专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种贴片式薄膜NTC热敏电阻器-CN202211278862.1在审
  • 武绍宽;高波;邓勇生;潘婷;孙丞;薛小婷;李莹 - 陕西电器研究所
  • 2022-10-19 - 2023-02-03 - H01C7/04
  • 本发明涉及一种贴片式薄膜NTC热敏电阻器,属于热敏电阻技术领域。所示热敏电阻器包括衬底、绝缘膜、NTC薄膜、上电极、铜柱、下电极以及保护膜,绝缘膜位于衬底的上表面,NTC薄膜位于绝缘膜上,上电极位于NTC薄膜以及绝缘膜上且均匀分布,保护膜位于上电极、NTC薄膜以及绝缘膜裸露的表面上,下电极位于衬底的下表面,铜柱穿过衬底连接上电极与下电极。该热敏电阻器采用铜柱连接上、下两个电极,在贴片时就可以使NTC薄膜朝上,与热源更接近,而且能够大幅度缩短电互连的长度,解决信号延迟的问题,使测试更灵敏、方便。
  • 一种贴片式薄膜ntc热敏电阻器
  • [发明专利]一种氧化增光二极管制作方法-CN202011459843.X有效
  • 夏黎明;李青民;任占强;李喜荣;王宝超;张超奇;孙丞;李波 - 西安立芯光电科技有限公司
  • 2020-12-11 - 2022-02-25 - H01L33/32
  • 本发明提供一种氧化增光二极管制作方法,解决现有二极管制作方法存在氧化不均匀、串联电阻高、造成产品分类多、循环次数较多等问题。该方法包括:步骤一、在GaAs衬底上生长外延结构,在进行AlAs生长时,TMAl中增加40~100PPM的氧元素;步骤二、制作正面金属电极;步骤三、制作背面金属;步骤四、图形制作;步骤五、在350~450℃、保护气体环境下进行退火;步骤六、进行切割;步骤七、进行AlAs氧化,氧化气体条件:在保护气体环境下增加水蒸气,混气出口温度90~100℃;步骤八、进行芯片测试。本发明方法在TMAl中加入少量的氧元素,使得产品氧化均匀性提高,同时AlAs氧化后变成Al2O3,折射率由3.09降低到1.77,增加ΔN,提高了器件性能。
  • 一种氧化增光二极管制作方法
  • [实用新型]一种便于携带的线损用测算装置-CN202023274085.2有效
  • 李平;韩保锋;张峰;耿光明;张鹏岩;孙丞;安宇 - 国网新疆电力有限公司奎屯供电公司
  • 2020-12-30 - 2021-08-06 - G01R27/26
  • 本实用新型涉及线损测算设备技术领域,尤其是一种便于携带的线损用测算装置,包括机体,机体顶部固定安装有挂绳,机体上通过导线电性连接有三个鳄鱼夹,机体上通过导线电性连接有三个电流钳,机体背板处设有两组卷收机构,两组卷收机构并排设置,卷收机构包括两个支撑侧板,两个支撑侧板间隔设置,支撑侧板固定连接在机体上,两个支撑侧板之间设有两个圆盘,两个圆盘之间设有卷轴,卷轴两端固定连接在圆盘上,圆盘上固定安装有转轴,转轴可转动的安装在支撑侧板上,位于一侧的转轴贯穿支撑侧板,转轴的端部固定安装有转盘,转盘上固定安装有握柄,鳄鱼夹和电流钳上的导线均可卷收在卷轴内。
  • 一种便于携带线损用测算装置
  • [发明专利]一种用于晶圆光刻的高精度对准方法-CN201711191957.9有效
  • 孙丞;李青民 - 西安立芯光电科技有限公司
  • 2017-11-24 - 2020-04-03 - G03F9/00
