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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种非栓接母线配电柜-CN202310270324.6有效
发明人： 刘利坚 -专利权人：乔纳森（厦门）电气有限公司
申请日： 2023-03-20 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： H02B1/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种非栓接母线配电柜，包括柜体，所述柜体的一侧插装有抽屉式安装盒，所述安装盒沿柜体的深度方向滑动连接在柜体上，所述安装盒设置有多个，所述安装盒从柜体内抽出后与柜体转动配合，本申请具有改善上述现有技术中的不足的效果。
一种非栓接母线配电柜

[实用新型]一种开关柜浪涌保护器可调安装机构-CN202222474396.6有效
发明人： 刘利坚 -专利权人：乔纳森（厦门）电气有限公司
申请日： 2022-09-19 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： H02B1/32 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种开关柜浪涌保护器可调安装机构，包括至少一对纵立柱和若干横立柱，纵立柱纵向相对排布，横立柱横向地间隔布置在至少一对纵立柱之间，还包括立杆，立杆的上下端分别连接于相邻的两个横立柱上；安装板，安装板用于装设浪涌保护器，安装板可转动地铰接于立杆；固定件，固定件安装于横立柱上，当安装板转动至靠近横立柱时，所述安装板可被卡紧于固定件上使得安装板在无外力施加的情况下无法朝远离横立柱的方向转动。本实用新型结构简单，成本低，使用方便，当需要对浪涌保护器进行维修时，转动安装板，即可直接维修。不需要使用时安装板靠近于开关柜的侧面，不占用柜后电缆空间，节省空间。
一种开关柜浪涌保护器可调安装机构

[实用新型]一种开关柜电表安装罩机构-CN202220238252.8有效
发明人： 刘利坚 -专利权人：乔纳森（厦门）电气有限公司
申请日： 2022-01-28 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： H02B1/03 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种开关柜电表安装罩机构，包括柜门和安装罩，安装罩连接于柜门的内侧并朝柜体内侧凸设，安装罩与柜门内侧之间形成一容纳空间；柜门内侧固设有一支架，安装罩的一侧铰接于支架上；支架包括水平段和凸出段，水平段固设于柜门内侧，安装罩铰接于凸出段上。本实用新型结构简单，加工成本低，可以适配直接安装到现有的开关柜上，通用性强。通过该机构，工作人员可以很便利地进行维护、线束制作等操作，节省时间。
一种开关柜电表安装机构

[发明专利]等离子体加工设备-CN201410604520.3有效
发明人：韦刚;刘利坚;李东三;李兴存 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2014-10-31 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种等离子体加工设备，包括反应腔室、用于承载被加工工件的基座和射频天线装置，该射频天线装置包括电感线圈、电极板组和射频源，其中，电感线圈和电极板组相互并联，且与射频源电连接，并且二者设置在反应腔室顶部，且分别与基座的不同位置相对应。本发明提供的等离子体加工设备，其在利用电感线圈产生等离子体的基础上，同时利用电极板组产生等离子体，可以起到调整等离子体对应基座不同位置的分布密度的作用，以使基座上各被加工工件间的刻蚀结果趋于均匀，从而可以提高刻蚀均匀性。
等离子体加工设备

[实用新型]气体导入装置-CN201720147554.3有效
发明人： 刘利坚;张伟涛 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2017-02-17 - 公布日： 2018-01-05 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种气体导入装置。本实用新型的气体导入装置，包括导管体和喷嘴，所述导管体固定在所述喷嘴的上表面上，且所述导管体中的气体通道与所述喷嘴中的气体通道相连通，在所述导管体与所述喷嘴的接触面上设置有第一垫片；所述第一垫片用于缓冲所述导管体对所述喷嘴的施加的作用力。本实用新型的气体导入装置通过在导管体和喷嘴二者的接触面上设置第一垫片，能够有效延长气体导入装置的使用寿命，提高气体导入装置的可靠性。
气体导入装置

[发明专利]托盘及等离子体加工设备-CN201310158104.0有效
发明人：张宝辉;李东三;刘利坚;栾大为;高福宝;杨智慧;李宗兴 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2013-05-02 - 公布日： 2017-03-29 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明提供的托盘及等离子体加工设备，在每个托盘的装片位上设置有进气通道，该进气通道包括边缘进气通道和中间进气通道，其中，边缘进气通道设置在装片位上，且位于装片位的靠近边缘的位置，并由沿装片位的周向间隔设置的多个边缘进气孔组成；中间进气通道设置在装片位上，且位于边缘进气通道与装片位的中心之间，并且中间进气通道包括多个中间进气孔，多个中间进气孔沿装片位的圆周方向间隔设置。本发明提供的托盘，其可以改善被加工工件的边缘区域的热交换效果，从而可以使被加工工件的边缘区域与中间区域的温度趋于均匀，进而可以提高等离子体加工设备的工艺均匀性。
托盘等离子体加工设备

