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[发明专利]一种对射频离子源线圈耦合效率的估算优化方法-CN202311094153.2在审
发明人： 张洪国;夏益伟;唐继远;徐冉;王旭敏 -专利权人：江苏鹏举半导体设备技术有限公司
申请日： 2023-08-29 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： G06F30/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种对射频离子源线圈耦合效率的估算优化方法，包括使用等离子变压器模型，其优化步骤如下：确定线圈几何形状和放电室几何形状，确定相关参数和确定射频频率；计算出线圈电感值和电阻值；计算出品质因子Q，计算出射频离子源最大功率转换效率；判断射频离子源最大功率转换效率是否满足设计要求；若满足要求，则输出线圈及放电室几何形状和相关参数值并进行下一步的仿真设计；若不满足设计要求，则对线圈的几何形状及参数进行优化，重复上述步骤对射频离子源最大功率转换效率再计算，直至满足设计要求。本发明的有益效果是：通过对射频离子源最大功率转换效率的计算，判断是否满足设计要求，实现对射频离子源线圈耦合效率的估算优化。
一种射频离子源线圈耦合效率估算优化方法

[发明专利]一种射频离子源放电室内气体电离临界条件的计算方法-CN202311094179.7在审
发明人： 张洪国;夏益伟;张浩宇;周同亮;唐继远;王旭敏 -专利权人：江苏鹏举半导体设备技术有限公司
申请日： 2023-08-29 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： G06F17/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种射频离子源放电室内气体电离临界条件的计算方法，包括如下步骤：确定线圈几何形状及其相关参数，确定射频频率，确定放电室内的压强值p，计算出线圈内均匀磁场#imgabs0#和磁通#imgabs1#，计算出电动势V的值，确定线圈内在#imgabs2#的方向上的感应电场#imgabs3#，建立放电室内气体电离临界条件的模型#imgabs4#，计算出线圈中通入直流电流#imgabs5#的临界范围，判断临界范围的最小值是否满足#imgabs6#，如不满足则重复上述步骤，直至临界范围的最小值满足要求。本发明的有益效果是：解决了射频离子源设计与运行过程中放电室内气体电离临界条件不可知的问题，实现对线圈的几何形状及相关参数的不断优化，实现指导射频离子源的设计。
一种射频离子源放电室内气体电离临界条件计算方法

[发明专利]离子发生装置及粒子移除方法-CN202311093023.7在审
发明人： 张洪国;唐继远;张浩宇;周同亮;汤晨宇 -专利权人：江苏鹏举半导体设备技术有限公司
申请日： 2023-08-29 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供了一种离子发生装置及粒子移除方法，所述离子发生装置包括：本体，其内设有收容腔，所述收容腔用于收容衬底；离子源，收容于所述收容腔中，并与所述衬底相对设置；第一栅网和第二栅网，相互连接；栅网驱动机构，连接并驱动所述第一栅网和第二栅网在第一方向上运动，以使所述第一栅网和第二栅网中的任意一个遮掩于所述离子源和衬底之间；离子源驱动机构，连接并驱动所述离子源在第二方向上运动，以使所述离子源靠近或远离所述衬底；所述第一栅网上的图案与所述第二栅网上的图案互补；所述粒子移除方法采用了上述的离子发生装置。本发明解决了半导体制程中对于材料的定向移除的精度不高的问题。
离子发生装置粒子方法

[发明专利]固态前驱体源升华装置-CN202310384764.4有效
发明人： 张洪国;夏益伟;郎陈子航;刘磊;唐继远;王旭敏 -专利权人：江苏鹏举半导体设备技术有限公司
申请日： 2023-04-12 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本发明公开了一种固态前驱体源升华装置，包括固态源瓶主体，固态源瓶主体顶部的上盖板上设置有填料管以及进气管、出气管，出气管的下端终止于上盖板的下端面，其上端通过管路连通薄膜沉积腔体，管路上包裹有加热套；固态源瓶主体内设置有铜衬套，铜衬套卡接密封在上盖板与固态源瓶主体的底壁之间，固态源瓶主体内设置有缠绕在铜衬套外部的加热线圈；铜衬套内的中部设置有丝网过滤垫；铜衬套的底部设置有粉末防漏垫、气体分流板，填料管的下端穿过丝网过滤垫、终止于粉末防漏垫上方；气体分流板下端面设置有气道以及多个与气道连通的出气孔，进气管下端与气道连通。本发明能够更好的有助于固态源的升华，提高了固态源的使用效率。
固态前驱升华装置

