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[实用新型]蒸镀送丝管、送丝机构及蒸镀设备-CN202321156482.0有效
发明人：张如成;王伟;雷克武;张仁进;罗军;梅胜江 -专利权人：宁德时代新能源科技股份有限公司
申请日： 2023-05-15 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本申请提供了一种蒸镀送丝管、送丝机构及蒸镀设备。蒸镀送丝管包括进丝端、出丝端和沿进丝端至出丝端贯穿蒸镀送丝管的送丝通道。送丝通道包括主体段和连通于主体段的扩口段，扩口段设于送丝通道靠近出丝端的端部，沿远离主体段的方向，扩口段的径向尺寸逐渐增大。根据本申请能够有效提高蒸镀送丝管的使用寿命，降低成本。
蒸镀送丝管机构设备

[实用新型]蒸镀送丝导管、蒸镀送丝机构及真空镀膜机-CN202222842959.2有效
发明人：张如成;雷克武;王伟;张仁进;罗军;伍平生 -专利权人：宁德时代新能源科技股份有限公司
申请日： 2022-10-27 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本申请涉及一种蒸镀送丝导管、蒸镀送丝机构及真空镀膜机，蒸镀送丝导管包括管主体，具有贯穿其的第一送丝管道；以及管嘴，具有送出端、拆卸端以及沿拆卸端至送出端贯穿整个管嘴的第二送丝管道；其中，管嘴的拆卸端与管主体的一端可拆卸地连接，在管嘴与管主体连接时，第一送丝管道与第二送丝管道彼此连通。在这样的蒸镀送丝导管中，管嘴是整个蒸镀送丝导管最靠近蒸发舟的部分，因此，管嘴最易在蒸镀过程中受损，故设置管嘴的拆卸端与管主体的一端可拆卸地连接，能够在管嘴受损后，相对管主体拆卸下来并进行更换，而不用更换管主体，使得管主体的使用寿命提高，且管嘴的更换成本低。
蒸镀送丝导管机构真空镀膜

[实用新型]一种用于连续真空蒸镀的自动送料装置-CN201420788004.6有效
发明人：施戈;彭建;陈良贤 -专利权人：北京泰科诺科技有限公司
申请日： 2014-12-11 - 公布日： 2015-04-08 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于连续真空蒸镀的自动送料装置，属于真空镀膜和表面加工领域，可应用于各种真空蒸镀设备的腔室内；一种用于连续真空蒸镀的自动送料装置，所述自动送料装置包括真空腔室，还包括固定在真空腔室外部的动力单元及固定在真空腔室内部的自动送丝组件，所述动力单元与自动送丝组件通过磁流体密封轴连接；其中自动送丝组件包括主动轮、从动轮、丝锟、送丝导向器及蒸镀单元；本实用新型的有益效果：通过调速电机提供动力，可持续进行送丝，实现连续镀膜。
一种用于连续真空自动装置

[发明专利]一种用于连续真空蒸镀的自动送料装置-CN201410768343.2有效
发明人：施戈;彭建;陈良贤 -专利权人：北京泰科诺科技有限公司
申请日： 2014-12-11 - 公布日： 2017-07-04 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于连续真空蒸镀的自动送料装置，属于真空镀膜和表面加工领域，可应用于各种真空蒸镀设备的腔室内。所述自动送料装置包括真空腔室，还包括固定在真空腔室外部的动力单元及固定在真空腔室内部的自动送丝组件，所述动力单元与自动送丝组件通过磁流体密封轴连接；其中自动送丝组件包括主动轮、从动轮、丝锟、送丝导向器及蒸镀单元本发明的有益效果通过调速电机提供动力，可持续进行送丝，实现连续镀膜。节省了很多时间、人力和物力。并通过感控装置，可实现自动控制连续镀膜的稳定性及连续性。
一种用于连续真空自动装置