  • 本发明提出一种用于晶圆光刻的高精度对准方法,消除了砷化镓晶圆平边的打磨工艺对于光刻对准精度的影响,提高了光刻对准的精度。本发明的主要步骤有:(1)在载片台和光刻版的夹缝前设置独立照明光源,使晶圆底边的一侧完全被照亮,同时关闭显微镜自身的照明光源,通过显微镜观察光刻版;(2)将显微镜左右镜头中的光刻版图形进行平行对准;(3)将显微镜镜头高度下调,显微镜中的光刻版图形变得模糊,边界变得不再清晰;继续调整显微镜镜头的高度,直至观察到砷化镓晶圆平边的底边;(4)将显微镜左右镜头中的平边底边进行平行对准,即完成了光刻版图形与晶圆平边底边的对准。
  • 一种用于圆光高精度对准方法
  • [发明专利]一种用于适应背面减薄的晶圆金属镀层结构以及工装-CN201511024095.1有效
  • 孙丞;杨国文 - 西安立芯光电科技有限公司
  • 2015-12-30 - 2019-05-31 - H01L21/02
  • 本发明提出了一种用于适应背面减薄的晶圆金属镀层结构及其工装(光刻板、晶圆夹具)。该晶圆金属镀层结构,晶圆金属镀层中部设置有若干个用于实现芯片功能且相互隔离的金属区,整体记为芯片有效区,有别于现有技术的是:在所述芯片有效区的外围设置有与其相隔离的金属环带,该金属环带的厚度与所述金属区的厚度相同。晶圆在作业背面减薄工艺时,由于晶圆边缘均存在金属,消除了边缘缝隙,故晶圆边缘受力不均匀的问题得到解决,消除了破裂和弯曲的风险。同时,由边缘缝隙的消除,晶圆边缘的支撑载体和正面完全贴合,也消除了减薄颗粒会进入到晶圆正面的可能,解决了晶圆表面沾污的问题。
  • 一种用于适应背面金属镀层结构以及工装
  • [发明专利]一种控制光刻胶溅射的涂胶机系统-CN201711193667.8在审
  • 孙丞;李青民 - 西安立芯光电科技有限公司
  • 2017-11-24 - 2018-03-09 - G03F7/16
  • 本发明提出一种控制光刻胶溅射的涂胶机系统,结构简明,实现成本低,在产业上能够有效减轻光刻胶溅射问题对涂胶工艺的影响。该控制光刻胶溅射的涂胶机系统,包括涂胶机腔体和设置于涂胶机内腔的载片台以及晶圆;涂胶机腔体的竖直方向设置有抽气系统,涂胶机内腔的侧壁在高度方向上对应于晶圆及其以上的区域向内倾斜,使得光刻胶微粒溅射的主要方向改为向下溅射,涂胶机腔体的侧壁顶端向腔体轴心延展形成导流护板,整体形成从顶端中心向两侧下行的气流导向,使得从晶圆表面甩出的光刻胶微粒被抽气系统带走。因此,本发明提升了光刻胶的表面一致性以及光刻工艺的稳定性,提高了产品良率和产出。
  • 一种控制光刻溅射涂胶系统
  • [发明专利]一种用于激光芯片制造中平边补偿对准的光刻方法-CN201610874047.X有效
  • 孙丞;杨国文 - 西安立芯光电科技有限公司
  • 2016-09-30 - 2017-11-21 - G03F9/00
  • 一种用于激光芯片制造中平边补偿对准的光刻方法,首先,从某一批衬底对应的外延片中任意挑选一片,进行光刻、腐蚀、研磨、解理;其中,在光刻工艺完成后测量光刻图形与晶圆平边之间的偏转角度,在解理工艺完成后测量解理边与光刻图形之间的偏转角度,计算得出晶圆平边与解理边之间的偏转角度;然后,根据计算出的晶圆平边与解理边之间的偏转角度,在作业该衬底批次后续晶圆的第一步光刻时,人为地对晶圆平边与解理边之间的偏转进行补偿。本发明提出一种用于激光芯片制造中平边补偿对准的光刻方法,消除了晶圆平边和解理边的偏转不可控的因素,有效提高砷化镓激光芯片的成品率,且实现成本较低。
  • 一种用于激光芯片制造中平补偿对准光刻方法

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