[发明专利]一种射频离子源实现阻抗匹配网络设计的优化方法-CN202310623759.4在审
发明人： 张洪国;夏益伟;周同亮;唐继远;张浩宇;徐冉;汤晨宇 -专利权人：江苏鹏举半导体设备技术有限公司
申请日： 2023-05-30 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G06F30/392 文献下载
摘要：本发明公开了一种射频离子源实现阻抗匹配网络设计的优化方法，包括给两个真空电容器分别设定一个初始电容值；测量输入阻抗的值并且确定其实部和虚部的值；求出射频离子源等效阻抗实部、虚部及阻抗的值；求出两个真空电容器相对应的实际电容值，按照所求的实际电容值反过来调节相对应的两个真空电容器的电容值，求出射频离子源实际的等效阻抗实部、虚部以及阻抗的值；判断阻抗匹配网络是否匹配成功；若阻抗匹配网络匹配成功，则输出实际电容值及等效阻抗的值；若匹配不成功，将求出的实际电容值作为初始电容值，然后重复上述步骤。本发明的有益效果是：实现对阻抗匹配网络匹配的判断，实现对阻抗匹配网络设计的优化，解决功率损耗较大的问题。
一种射频离子源实现阻抗匹配网络设计优化方法

[发明专利]用于真空镀膜或刻蚀设备真空环境内的温度监测补偿系统-CN202310344684.6在审
发明人： 张洪国;汤晨宇;刘磊 -专利权人：江苏鹏举半导体设备技术有限公司
申请日： 2023-04-03 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： C23C16/52 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于真空镀膜或刻蚀设备真空环境内的温度监测及补偿系统，包括多个温度传感器，多个所述温度传感器分别位于腔体内部的多个测温区内，每个所述测温区内设置有用以补偿温度的温度补偿器，多个所述温度传感器分别与PLC的温度采集模块连接，所述PLC的输出端分别与多个温度补偿器，所述温度传感器为贴片式热电偶或热电阻，所述温度传感器、温度补偿器均通过真空密封方式引出腔体外，所述温度传感器采用贴附的方式与腔体内待测温的待测物贴合。本发明保证了对沉积设备内部采集的温度以及温度补偿效果。
用于真空镀膜刻蚀设备真空环境温度监测补偿系统

[实用新型]一种多色颜料杯分选装盒装置-CN202320454807.7有效
发明人：付龙;张洪国;沈立强;胡文龙;张恩龙;王敬萍 -专利权人：河北青竹画材科技股份有限公司
申请日： 2023-03-12 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： B65B35/18 文献下载
摘要：本实用新型属于分选传送技术领域，具体的讲涉及一种多色颜料杯分选装盒装置。该分选装盒装置包括多条给料输送带，用于输送盛装着不同单色颜料杯的单元盒，每条输送带具有各自的堆栈输送带，通过第一机械手将单元盒内成排单色颜料杯抓取至堆栈输送带，所有的堆栈输送带对接单杯汇集输送带，用于形成颜料杯的多色排列，通过第二机械手将多色排列的颜料杯抓取至成品盒内，还包括用于联动调节的plc控制器；该分选装盒装置能够快速完成多色料杯组合配套，具有与加工生产线衔接紧密、多色颜料杯分选装盒便捷、生产效能高的特点。
一种多色颜料分选盒装

