[发明专利]芯片键合用压指及其基座在审
申请号: | 202310659401.7 | 申请日: | 2023-06-05 |
公开(公告)号: | CN116525516A | 公开(公告)日: | 2023-08-01 |
发明(设计)人: | 吕娟娟;顾梦甜;安倩芳 | 申请(专利权)人: | 安徽积芯微电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L21/677;H01L21/60 |
代理公司: | 南京聚匠知识产权代理有限公司 32339 | 代理人: | 吴燕 |
地址: | 233000 安徽省蚌埠市中国(安徽)自*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 芯片 合用 及其 基座 | ||
本发明公开了芯片键合用压指及其基座,涉及芯片键合技术领域,而本发明包括基座,基座的上表面可拆卸安装有码料机构,基座的上表面滑动安装有安装机构;包括放置机构,放置机构的上表面滑动安装有限位机构,放置机构固定安装在基座的侧面,本发明通过限位轮对芯片进行定位,使芯片位于操作台的中心位置,且通过滚轮对芯片进行限位,避免芯片在键合发生移动,方便日常使用,还通过双向螺杆对滚轮和限位轮的位置进行调节,且通过转杆带动滚轮和限位轮移动,方便对不同尺寸的芯片进行限位,本发明通过运输带带动推块移动,从而带动芯片移动,使芯片移动到储存架内部,且通过第二气缸带动芯片移动,实现对芯片的自动码料。
技术领域
本发明涉及芯片键合技术领域,具体为芯片键合用压指及其基座。
背景技术
芯片键合是将半导体芯片附着到引线框架或印刷电路板上,来实现芯片与外部之间的电连接,键合工艺可分为传统方法和先进方法两种类型,传统方法采用芯片键合和引线键合,而先进方法则采用IBM于60年代后期开发的倒装芯片键合技术,倒装芯片键合技术将芯片键合与引线键合相结合,并通过在芯片焊盘上形成凸块的方式将芯片和基板连接起来。
在对芯片进行键合时,一般都是通过压指对芯片进行限位,但是目前大多数配合压指使用的基座未设置相对应的储存装置,需要人工对键合后的芯片拿取进行码料储存,不方便日常使用,且目前大多数的压指只能够对芯片进行限位,不能对芯片进定位,使芯片处于操作台的中心位置,从而容易导致在键合时出现偏差,不方便日常使用,针对上述问题,发明人提出芯片键合用压指及其基座用于解决上述问题。
发明内容
为了解决需要人工进行码料和不能对芯片进行定位的问题;本发明的目的在于提供芯片键合用压指及其基座。
为解决上述技术问题,本发明采用如下技术方案:芯片键合用基座,包括基座,基座的上表面可拆卸安装有码料机构,基座的上表面滑动安装有安装机构。
码料机构包括储存架,储存架固定安装在基座上,储存架内转动安装有阵列分布的放置盘,放置盘相互远离的侧面该固定安装有转轴,转轴的外表面上固定安装有第一弹簧,第一弹簧靠近放置盘的一端固定连接在储存架内部,放置盘的外表面固定安装有两个放置条,位于下方的放置条和芯片的上下两侧活动接触,储存架内固定安装有阵列分布的固定条,固定条和位于下方的放置条的下表面活动接触,储存架内固定安装有限位板。
优选地,安装机构包括安装板,安装板滑动设置在基座上,安装板的上表面滑动安装有移动条,移动条的下表面固定安装有第一滑块,第一滑块滑动设置在安装板内部,安装板远离储存架的侧面转动安装有第一螺丝杆,第一螺丝杆上螺纹连接有第一滑块,且移动条相互靠近的一端活动卡设在储存架内部。
优选地,安装板的下表面固定安装有固定架,固定架的上表面固定安装有第二气缸,第二气缸的顶端固定安装有推板,推板的上表面和芯片活动接触。
优选地,基座包括底板,底板远离放置机构的侧面固定安装有固定板,固定板的上表面固定安装有两个第一气缸,安装板的下表面固定安装有限位块,限位块滑动设置在底板内部,第一气缸靠近放置机构的一端固定连接在限位块上,底板内转动安装有第一皮带轮。
一种芯片键合用压指,用于配合上述的基座,包括放置机构,所述放置机构的上表面滑动安装有限位机构,所述放置机构固定安装在基座的侧面。
优选地,限位机构包括移动架,移动架滑动设置在放置机构上,移动架的下表面滑动安装有两个安装块,安装块的上表面固定安装有第二滑块,第二滑块滑动设置在移动架内部,移动架的侧面转动安装有双向螺杆,双向螺杆上螺纹连接有两个第二滑块。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造