[实用新型]在硬质材料上刻制图形的装置无效
| 申请号: | 92222126.X | 申请日: | 1992-05-22 |
| 公开(公告)号: | CN2124798U | 公开(公告)日: | 1992-12-16 |
| 发明(设计)人: | 袁树森 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所职工技术协会 |
| 主分类号: | B24C1/00 | 分类号: | B24C1/00 |
| 代理公司: | 三友专利事务所 | 代理人: | 周樱 |
| 地址: | 1000*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 硬质 材料 刻制 图形 装置 | ||
1、一种在硬质材料上刻制图形的装置,在操作箱中设托板10,其上放置带有已摄影、曝光、显影掩膜板的硬质材料,利用高压喷射枪8对该经过感光处理的硬质材料进行机加工雕刻,其特征是:可移动喷射枪8设风、砂双向进口端1、2,枪身18、与喷咀16;枪身18与喷咀16通过固定套15螺纹连接,喷咀中段设螺旋套管14,枪身18与喷咀16之间设橡胶套17与枪身和喷咀紧配合,喷咀中段管壁与螺旋套管14紧配合。
2、按权利要求1所述的在硬质材料上刻制图形的装置,其特征是:螺旋套管14长度为喷咀长度的1/3,螺旋线倾斜角与中轴线呈30°±5°。
3、按权利要求1所述的硬质材料上刻制图形的装置,其特征是:操作箱中的进砂口2,柔性输砂管道3,集砂口4呈循环通路。
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