[发明专利]一种刻蚀方法-CN201410413794.4在审
发明人：张君;刘利坚 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2014-08-21 - 公布日： 2016-02-24 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明提供一种刻蚀方法，用于刻蚀蓝宝石衬底，所述方法包括以下步骤：在所述蓝宝石衬底上设置具有预定高度的掩膜层；对所述掩膜层进行图形化处理，得到具有所需图形的掩膜；对所述掩膜进行预处理，使得所述蓝宝石衬底与预处理后的掩膜之间的刻蚀选择比大于或等于预定值；对所述蓝宝石衬底进行主刻蚀；对主刻蚀后的蓝宝石衬底进行过刻蚀。本发明通过调整掩膜的高度，同时提高掩膜的耐刻性，能够较大程度地减少过刻蚀步骤所需的时间，从而降低了刻蚀图形化蓝宝石衬底的整体工艺时间，提高了生产效率。
一种刻蚀方法

[发明专利]刻蚀装置及刻蚀方法-CN201410356255.1在审
发明人：张君;刘利坚;谢秋实;李东三 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2014-07-24 - 公布日： 2016-02-17 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种刻蚀装置及刻蚀方法。其中刻蚀装置包括：反应腔；晶圆固定装置，晶圆固定装置用于将晶圆固定在反应腔的顶部且晶圆的待刻蚀面朝向反应腔的底部；气体注入口，气体注入口设置在反应腔底部，用于向反应腔通入刻蚀气体；激励线圈，激励线圈环绕反应腔设置，用于将刻蚀气体激发成等离子体；以及偏压提供装置，偏压提供装置与晶圆固定装置相连，用于对晶圆固定装置中的晶圆施加偏压。本发明实施例的刻蚀装置不受刻蚀材料种类限制，无论刻蚀反应产物的挥发性高低均可用持续地进行刻蚀，具有刻蚀速率高、适用范围广、工艺成本低的优点。
刻蚀装置方法

[实用新型]可翻转拆卸式电梯井防护门-CN201520023691.7有效
发明人：安晓阳;楼阳红;张涛;张振辉;熊延军;毕江寰;刘利坚;巩利斌;庞超;王磊磊 -专利权人：天津天一建设集团有限公司;天津住总建筑集团有限公司
申请日： 2015-01-14 - 公布日： 2015-07-08 - 主分类号： B66B13/30 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种可翻转拆卸式电梯井防护门，其特征在于：包括防护门、与防护门上端两侧固接的销轴和用于与电梯井口两侧边固定的连接板，所述防护门通过销轴与连接板动配合连接，所述防护门两侧边上通过铰接件和螺母连接有翻转支撑板。优点是：融入了薄型轻钢结构拆卸组装的铰接性能，各个部件均可拆卸，便于运输；且可根据施工现场实际情况增加数量，灵活设置，安全可靠、经久耐用。本电梯井防护门从根本上克服了钢管扣件类电梯井门的弊病，可独立固定、符合安全高度要求且可方便清理电梯内杂物。
翻转拆卸电梯防护门

[发明专利]托盘及等离子体加工设备-CN201310152358.1在审
发明人： 刘利坚 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2013-04-27 - 公布日： 2014-10-29 - 主分类号： H01J37/20 文献下载
摘要：本发明提供的托盘及等离子体加工设备，用于承载被加工工件，并借助热交换气体对被加工工件的温度进行调节，而且，在托盘的上表面形成有凹部，该凹部的数量和位置与被加工工件的数量和位置一一对应，并且每个凹部和与之一一对应的被加工工件的下表面的中心区域之间形成闭合空间，并且，在凹部的底面上分布有多个进气孔，热交换气体经由进气孔流入闭合空间内。本发明提供的托盘，其不仅可以一定程度地改善被加工工件的边缘区域的温度控制效果，以提高被加工工件的中心区域与边缘区域的温度均匀性，而且还可以减少热交换气体的泄漏量。
托盘等离子体加工设备

