[发明专利]芯片键合用压指及其基座在审

专利信息
申请号: 202310659401.7 申请日: 2023-06-05
公开(公告)号: CN116525516A 公开(公告)日: 2023-08-01
发明(设计)人: 吕娟娟;顾梦甜;安倩芳 申请(专利权)人: 安徽积芯微电子科技有限公司
主分类号: H01L21/68 分类号: H01L21/68;H01L21/677;H01L21/60
代理公司: 南京聚匠知识产权代理有限公司 32339 代理人: 吴燕
地址: 233000 安徽省蚌埠市中国(安徽)自*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 芯片 合用 及其 基座
【权利要求书】:

1.芯片键合用基座,包括基座(1),其特征在于:所述基座(1)的上表面可拆卸安装有码料机构(2),所述基座(1)的上表面滑动安装有安装机构(3)。

2.如权利要求1所述的芯片键合用基座,其特征在于,所述码料机构(2)包括储存架(201),所述储存架(201)固定安装在基座(1)上,所述储存架(201)内转动安装有阵列分布的放置盘(202),所述放置盘(202)相互远离的侧面该固定安装有转轴(204),所述转轴(204)的外表面上固定安装有第一弹簧(205),所述第一弹簧(205)靠近放置盘(202)的一端固定连接在储存架(201)内部,所述放置盘(202)的外表面固定安装有两个放置条(207),位于下方的所述放置条(207)和芯片的上下两侧活动接触,所述储存架(201)内固定安装有阵列分布的固定条(206),所述固定条(206)和位于下方的放置条(207)的下表面活动接触,所述储存架(201)内固定安装有限位板(203)。

3.如权利要求1所述的芯片键合用基座,其特征在于,所述安装机构(3)包括安装板(301),所述安装板(301)滑动设置在基座(1)上,所述安装板(301)的上表面滑动安装有移动条(302),所述移动条(302)的下表面固定安装有第一滑块(306),所述第一滑块(306)滑动设置在安装板(301)内部,所述安装板(301)远离储存架(201)的侧面转动安装有第一螺丝杆(307),所述第一螺丝杆(307)上螺纹连接有第一滑块(306),且移动条(302)相互靠近的一端活动卡设在储存架(201)内部。

4.如权利要求3所述的芯片键合用基座,其特征在于,所述安装板(301)的下表面固定安装有固定架(303),所述固定架(303)的上表面固定安装有第二气缸(304),所述第二气缸(304)的顶端固定安装有推板(305),所述推板(305)的上表面和芯片活动接触。

5.如权利要求1所述的芯片键合用基座,其特征在于,所述基座(1)包括底板(101),所述底板(101)远离放置机构(4)的侧面固定安装有固定板(102),所述固定板(102)的上表面固定安装有两个第一气缸(103),所述安装板(301)的下表面固定安装有限位块(308),所述限位块(308)滑动设置在底板(101)内部,所述第一气缸(103)靠近放置机构(4)的一端固定连接在限位块(308)上,所述底板(101)内转动安装有第一皮带轮(104)。

6.一种芯片键合用压指,用于配合权利要求1至5任一项的所述基座,包括放置机构(4),其特征在于:所述放置机构(4)的上表面滑动安装有限位机构(5),所述放置机构(4)固定安装在基座(1)的侧面。

7.如权利要求6所述的一种芯片键合用压指,其特征在于,所述限位机构(5)包括移动架(501),所述移动架(501)滑动设置在放置机构(4)上,所述移动架(501)的下表面滑动安装有两个安装块(503),所述安装块(503)的上表面固定安装有第二滑块(504),所述第二滑块(504)滑动设置在移动架(501)内部,所述移动架(501)的侧面转动安装有双向螺杆(505),所述双向螺杆(505)上螺纹连接有两个第二滑块(504)。

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