[发明专利]半导体器件、其制造方法以及组合型半导体器件无效
| 申请号： | 97110202.3 | 申请日： | 1997-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN1151554C | 公开（公告）日： | 2004-05-26 |
| 发明（设计）人： | 大内伸仁;白石靖;河野博;山田悦夫 | 申请（专利权）人： | 冲电气工业株式会社 |
| 主分类号： | H01L23/48 | 分类号： | H01L23/48;H01L23/28;H01L21/60;H01L21/50 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 吴增勇;傅康 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 半导体器件 制造 方法 以及 组合 | ||
【权利要求书】：
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