[发明专利]一种自动化黏贴碳化硅籽晶的方法和装置

权利要求书

1.一种自动化黏贴碳化硅籽晶的装置，其特征在于，包括操作平台（110）及布置在所述操作平台（110）上的第一模块（120）、第二模块（130）、第三模块（140）、第四模块（150）及第五模块（160），所述第三模块（140）包括主驱动机构（141）及与其连接的滴胶组件（142）与移载辊压组件（143），所述装置具有贴纸模式与贴籽晶模式；

在所述贴纸模式下，所述第一模块（120）用于存放石墨纸，所述第二模块（130）用于固定石墨盖，所述滴胶组件（142）用于在所述主驱动机构（141）的驱动下运动至所述第四模块（150），并对所述第四模块（150）进行滴胶处理；所述第四模块（150）用于在完成滴胶处理后，对第二模块（130）固定的石墨盖进行刮胶处理；所述移载辊压组件（143）用于在所述主驱动机构（141）的驱动下将所述第一模块（120）存放的石墨纸黏贴在石墨盖完成刮胶处理的表面，以形成组合盖体；所述第四模块（150）还用于对黏贴完成后的石墨纸与石墨盖进行同心度检测；

在所述贴籽晶模式下，所述第一模块（120）用于存放碳化硅籽晶，所述第二模块（130）用于固定所述组合盖体，所述移载辊压组件（143）用于在所述主驱动机构（141）的驱动下将所述第一模块（120）存放的碳化硅籽晶移载至所述第五模块（160）；所述滴胶组件（142）用于在所述第五模块（160）处对碳化硅籽晶进行滴胶处理；所述第五模块（160）用于在所述滴胶组件（142）对碳化硅籽晶进行滴胶处理的过程中，对碳化硅籽晶进行匀胶处理；所述移载辊压组件（143）还用于在所述主驱动机构（141）的驱动下将碳化硅籽晶完成匀胶处理的表面黏贴在所述组合盖体的石墨纸上；所述第四模块（150）还用于对黏贴完成后的碳化硅籽晶与石墨纸进行同心度检测。

2.根据权利要求1所述的自动化黏贴碳化硅籽晶的装置，其特征在于，所述第二模块（130）包括：

固定夹具（131），所述固定夹具（131）用于夹持固定石墨盖或所述组合盖体；

旋转平台（132），所述旋转平台（132）与所述固定夹具（131）连接，用于在所述第四模块（150）对石墨盖进行刮胶处理、对石墨纸与石墨盖进行同心度检测以及对碳化硅籽晶与石墨纸进行同心度检测的过程中，驱动所述固定夹具（131）旋转；

位移组件（133），所述位移组件（133）与所述旋转平台（132）连接，用于带动所述旋转平台（132）在不同工位间位移。

3.根据权利要求2所述的自动化黏贴碳化硅籽晶的装置，其特征在于，所述位移组件（133）能够带动旋转平台（132）在上下料工位、黏贴工位与刮胶检测工位间运动，所述刮胶检测工位处于所述第四模块（150）的竖直下方，所述上下料工位与所述黏贴工位均与所述第四模块（150）在竖直方向上错位；

在所述移载辊压组件（143）将石墨纸黏贴在石墨盖上时，以及在所述移载辊压组件（143）将碳化硅籽晶黏贴在所述组合盖体的石墨纸上时，所述旋转平台（132）处于所述黏贴工位；在所述第四模块（150）对石墨盖进行刮胶处理时，以及进行同心度检测时，所述旋转平台（132）在所述黏贴工位驱动石墨盖旋转。

4.根据权利要求1所述的自动化黏贴碳化硅籽晶的装置，其特征在于，所述主驱动机构（141）包括第一水平驱动组件（1411）、第二水平驱动组件（1412）、第一升降件（1413）及第二升降件（1414）；

所述第一水平驱动组件（1411）设置于所述操作平台（110）上并与所述第二水平驱动组件（1412）连接，用于驱动所述第二水平驱动组件（1412）在第一水平方向上运动；

所述第二水平驱动组件（1412）与所述第一升降件（1413）及所述第二升降件（1414）分别连接，用于驱动所述第一升降件（1413）及所述第二升降件（1414）在第二水平方向上运动；

所述第一升降件（1413）与所述移载辊压组件（143）连接，所述第二升降件（1414）与所述滴胶组件（142）连接。