[发明专利]晶片固定装置、半导体设备和晶片固定方法-CN201110458094.3在审
发明人： 刘利坚;李东三;张宝辉;韦刚;王伟 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2011-12-31 - 公布日： 2013-07-03 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶片固定装置、半导体设备和晶片固定方法。该晶片固定装置包括：包括：卡盘、卡盘电源和位于卡盘之上的托盘，其中：卡盘内部设置有与卡盘电源连接的卡盘电极，托盘包括托盘电极和包覆于托盘电极周围的绝缘体；晶片固定装置用于在等离子启辉过程中将晶片吸附于托盘上以及使托盘吸附于卡盘上。本发明的技术方案中，无需通过人工操作的方式将晶片固定于托盘上，从而提高了生产效率以及降低了生产成本；无需采用压紧固定部件通过按压晶片边缘的方式将晶片固定于托盘上，从而增加了晶片表面的可加工面积；无需采用螺钉将压紧固定部件固定于托盘上，从而增加了托盘上放置晶片的位置。
晶片固定装置半导体设备方法

[实用新型]框架结构梁柱节点箍筋劲性筒-CN201120222936.0有效
发明人：杨涛;李金虎;杨武;郑华;刘西;王敏;周琦;刘利坚;段连祥;安晓阳 -专利权人：天津天一建设集团有限公司
申请日： 2011-06-28 - 公布日： 2012-01-25 - 主分类号： E04B1/58 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种框架结构梁柱节点箍筋劲性筒，特征在于：它是由数根柱纵向钢筋、与数根柱纵向钢筋横向绑扎的多根柱箍筋以及与柱箍筋内侧固接的加劲钢筋构成一呈方形的箍筋筒结构。优点是：可彻底解决了梁柱节点箍筋存在的质量通病，提高建筑物的强度和抗震性能，而且避免了传统施工中梁底模安装完成后进行框梁钢筋绑扎，框梁绑扎完成后在封梁帮板模；钢筋工程和模板工程多次交叉施工；简化施工工序，提高施工质量和工效率。此外，还可降低施工人员劳动强度，避免传统钢筋工程施工的不利作业环境，大幅度提高了现场施工的安全性。
框架结构梁柱节点箍筋劲性筒

[实用新型]基底支撑组件-CN201120107777.X有效
发明人：管长乐;李东三;刘利坚 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2011-04-13 - 公布日： 2011-12-07 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型提供一种基底支撑组件，其可解决现有的基底固定组件不能同时达到良好的密封和控温效果的问题。本实用新型的基底支撑组件包括用于支撑基底的支撑件，所述支撑件在用于放置基底的位置边缘处具有凹槽；位于所述凹槽中的密封圈，在未承载基底时所述密封圈的上沿高于所述支撑件的上表面；还包括位于所述凹槽中的用于支撑所述密封圈的弹性结构。本实用新型可用于在等离子体刻蚀等基底处理工艺中固定基底。
基底支撑组件

[实用新型]密封圈及应用该密封圈的等离子体加工设备-CN201120096149.6有效
发明人：张刚;李东三;刘利坚 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2011-04-02 - 公布日： 2011-09-14 - 主分类号： F16J15/06 文献下载
摘要：本实用新型提供一种密封圈及应用该密封圈的等离子体加工设备，所述密封圈用于密封被密封件，其包括密封圈本体，所述密封圈本体与所述被密封件的接触面上设有受压变形的凸部。借助该凸部可以提高密封圈的变形量，从而可以提高密封圈的密封效果。借助本实施例提供的密封圈不仅可以使等离子体加工设备的基座和托盘保持良好的接触，从而提高等离子体加工设备的加工质量；而且可以使背吹空间获得良好的密封，可以减少因氦气泄漏对工艺腔室真空度的影响，以及减少氦气的使用量，从而降低生产成本。
密封圈应用等离子体加工设备

[实用新型]驱动器连接部件和具有它的压环升降机构-CN201020613658.7有效
发明人：王伟;李东三;赵梦欣;刘利坚;张宝辉 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2010-11-18 - 公布日： 2011-07-06 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开一种驱动器连接部件，包括本体，所述本体上设有第一导向孔和第二导向孔以及用于与驱动器相连的连接部，其中所述本体的重心和所述连接部均位于所述第一导向孔与所述第二导向孔的中心连线上。根据本实用新型实施例的驱动器连接部件，由于所述本体的重心与所述连接部在所述第一导向孔与第二导向孔的中心连线上，因此驱动器连接部件的受力容易实现平衡，从而安装精度要求降低，省时省力。因此，对驱动器连接部件施力时，驱动器连接部件容易平衡，而不容易发生朝向一侧倾斜，不会损坏第一导向孔和第二导向孔，使用寿命长。本实用新型还提出一种具有上述驱动器连接部件的压环升降机构。
驱动器连接部件具有升降机构

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