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[实用新型]一种用于考夫曼离子源的阳极-CN202122127202.0有效
发明人：任荆学;张鹏;杨志伟 -专利权人：北京光友科技有限公司
申请日： 2021-09-03 - 公布日： 2022-02-25 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及考夫曼离子源技术领域，尤其涉及一种用于考夫曼离子源的阳极，包括阳极圈、阳极连杆、后阳极环、阳极托片、屏极；所述阳极圈设置在所述屏极内部，所述阳极圈的下方设置所述后阳极环，所述阳极托片的上表面设置所述后阳极环；所述阳极圈与所述后阳极环之间设置阳极连杆，所述阳极圈、所述后阳极环通过所述阳极连杆为一体成型结构。本实用新型省去了现有技术中固定阳极圈的螺钉、螺母、陶瓷件，以及阳极圈与后阳极环之间的阳极连线；一方面简化了阳极结构，减少了陶瓷件的使用数量，安装或维护时操作简便，缩短了维护时间，降低维护成本；另一方面避免了安装或维护时屏极与阳极连线造成的短路问题，减少了90％的阳极短路故障。
一种用于考夫曼离子源阳极

[发明专利]具有用于广角离子束的抽取组合件的设备以及系统-CN202080049673.X在审
发明人：科斯特尔·拜洛;爱普·纳文·汤玛斯;泰勒·洛克威尔;法兰克·辛克莱;克里斯多夫·坎贝尔 -专利权人：应用材料股份有限公司
申请日： 2020-06-23 - 公布日： 2022-02-22 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：一种离子束处理设备可包括等离子体腔室及设置在所述等离子体腔室旁边的等离子体板，其中所述等离子体板界定第一抽取开孔。所述设备可包括设置在所述等离子体腔室内并面向所述抽取开孔的束阻挡器。所述设备可还包括：非平面电极，邻近所述束阻挡器并在所述等离子体腔室的外部设置；以及抽取板，设置在所述等离子体板的外部，并界定与所述第一抽取开孔对齐的第二抽取开孔。
具有用于广角离子束抽取组合设备以及系统

[发明专利]碰撞电离离子源-CN201810031852.5有效
发明人： G·A·施温德;A·P·J·M·波特曼;S·凯洛格;L·V·科文;L·米尔 -专利权人： FEI公司
申请日： 2018-01-12 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：本文公开了一种碰撞电离源。一个示例性的源包括：设置为接收气体和带电粒子束的电离区域，其中带电离子束电离至少部分气体；以及设置为将气体提供到电离区域的供应管道，其中供应管道具有从输入孔向输出孔减少的非均匀高度，输出孔邻近电离区域设置。
碰撞电离离子源

[实用新型]一种大口径光学元件的离子束加工装置-CN202121810366.7有效
发明人：宋驰;张鑫;殷龙海;尹小林;张斌智;李鑫;黄贺;张乐 -专利权人：摩高光学科技（佛山）有限公司
申请日： 2021-08-04 - 公布日： 2022-01-28 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：本申请涉及离子束加工的技术领域，尤其是涉及一种大口径光学元件的离子束加工装置，包括真空加工舱以及设置于所述真空加工舱内用于对光学元件进行离子束加工的离子源，所述离子源的发射端设置有用于吸附溅射材料的挡板，所述挡板上开设有供离子束通过的通孔，所述挡板表面粗糙度达到纳米量级，所述光学元件设置于所述真空加工舱内的预定位置，所述离子源位于所述光学元件上方且发射端朝向所述光学元件本申请具简化了离子束加工设备且有利于保证产品质量。
一种口径光学元件离子束加工装置

[实用新型]一种ECR离子源装置-CN202121825840.3有效
发明人：周小影;汪锋;马玉田 -专利权人：安徽费曼尔科技有限公司
申请日： 2021-08-05 - 公布日： 2022-01-28 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：本实用新型的一种ECR离子源装置，包括圆形波导管和起弧腔，还包括微波馈入窗，微波馈入窗位于圆形波导管和起弧腔之间；圆形波导管通过微波馈入窗与起弧腔相连，另一端安装天线；所述起弧腔的内部设有磁体组，磁体组一端设有三栅极，起弧腔与真空法兰相连，真空法兰用于隔绝真空和固定三栅极的电极；所述起弧腔外部设有陶瓷腔，用于固定和绝缘电极；三栅极三个极片分别有三个电极穿过法兰伸到真空外用以接高压电用；圆形波导管外接微波源，微波通过同轴电缆传输到圆形波导管内，同轴电缆伸入天线进入到圆形波导管内。本实用新型具有体积小，结构紧凑等特点，能连续工作，能够在较低的气压下稳定提供离子并且与气体兼容性高，提供的离子清洁度高，能量大。
一种 ecr 离子源装置