[发明专利]V型槽的径向密封结构-CN202310390185.0在审
发明人： 张洪国;夏益伟;周同亮;唐继远;刘磊 -专利权人：江苏鹏举半导体设备技术有限公司
申请日： 2023-04-13 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： F16J15/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种V型槽的径向密封结构，包括第一压环，第一压环的下端面具有压环斜面；第二压环，第二压环的内壁上设置有斜面台阶，形成第一内壁、第二内壁，第一内壁的口径大于第二内壁的口径，第一压环装配于第一内壁上，斜面台阶与压环斜面之间留有间隙；轴密封环，轴密封环位于间隙内，轴密封环的上、下端面分别设置有上斜面、下斜面，上斜面与压环斜面、下斜面与斜面台阶均形成V型槽；两根密封圈，两根密封圈位于分别位于两圈V型槽内；进气筒，进气筒的外壁与第一压环、第二压环装配连接，进气筒的外壁迫使两根密封圈分别向V型槽挤压，并挤压固定轴密封环。该径向密封结构有利于密封圈的压缩、使得密封效果更好、便于安装和拆卸。
径向密封结构

[实用新型]一种多色颜料杯的配套盒扣盖装置-CN202320454805.8有效
发明人： 张洪国;沈立强;付龙;张恩龙;胡文龙;王敬萍 -专利权人：河北青竹画材科技股份有限公司
申请日： 2023-03-12 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： B65B7/28 文献下载
摘要：本实用新型属于料杯封装技术领域，具体的讲涉及一种多色颜料杯的配套盒扣盖装置。该配套盒扣盖装置包括通过机械手对接的盒盖储仓、配套盒输送带，其中，所述盒盖储仓包括设置在架座上的动力转盘，其表面设有多个盒盖定位架，待所述盒盖定位架转动至配套盒输送带对接处，通过所述机械手将盒盖抓取至配套盒上方并下压扣合，还包括用于协调联动的plc控制器；该装置能够快速完成多色料杯组合配套盒扣盖工序，具有与加工生产线衔接紧密、盒盖分装扣合严密、生产效能高的特点。
一种多色颜料配套盒扣盖装置

[外观设计]带半导体操控界面的图形用户界面的显示屏幕面板-CN202330030763.0有效
发明人： 张洪国;汤晨宇;刘磊;周同亮 -专利权人：江苏鹏举半导体设备技术有限公司
申请日： 2023-02-06 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： 14-04 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：带半导体操控界面的图形用户界面的显示屏幕面板。2.本外观设计产品的用途：控制半导体原子层沉积设备运行的图形用户界面。3.本外观设计产品的设计要点：在于半导体原子层沉积设备屏幕中的图形用户界面内容及界面布局。4.最能表明设计要点的图片或照片：主视图。5.本外观设计产品为惯常设计，故省略后、左、右、俯、仰视图。6.图形用户界面的用途：用于控制半导体原子层沉积设备的运行状态。7.图形用户界面在产品中的区域：该显示屏幕面板用于电脑。8.图形用户界面的人机交互方式：主视图是显示屏幕面板的主界面，点击主视图中的“手动页面”按钮可进入界面变化状态图1，点击主视图中的“配方界面”按钮可进入界面变化状态图2，点击主视图中的“实时数据”按钮可进入界面变化状态图3，点击主视图中的“历史数据”按钮可进入界面变化状态图4，点击主视图中的“报警数据”按钮可进入界面变化状态图5。
半导体操控界面图形用户界面显示屏幕面板

[实用新型]预留孔穴植生袋逆序安装生态喷锚防护结构-CN202320792886.2有效
发明人： 张洪国;陈其波;刘志旺;张松海;肖荣飞 -专利权人：德州市公路工程总公司
申请日： 2023-04-06 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： E02D17/20 文献下载
摘要：本实用新型提供一种预留孔穴植生袋逆序安装生态喷锚防护结构，所述高陡岩质边坡分为上、中、底三级边坡，顶层边坡采用U型锚钉网罩钢筋结合管状植生带厚基材进行边坡生态防护，使管状植生带厚基材贴紧原边坡坡面，减少顶部边坡的荷载，避免了植生袋及喷播的植生基材受重力和降雨冲刷作用而掉落；底层边坡、中层边坡均采用锚杆框架梁结合型钢压架固定植生袋进行边坡生态防护，避免了植生袋在重力及雨水的作用下易沿边坡滑落问题；各层边坡内预留孔穴及排水结构，为植物根系提供足够的生长空间的同时，及时将边坡内的渗水、雨水排出，提高了植物的存活率，护坡效果好，成本低，安全性高，取得了较好的技术、经济效益。
预留孔穴植生袋逆序安装生态防护结构