[发明专利]一种镀膜工艺-CN202010912700.3在审
发明人：贾孟 -专利权人：昆山鑫美源电子科技有限公司
申请日： 2020-09-05 - 公布日： 2020-12-08 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及镀膜技术领域，具体涉及一种镀膜工艺，其包括如下步骤：步骤一、对原膜进行预处理；步骤二、打底蒸镀，将经步骤一处理后的膜材安装至真空蒸镀设备中，向真空蒸镀设备内的蒸发舟送金属丝，对膜材进行至少一次真空蒸镀；步骤三、蒸镀，提高向蒸发舟送金属丝的速度，对经步骤二处理后的膜材再次进行真空蒸镀；步骤四、收卷。本发明的镀膜工艺可以避免在真空蒸镀过程中由于温度过高导致塑料薄膜膜面受损，有利于提高镀膜合格率。
一种镀膜工艺

[实用新型]一种蒸镀源-CN201320367636.0有效
发明人：唐元刚 -专利权人：四川虹视显示技术有限公司
申请日： 2013-06-25 - 公布日： 2013-11-13 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种蒸镀源，包括蒸镀舟和缠绕在蒸镀舟外部的加热电阻丝，该蒸镀源还包括冷却管、活动底板和升降机构，所述冷却管缠绕在蒸镀舟的外部且不与加热电阻丝重合，所述活动底板连接升降机构并在升降机构的作用下沿蒸镀舟内壁上下运动与现有技术相比，本实用新型所述蒸镀源通过活动底板位置的变化改变蒸镀材料的位置实现蒸镀材料的快速降温：蒸镀时，蒸镀材料位于电阻丝加热区受热蒸发进行蒸镀；蒸镀停止时，蒸镀材料能够迅速离开电阻丝加热区，并进入所设置的冷却管冷却区，通过冷却循环液使材料迅速降温，避免被蒸镀材料变质和浪费。
一种蒸镀源

[实用新型]一种坩埚送丝蒸发卷对卷镀膜设备-CN202320156969.2有效
发明人：朱刚毅;杨容军 -专利权人：广东腾胜科技创新有限公司
申请日： 2023-01-19 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型公开一种坩埚送丝蒸发卷对卷镀膜设备，包括真空镀膜室、真空抽气装置、双面蒸发镀膜辊轮组、第一自动送丝蒸镀组件和第二自动送丝蒸镀组件，双面蒸发镀膜辊轮组包括放膜辊、第一水冷镀膜辊、收卷辊、第二水冷镀膜辊、第一张紧辊轮组和第二张紧辊轮组；通过从放膜辊拉出待镀膜，待镀膜经由第一张紧辊轮组进行张紧，再绕过第一水冷镀膜辊下方，由第一自动送丝蒸镀组件对第一水冷镀膜辊下方待镀膜进行一面的蒸发镀膜，再由第二张紧辊轮组改变待镀膜的转动方向，使得待镀膜绕过第二水冷镀膜辊下方，由第二自动送丝蒸镀组件对第二水冷镀膜辊下方待镀膜进行另一面的蒸发镀膜，最后由收卷辊将其回收。
一种坩埚蒸发镀膜设备

[发明专利]一种超薄耐高压金属化薄膜蒸镀设备-CN201510611472.5有效
发明人：宋仁祥 -专利权人：安徽省宁国市海伟电子有限公司
申请日： 2015-09-24 - 公布日： 2017-07-14 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种超薄耐高压金属化薄膜蒸镀设备，包括用于加热蒸发金属的蒸发机构，所述蒸发机构包括若干个蒸发舟；和用于向所述蒸发机构内输送蒸镀原料金属丝的送丝机构，所述送丝机构包括一个主驱动轴和若干个由所述主驱动轴驱动的传动组件，每个所述传动组件均包括送丝轮；以及用于控制所述送丝机构的送丝速率的控制机构，每个所述控制机构均包括用于检测所述蒸发舟蒸发速率的信号采集器、用于处理所述信号采集器采集的检测信号并输出控制信号的信号处理器、以及用于接收所述信号处理器输出的控制信号并通过调节所述传动组件的传动比从而调节所述送丝轮送丝塑料的信号执行器。本发明能够提高金属化薄膜金属镀层的蒸镀厚度均匀性。
一种超薄高压金属化薄膜设备