[实用新型]一种安装牢固性高的离子管-CN202121919422.0有效
发明人：王友增;曹云山 -专利权人：康蓓净（杭州）智能科技有限公司
申请日： 2021-08-16 - 公布日： 2022-01-25 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种安装牢固性高的离子管，包括石英等离子管、安装块、缓冲机构和限位机构，所述缓冲机构和限位机构均设置在安装块内，所述缓冲机构包括调节螺栓、空心筒、弹簧和缓冲环，所述石英等离子管的外表面活动安装有安装块。本实用新型通过设置调节螺栓、空心筒、弹簧和缓冲环的相互配合使用，可以对石英等离子管进行限位，且在机箱受到外力碰撞时，可以有效的将撞击力卸去，对石英等离子管起到缓冲保护的作用，通过设置固定板、固定块、压簧和活动杆的相互配合使用，并在机箱的外壁上开设限位孔，可以快速对石英等离子管进行固定安装，且相较于螺丝固定，安装牢固性更加，操作更方便。
一种安装牢固离子

[发明专利]延长分子碳注入物离子源寿命的系统和方法-CN202080040144.3在审
发明人：大卫·斯波德莱;尼尔·巴森;尼尔·科尔文;迈克·艾明;徐晓 -专利权人：艾克塞利斯科技公司
申请日： 2020-06-02 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：离子源组件和方法具有源气体供应器以向离子源腔室提供分子碳源气体。源气体流量控制器控制分子碳源气体至离子源腔室的流量。激发源激发分子碳源气体以形成碳离子和自由基。提取电极从离子源腔室中提取碳离子，形成离子束。氧化共伴气体供应器向腔室提供氧化共伴气体。氧化共伴气体流量控制器控制氧化共伴气体至腔室的流量。氧化共伴气体分解并与含碳残留物和原子碳反应，从而在离子源腔室内形成一氧化碳和二氧化碳。真空泵系统去除一氧化碳和二氧化碳，其中减少了原子碳在离子源腔室内的沉积并且增加了离子源的寿命。
延长分子注入离子源寿命系统方法

[发明专利]铣削多层式物体-CN202080041890.4在审
发明人： Y·扎尔 -专利权人：应用材料以色列公司
申请日： 2020-05-14 - 公布日： 2022-01-11 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：一种铣削机、非瞬态计算机可读介质、以及用于铣削多层式对象的方法。所述方法可以包括：(i)接收或确定与铣削工艺有关的铣削参数，所述铣削参数可以包括下列项中的至少二者：(a)散焦强度，(b)铣削工艺的持续时间，(c)在铣削工艺中供应给物镜的偏置电压，(d)离子束能量，和(e)离子束电流密度；以及(ii)通过在保持铣削参数的同时应用铣削工艺来形成凹坑，其中应用铣削工艺包括将散焦的离子束引导到多层式对象上。
铣削多层物体

[实用新型]灯丝结构、离子源及热场发射电子源-CN202121277729.5有效
发明人：郝占海;蔡素枝;陆梁 -专利权人：大束科技（北京）有限责任公司
申请日： 2021-06-08 - 公布日： 2021-12-24 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种灯丝结构、离子源及热场发射电子源，涉及技术领域，解决了电子源及离子源中的灯丝结构，在加热后由于高温变形导致发射体偏离光阑，无法继续使用的技术问题；该灯丝结构包括灯丝本体，灯丝本体呈V型结构，V型结构的两顶端分别与两接线柱连接，V型结构的尖端与发射体连接，V型结构与任一接线柱的连接点至其尖端之间的距离，等于V型结构与接线柱两个连接点之间的距离；该灯丝结构与两接线柱的配合结构形成了等边三角形结构，该结构在温度变化的时候，所受应力最为分散，结构更为稳定，不容易受热变形，从而防止发射体由于变形灯丝本体变形导致无法对准光阑；延长电子源及离子源的使用寿命。
灯丝结构离子源发射电子

