[发明专利]一种自动化黏贴碳化硅籽晶的方法和装置

说明书

本发明公开了一种自动化黏贴碳化硅籽晶的方法和装置，涉及碳化硅生产设备领域。该自动化黏贴碳化硅籽晶的装置具有贴纸模式与贴籽晶模式，在贴纸模式下，该装置能够完成对石墨纸在石墨盖上的自动黏贴，形成组合盖体；在贴籽晶模式下，该装置能够完成对碳化硅籽晶在组合盖体的石墨纸上的自动黏贴。本发明提供的自动化黏贴碳化硅籽晶的装置能够自动化完成石墨纸与石墨盖、碳化硅籽晶与石墨纸的黏贴，黏贴效率更高、黏贴质量更佳。

技术领域

本发明涉及碳化硅生产设备领域，具体而言，涉及一种自动化黏贴碳化硅籽晶的方法和装置。

背景技术

基于物理气相传输法生长碳化硅晶体通常使用石墨坩埚，将碳化硅粉料置于生长室下部，将籽晶固定在生长室顶部的石墨盖。通过控制生长室的温度和压力条件，使碳化硅粉料升华并上升至籽晶上进行结晶生长，最终获得碳化硅单晶。

目前，市面上对于籽晶在石墨盖上的固定，由操作人员手动完成。首先将石墨纸黏贴在石墨盖上，之后再将籽晶黏贴在石墨纸上。手动操作效率极低，并且黏贴质量差，难以满足高效率、高品质的晶体生产需求。

发明内容

本发明的目的在于提供一种自动化黏贴碳化硅籽晶的装置，其能够自动化完成石墨纸与石墨盖、碳化硅籽晶与石墨纸的黏贴，黏贴效率更高、黏贴质量更佳。

本发明的另一目的在于提供一种自动化黏贴碳化硅籽晶的方法，其能够自动化完成石墨纸与石墨盖、碳化硅籽晶与石墨纸的黏贴，黏贴效率更高、黏贴质量更佳。

本发明提供一种技术方案：

一种自动化黏贴碳化硅籽晶的装置，包括操作平台及布置在所述操作平台上的第一模块、第二模块、第三模块、第四模块及第五模块，所述第三模块包括主驱动机构及与其连接的滴胶组件与移载辊压组件，所述装置具有贴纸模式与贴籽晶模式；

在所述贴纸模式下，所述第一模块用于存放石墨纸，所述第二模块用于固定石墨盖，所述滴胶组件用于在所述主驱动机构的驱动下运动至所述第四模块，并对所述第四模块进行滴胶处理；所述第四模块用于在完成滴胶处理后，对第二模块固定的石墨盖进行刮胶处理；所述移载辊压组件用于在所述主驱动机构的驱动下将所述第一模块存放的石墨纸黏贴在石墨盖完成刮胶处理的表面，以形成组合盖体；所述第四模块还用于对黏贴完成后的石墨纸与石墨盖进行同心度检测；

在所述贴籽晶模式下，所述第一模块用于存放碳化硅籽晶，所述第二模块用于固定所述组合盖体，所述移载辊压组件用于在所述主驱动机构的驱动下将所述第一模块存放的碳化硅籽晶移载至所述第五模块；所述滴胶组件用于在所述第五模块处对碳化硅籽晶进行滴胶处理；所述第五模块用于在所述滴胶组件对碳化硅籽晶进行滴胶处理的过程中，对碳化硅籽晶进行匀胶处理；所述移载辊压组件还用于在所述主驱动机构的驱动下将碳化硅籽晶完成匀胶处理的表面黏贴在所述组合盖体的石墨纸上；所述第四模块还用于对黏贴完成后的碳化硅籽晶与石墨纸进行同心度检测。

进一步地，所述第二模块包括：

固定夹具，所述固定夹具用于夹持固定石墨盖或所述组合盖体；

旋转平台，所述旋转平台与所述固定夹具连接，用于在所述第四模块对石墨盖进行刮胶处理、对石墨纸与石墨盖进行同心度检测以及对碳化硅籽晶与石墨纸进行同心度检测的过程中，驱动所述固定夹具旋转；

位移组件，所述位移组件与所述旋转平台连接，用于带动所述旋转平台在不同工位间位移。

进一步地，所述位移组件能够带动旋转平台在上下料工位、黏贴工位与刮胶检测工位间运动，所述刮胶检测工位处于所述第四模块的竖直下方，所述上下料工位与所述黏贴工位均与所述第四模块在竖直方向上错位；