[实用新型]自动送料机构-CN201620006168.8有效
发明人：张世锦 -专利权人：东锐有限公司
申请日： 2016-01-04 - 公布日： 2016-06-29 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：一种自动送料机构，其包括一伸缩机构、一储料容器、一固定座、一驱动机构、一导料槽或另外设置一绝漏机构，可在真空系统下运作，通过驱动机构来控制储料容器内蒸镀源的原料的送料，因此本实用新型在整体蒸镀源的原料送料的过程中，可产生均匀送料的技术效果，且送料的方式变得简化而迅速，可即时于任何时间控制送料的流量，且在送料的过程中不会延误工艺的时间，具有即时性，能使得后续蒸镀的时间效率提升，因此蒸镀源的原料以自动化送料且利用简便的方式，以有效改善其蒸镀的时程管控及提升蒸镀工艺的品质。
自动机构

[实用新型]金属化薄膜加工生产线系统-CN201821720424.5有效
发明人：宋仁祥 -专利权人：安徽省宁国市海伟电子有限公司
申请日： 2018-10-22 - 公布日： 2019-07-12 - 主分类号： C23C14/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了金属化薄膜加工生产线系统，包括预整装置和蒸镀装置，所述预整装置包括牵伸装置和除尘装置，牵伸装置包括工作台、滚轮、主轴、辅轴、压力缓冲装置、传动履带、传动齿轮、第一驱动电机、主动齿轮、衬板、压紧辊和固定板，蒸镀装置包括卷绕室和蒸镀室，所述蒸镀室包括送丝辊、导丝轮组、打磨架、导向轮组和蒸镀坩埚。本实用新型能改善薄膜蜷缩变形状况，提高表面的平整度及洁净度，同时除去铝丝表面的氧化层，保证蒸镀过程中铝蒸汽的浓度，提高薄膜表面的蒸镀层均匀性及结合力。
本实用新型加工生产线金属化薄膜牵伸装置蒸镀装置蒸镀室蒸镀压力缓冲装置薄膜表面变形状况除尘装置传动齿轮传动履带导向轮组驱动电机主动齿轮打磨架导丝轮固定板洁净度结合力卷绕室均匀性铝蒸汽平整度送丝辊压紧辊氧化层蒸镀层工作台衬板辅轴滚轮铝丝坩埚薄膜保证

[实用新型]一种金属化电容薄膜加工用蒸镀装置-CN201821720451.2有效
发明人：宋仁祥 -专利权人：安徽省宁国市海伟电子有限公司
申请日： 2018-10-22 - 公布日： 2019-07-16 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种金属化电容薄膜加工用蒸镀装置，包括卷绕室和蒸镀室，蒸镀室包括送丝辊、导丝轮组、打磨架、导向轮组和蒸镀坩埚，导丝轮组包括两个上下相对设置的导丝轮，打磨架内固定安装有过丝通道，过丝通道沿长度方向设有一组横向打磨室和一组纵向打磨室本实用新型的有益效果为：本实用新型的蒸镀装置结构简单实用，通过预破碎和后期打磨除去铝丝表面的氧化层薄膜，缩短了熔融时间，提高了蒸镀效率。
本实用新型蒸镀装置导丝轮电机打磨金属化电容薄膜转子导向轮组过丝通道打磨架打磨轮打磨室蒸镀室蒸镀室内氧化层薄膜上导向轮上下相对下导向轮卷绕室内固定送丝辊预破碎铝丝熔融坩埚加工

[实用新型]一种低功率损耗电容器用金属化膜的铝蒸镀装置-CN201821142634.0有效
发明人：邹卫东;姚成椿 -专利权人：广东迈特斐薄膜科技有限公司
申请日： 2018-07-18 - 公布日： 2019-01-04 - 主分类号： H01G4/005 文献下载
摘要：本实用新型公开一种低功率损耗电容器用金属化膜的铝蒸镀装置，包括蒸镀池，所述蒸镀池内并排设置若干个铝舟，所述铝舟的端部均设置在电极座上，所述铝舟的端部上均设置铝舟夹板，通过铝舟夹板与电极座连接将所述铝舟固定在电极座上；所述蒸镀池的一侧设置送丝组件，所述送丝组件的铝线管穿过侧壁并朝向铝舟伸出，所述铝线管有若干根，每根铝线管只对应一个铝舟。
电极座铝线夹板蒸镀本实用新型低功率损耗电容器用金属化膜铝蒸送丝并排设置拆卸方便电极更换侧壁穿过伸出灵活