[发明专利]离子束修形离子源及其启动方法、真空腔室-CN202111083180.0在审
发明人：吴秋生;刘伟基;冀鸣;赵刚;易洪波 -专利权人：中山市博顿光电科技有限公司;佛山市博顿光电科技有限公司
申请日： 2021-09-15 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：本申请涉及一种离子束修形离子源及其启动方法、真空腔室，所述离子源包括：包括设于腔体两侧的阳极和磁场，以及设于腔体前端的栅网；还包括设于腔体后端的中空阴极，以及设置在中空阴极前的电子均匀板；其中，所述中空阴极从腔体后端套入腔体内；所述中空阴极用于向腔体内注入电子束流；所述电子均匀板将所述电子束流均匀分散进入到阳极区域内；所述电子束流中的电子在阳极的电场和磁场的作用下电离，并在所述栅网的电场作用下引出离子束流；采用中空阴极结构为阳极提供离子供体的中空阴极直流源结构，结构轻巧，性能稳定，实现了小束斑、大能量的离子束流输出，并可以控制离子束的能量和停留时间，在离子束修形中具有良好的使用效果。
离子束离子源及其启动方法空腔

[发明专利]一种射频离子源中和器的电极-CN202111047642.3在审
发明人：王伟;张勇军;卢成 -专利权人：四川锦成国泰真空设备有限公司
申请日： 2021-09-08 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种射频离子源中和器的电极，所述电极为非闭环的杯状体，在杯状体的环上设置有两个以上缺口，在所述杯状体的环上，缺口设置有2N‑1个，其中，N为不含0和1的自然数；其中一个缺口开口中线与环口的开口中线为同一中线；剩余缺口中以环的中心线为对称轴，相对的两个缺口的开口中线为同一中线，解决现有技术的不足之处，将该电极应用到射频离子源中和器中，能够使得更多的射频能量进入陶瓷杯内，增加离化效率，又不是很大的减少电子发射的效率。
一种射频离子源中和电极

[发明专利]用于动态带对比度成像的方法和系统-CN202110592325.3在审
发明人： T·维斯塔维尔;P·斯泰斯卡尔 -专利权人： FEI公司
申请日： 2021-05-28 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：动态带对比度图像（DBCI）利用使用带电粒子束在样品的多个扫描位置处获取的散射图案来构造。通过沿着衍射带对对应散射图案进行积分来产生所述DBCI的每个像素。所述DBCI包含带电粒子通道条件，且可用于检测样品缺陷。
用于动态对比度成像方法系统

[实用新型]一种聚焦离子束显微镜离子源-CN202121279639.X有效
发明人：朱进军 -专利权人：宿迁中怡科仪电子有限公司
申请日： 2021-06-08 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：本申请涉及一种聚焦离子束显微镜离子源，通过设置多个加热丝与所述离子源储层器通过钨焊接于一个焊接固定点，而钨的熔点为3410摄氏度±20摄氏度，这样可以使得焊接固定点在30摄氏度常温环境下由不会融化变为液态，从而不会导致焊接固定点在30摄氏度常温环境下开焊，从而防止离子源储层器从焊接固定点上脱落。
一种聚焦离子束显微镜离子源

[实用新型]一种增强型线性离子源-CN202120574510.5有效
发明人：王叔晖;沈平;孟庆学 -专利权人：法德（浙江）机械科技有限公司
申请日： 2021-03-22 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种增强型线性离子源，包括阴极外框和阳极，所述阳极的外侧设置有屏蔽罩，且所述阳极和屏蔽罩均位于阴极外框内部，所述阳极及屏蔽罩底端绝缘支柱穿过阴极外框，且所述绝缘支柱上套置有调节器件，所述调节器件位于阴极外框的下方，所述调节器件同时与绝缘支柱和阴极外框连接，所述调节器件包括齿轮组和多个连接杆，所述多个连接杆穿过齿轮组且其顶端卡扣安装在环形槽内，所述阴极外框的下方设置有外壳，所述调节器件位于外壳内部，本实用新型解决离子源无法根据需要调整自身状态，同时不利于清理镀膜碎片的问题。
一种增强线性离子源

[发明专利]液态金属离子源-CN202080021940.2在审
发明人：尼尔·巴瑟姆;尼尔·科尔文;哲-简·谢;迈克尔·阿米 -专利权人：艾克塞利斯科技公司
申请日： 2020-03-19 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：离子源配置成形成离子束并且具有电弧室，电弧室围封电弧室环境。储集器装置可以配置为推斥极并且向电弧室环境提供液态金属。偏置电源相对于电弧室对储集器装置进行电偏置，以使液态金属在电弧室环境中蒸发形成等离子体。储集器装置具有杯体和封盖，杯体和封盖限定用于液态金属的储集器环境，储集器环境通过封盖中的孔与电弧室环境流体联接。部件从杯体延伸到储集器中并接触液态金属，以通过毛细作用将液态金属朝向电弧室环境馈送。结构、表面积、粗糙度和材料改变毛细作用。该部件可以是延伸到液态金属中的环形圈、杆或管。
液态金属离子源