专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种蒸发源组件及蒸镀设备-CN202222547278.3有效
  • 刘华猛;李彦松;白珊珊;王蓓;王宇钊 - 京东方科技集团股份有限公司
  • 2022-09-26 - 2023-09-26 - C23C14/24
  • 本公开提供了一种蒸发源组件及蒸镀设备,至少包括一组蒸发源,蒸发源至少包括一个蒸发角度可调的可调点源,用以补齐基片上的膜厚;蒸发源还包括安装在可调点源两侧的固定源,固定源包括:点源或者线源;蒸发源安装在组合框架上,组合框架上沿所述蒸发源长度方向的两侧设有角度板。在相邻两固定源之间设置角度可调的可调点源,可调电源具有全方位可调角度,可以根据实际生产调节可调点源的蒸发方向,进而可以解决相邻两固定源之间在基片上形成的膜厚不均匀的问题,可以保证大世代线基片膜厚均匀性、掺杂均匀性以及片间膜厚一致性。
  • 一种蒸发组件设备
  • [发明专利]蒸镀掩膜板-CN202310761040.7在审
  • 白珊珊 - 京东方科技集团股份有限公司
  • 2023-06-26 - 2023-09-19 - C23C14/04
  • 本发明提供一种蒸镀掩膜板,包括掩膜层和固定框架,掩膜层包括多个蒸镀开孔区、四周边缘区和呈网状分布的间隔区,多个蒸镀开孔区排布呈阵列,四周边缘区围设于蒸镀开孔区阵列的外围,间隔区位于任意相邻两个蒸镀开孔区之间,蒸镀开孔区与待镀基板的显示区相对应,还包括中间结构层,固定框架、中间结构层和掩膜层依次叠置,中间结构层和固定框架在掩膜层上的正投影与蒸镀开孔区不交叠;中间结构层能对掩膜层进行支撑和固定。该蒸镀掩膜板能解决目前电铸掩膜板容易出现变形和褶皱不良的问题。
  • 蒸镀掩膜板
  • [发明专利]一种蒸镀设备-CN202310572730.8在审
  • 王宇钊;李彦松;白珊珊;刘华猛;刘佳宁 - 京东方科技集团股份有限公司
  • 2023-05-19 - 2023-09-01 - C23C14/24
  • 本发明涉及蒸发镀膜的技术领域,尤其涉及一种蒸镀设备,包括:容纳部,用于容纳蒸镀材料;连接部,设置于容纳部的一侧表面;喷嘴,沿连接部的长度方向移动地设置于连接部,且喷嘴通过连接部连通于容纳部。容纳部内形成有容纳腔,以放置容纳蒸镀材料,蒸镀材料在容纳腔内受热气化蒸发,喷嘴通过连接部联通于容纳腔,容纳腔内蒸发的蒸镀材料可通过喷嘴喷出至待蒸镀基板上,以在基板上形成蒸镀膜层。且喷嘴可沿连接部的长度方向移动,通过移动喷嘴,以扩大喷嘴的喷涂覆盖范围。如此设置,无需如现有技术中设计多种喷嘴位置的蒸镀源盖体,节省设计及生产成本。并在调整喷嘴的位置时无需更换蒸镀源的盖体,提高调整效率,降低调节难度。
  • 一种设备
  • [发明专利]电铸掩模组件及其制备方法-CN202210167539.0在审
  • 刘华猛;白珊珊 - 京东方科技集团股份有限公司
  • 2022-02-23 - 2023-09-01 - C25D1/10
  • 本申请实施例提供了一种电铸掩模组件及其制备方法。该电铸掩模组件,包括:电铸掩模板,包括相互连接的边框部和隔断部,隔断部将边框部围合的空间区域分隔成至少两个掩模孔;支撑体,与边框部相匹配,支撑体的一侧与边框部的一侧连接;框架,与支撑体远离电铸掩模板的一侧连接。本申请实施例实现了电铸掩模组件中的支撑体与电铸掩模板的边框部相匹配,无需制作与电铸掩模板的隔断部相对应的结构,可以降低电铸掩模组件的整体成本和重量;支撑体与电铸掩模板的边框部连接,可以解放电铸掩模板的隔断部所在的主要图案区域在受热膨胀和冷却回缩的过程所受到的形变限制,有利于保证电铸掩模板的工作额定形态,提高电铸掩模组件在应用时的工艺精度。
  • 电铸模组及其制备方法
  • [发明专利]一种蒸镀设备和坩埚-CN202310566229.0在审
  • 刘佳宁;白珊珊;李彦松;刘华猛;王宇钊;郑伟业;吴海东 - 京东方科技集团股份有限公司
  • 2023-05-18 - 2023-08-15 - C23C14/24
  • 本申请公开了一种蒸镀设备和坩埚,蒸镀设备包括:腔室底座;加热源,加热源设置在腔室底座上;至少一个坩埚存放位,坩埚存放位与热源呈中心对称地设置在腔室底座上;以及,坩埚更换装置,坩埚更换装置包括设置在腔室底座上的升降旋转组件和设置在升降旋转组件上的坩埚移位支架;其中,升降旋转组件位于加热源与坩埚存放位的对称中心处;坩埚移位支架包括与坩埚存放位和加热源的数量之和相对应的支臂,支臂呈中心对称地设置在升降旋转组件上,每个支臂设有与加热源或坩埚存放位位置相对应的移位固定部。通过坩埚更换装置使坩埚存放位的坩埚可以依次被移动至加热源中用于蒸镀,在更换蒸镀材料时可以避免需要开腔操作。
  • 一种设备坩埚
  • [发明专利]蒸发源装置及蒸镀设备-CN202310679024.3在审
  • 王蓓;刘华猛;张智辉;白珊珊;李彦松;刘佳宁;王宇钊 - 京东方科技集团股份有限公司
  • 2023-06-08 - 2023-08-04 - C23C14/24
  • 本公开是关于一种蒸发源装置,该蒸发源装置包括第一遮挡结构,第一遮挡结构沿第一方向设于相邻两个蒸发源之间,第一遮挡结构包括第一挡板,第一挡板可以限制相邻两个蒸发源的蒸发范围。第一挡板沿第二方向延伸的至少一侧设有第一图案化遮挡部,第一图案化遮挡部至少部分位于其中一个蒸发源的多个喷嘴的喷出区域上,第一图案化遮挡部可以进一步限制相邻两个蒸发源的蒸发分布,使得从两个蒸发源喷出的不同种发光材料的掺杂更加均匀,从而提升发光器件的发光效率及使用寿命。本公开还提供了一种包括该蒸发源装置的蒸镀设备。
  • 蒸发装置设备
  • [发明专利]一种精细金属掩膜板的设计方法及装置-CN201910635256.2有效
  • 刘月;白珊珊 - 京东方科技集团股份有限公司
  • 2019-07-15 - 2023-07-21 - G06F30/20
  • 本发明公开了一种精细金属掩膜板的设计方法及装置,该设计方法通过建立精细金属掩膜板的三维仿真模型,根据仿真条件和材料属性参数对三维仿真模型进行仿真运算,从而能够根据该仿真结果对设计参数进行调整,可以帮助设计人员设计制作精细金属掩膜板FMM,并且由于仿真结果的准确度高,设计人员还能及时发现存在设计缺陷的FMM,提高制作出的FMM的良品率,以解决设计人员依靠经验设计制作出的FMM和预想结果之间误差大、良品率低的技术问题,达到提高FMM生产制作的良品率、降低成本的技术效果。
  • 一种精细金属掩膜板设计方法装置

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