所述盖板正面中心位置设有一个摄像头安装孔；所述摄像头安装孔四周设有若干个出光孔径；所述出光孔径通过定位卡槽镶嵌有灯杯透镜，所述灯杯透镜上面部与盖板正面平齐，其底部通过孔槽与补光灯板的灯芯相契合；所述灯杯透镜为一体成型的”V“字型结构体，其边缘带有与出光孔径的定位卡槽相契合的凸环；所述灯杯透镜与出光孔径衔接缝隙处均用防水胶密封固定。本实用新型所述的监控摄像机的前盖结构，结构简单，具有良好的防水防尘、散热和透光效果，能够有效提高摄像机的成像效果和延长使用寿命。
一种监控摄像机结构

[发明专利]一种石墨烯基羊毛柔软剂及其制备方法-CN201910545941.6在审
发明人：李璐;黄孟琼;屈晓兰 -专利权人： 无锡华鑫检测技术有限公司
申请日： 2019-06-23 - 公布日： 2019-08-30 - 主分类号： D06M11/74 文献下载
摘要：本发明公开了一种石墨烯基羊毛柔软剂及其制备方法，所述柔软剂由以下重量份的组分组成：石墨烯：1‑25份；咪唑啉季铵盐：1‑8份；氨基硅油：5‑10份；表面活性剂：1‑5份；蛋白酶：1‑8份；pH调节剂：0.5‑2份；水软化剂：1‑10份；水：50‑80份。本发明所述石墨烯基羊毛柔软剂，能够有效降低羊毛纤维间的摩擦系数，改善羊毛纤维的柔软度，使得织物柔软蓬松，同时由于石墨烯的加入不仅能细化羊毛，而且能够与羊毛表面的羧基、氨基等基团结合在一起，使得柔软后的羊毛纤维具有抗菌、抗静电的功效。
柔软剂羊毛石墨烯基羊毛纤维石墨烯制备氨基咪唑啉季铵盐蛋白酶表面活性剂氨基硅油摩擦系数水软化剂羊毛表面织物柔软抗静电柔软度重量份蓬松抗菌柔软细化羧基

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