[实用新型]一种持续均匀进料的真空蒸镀源-CN201720311112.8有效
发明人：谭标辉 -专利权人：苏州博亚科技有限公司
申请日： 2017-03-28 - 公布日： 2017-11-28 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及了一种持续均匀进料的真空蒸镀源。一种持续均匀进料的真空蒸镀源，它包括蒸镀源本体；蒸镀源本体左侧固定加压气泵，右侧固定进料仓，底部设有源料加热圆板；源料加热圆板上分布有多个盛料碗，下设有环形加热管；源料加热圆板上设有铺料杆；蒸镀源本体的顶部设喷嘴；进料仓下连接有进料装置；进料装置包括管腔；管腔的左端插至蒸镀源本体的内部、中间设有从加料仓进料的进料口；管腔中设有送料杆；送料杆的左端设为螺杆旋转送料部、右端设为直杆推料部。本实用新型的一种持续均匀进料的真空蒸镀源，可持续均匀的进料，保证了气密性，防止空气进入管腔，最大限度利用加热管产生的热能，减少了能耗损失，降低成本。
一种持续均匀进料真空蒸镀源

[实用新型]蒸镀设备-CN201821722248.9有效
发明人：李嘉宸 -专利权人：陕西坤同半导体科技有限公司
申请日： 2018-10-23 - 公布日： 2019-06-28 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种蒸镀设备，可在真空环境自动填充有机材料，并对玻璃基板进行蒸镀，其中蒸镀设备包括：蒸镀腔体；蒸镀装置，设置于蒸镀腔体内，蒸镀装置用于蒸镀有机材料；填料腔体，与蒸镀腔体衔接，填料腔体用于存放有机材料；真空阀门，设置于蒸镀腔体与填料腔体之间，真空阀门用于蒸镀腔体与填料腔体的连通或隔离；送料装置，设置于填料腔体内，送料装置用于在真空阀门打开时将填料腔体内的有机材料输送至蒸镀装置内；以及传感器，设置于蒸镀腔体内，传感器用于控制真空阀门的开启和关闭及送料装置送料。本实用新型可完全做到真空状态下进行填料，使蒸镀设备持续保持在真空状态进行连续蒸镀，提高生产效率。
填料腔有机材料真空阀门蒸镀腔体蒸镀设备送料装置蒸镀装置体内蒸镀本实用新型真空状态蒸镀腔传感器玻璃基板生产效率真空环境自动填充送料连通隔离衔接

[实用新型]一种连续加料式蒸镀装置及真空镀膜机-CN202223424974.1有效
发明人：姚博;王良乐;请求不公布姓名;邵君;于振瑞 -专利权人：无锡极电光能科技有限公司
申请日： 2022-12-20 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及镀膜设备技术领域，具体涉及一种连续加料式蒸镀装置及真空镀膜机。所述连续加料式蒸镀装置包括：蒸镀源；送料仓，与蒸镀源相连通，适于暂存基材并向蒸镀源输送基材；送料驱动单元，设置于送料仓上，适于驱动送料仓内的基材移动至蒸镀源内；储料室，与送料仓相连通，适于存储基材。本实用新型提供的连续加料式蒸镀装置，通过在蒸镀源上连接送料仓，并进一步在送料仓连接适于存储基材的储料室，通过送料驱动单元驱动，将由储料室进入送料仓内的基材移动至蒸镀源内，从而对蒸镀源的进行自动且连续加料，克服了蒸发源容量受限制的缺陷，无需频繁人工添加基材，使蒸镀工序得以连续进行，且加料操作大大简化，提高镀膜效率。
一种连续加料式蒸镀装置真空镀膜

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