[实用新型]一种轮胎牵引系统及轮胎牵引性能试验机-CN202320605981.7有效
发明人：唐顺锋;刘晓波;张洪国;赵文强;高丰春;成明金 -专利权人：青岛厚泽锦业技术有限公司
申请日： 2023-03-24 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： G01M17/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种轮胎牵引系统及轮胎牵引性能试验机，移动主体上安装待测试的轮胎，旋转驱动部设于移动主体上，用于驱动轮胎在地面上转动，底座设于移动主体的下方，轮胎在地面上转动以带动移动主体沿底座的长度方向运动，牵引部与移动主体连接，用于向移动主体提供牵引力，牵引部包括牵引驱动电机，牵引驱动电机的动力输出端设有滚筒，滚筒上缠绕牵引绳，力传感器设于移动主体上，牵引绳的一端与力传感器连接。本方案能够实现在室内对轮胎进行测试，向轮胎提供牵引力，使轮胎在测试过程中能够保持一定的载荷。
一种轮胎牵引系统性能试验

[实用新型]一种动力缸工位套及其输送带的动力缸工位-CN202320454804.3有效
发明人：朱雪峰;张洪国;沈立强;付龙;桑娜 -专利权人：河北青竹画材科技股份有限公司
申请日： 2023-03-12 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： B65B57/04 文献下载
摘要：本实用新型属于动力缸附件技术领域，具体的讲涉及一种动力缸的工位套。其结构包括定位板以及设置在定位板外侧的一个或多个导向套，导向套的一端贯通定位板，其另一端与动力缸的缸体端部连接，动力缸的活塞杆置于导向套内，活塞杆端部伸缩贯穿定位板，或者活塞杆的端部连接延长臂，延长臂伸缩贯穿定位板；该动力缸的工位套可以安装在水彩颜料输送带上已形成不同工位，具有动力缸定位牢靠，活塞杆伸缩顺畅、不受污染腐蚀、经久耐用且确保输送带内工序自动连续、生产效率高的特点。
一种动力缸工位套及其输送带缸工位

[实用新型]一种轮胎前进速度测量系统及轮胎牵引性能试验机-CN202320606004.9有效
发明人：唐顺锋;高丰春;张洪国;王丹;刘晓波;成明金;赵文强 -专利权人：青岛厚泽锦业技术有限公司
申请日： 2023-03-24 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： G01M17/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种轮胎前进速度测量系统与轮胎牵引性能试验机，前进速度检测系统包括移动主体，其上安装待测试轮胎，旋转驱动部设于移动主体上，用于驱动轮胎在地面上转动，底座设于移动主体的下方，轮胎在地面上转动以带动移动主体沿底座的长度方向运动，位移传感器用于检测移动主体的移动距离，位移传感器的可变电阻滑轨设于底座上、沿底座的长度方向延伸，位移传感器的滑片设于移动主体上，计时器用于检测移动主体的移动时间。该方案能够在室内对轮胎进行测试，实时测量轮胎的前进速度。
一种轮胎前进速度测量系统牵引性能试验

[发明专利]一种基于激光雷达设备的目标轨迹跟踪方法-CN202310354196.3有效
发明人：胡彦峰;张合勇;张洪国;邓媛;邹延培 -专利权人：浙江光珀智能科技有限公司
申请日： 2023-04-06 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： G06T7/246 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于激光雷达设备的目标轨迹跟踪方法。为了克服现有技术场景背景深度学习数据量巨大，预处理数据不够精确的问题；本发明包括：S1：获取激光雷达三维点云数据并根据执行状态的判定处理；S2：当执行状态处于3D场景背景深度学习时，对3D场景中各点位特征的三维点云数据进行深度学习；S3：当执行状态为非深度学习状态时，若执行状态处于目标轨迹跟踪状态，则进行检测。基于数据流模式，对每一帧数据进行无效数据剔除、背景剔除和目标检测，每帧都可以检测出目标轨迹，实时性很高，通用性强，部署方便。
一种基于激光雷达设备目标轨迹跟踪方法

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