[发明专利]一种适用于TPAK器件有压烧结的定位夹具及贴装方法在审
| 申请号: | 202310533698.2 | 申请日: | 2023-05-12 |
| 公开(公告)号: | CN116469828A | 公开(公告)日: | 2023-07-21 |
| 发明(设计)人: | 於少林;王佳宁;魏兆阳;江溢洋;潘翔 | 申请(专利权)人: | 合肥综合性国家科学中心能源研究院(安徽省能源实验室) |
| 主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/68;H01L21/67;H01L21/50;H01L23/373;H01L23/367 |
| 代理公司: | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人: | 杨学明 |
| 地址: | 230000 安徽省*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 适用于 tpak 器件 烧结 定位 夹具 方法 | ||
本发明提供一种适合TPAK器件有压烧结的定位夹具及贴装方法,包括一个载体、两个导向板、一个支撑板、两个定位销、两个支撑环;本发明针对没有专用贴TPAK器件设备的情况下,通过夹具设计能够实现TPAK器件与散热器各凸台的精准定位和稳固贴片,为高质量有压烧结奠定基础。本发明可以节省TPAK贴装设备的成本,适合研究型以及小批量生产,且装配简单,使用范围广,可以用于各种散热器结构、多个TPAK器件并联贴装。
技术领域
本发明涉及功率半导体器件(封装)技术领域,具体地涉及一种适用于TPAK器件有压烧结的定位夹具及贴装方法。
背景技术
目前Tesla在Model3的主驱逆变器中采用了SiC型TPAK器件烧结方案,及通过有压银烧结工艺将TPAK功率器件与铝散热器进行连接,构成了可进行电能变换的功率模组。TPAK器件结构如图1所示。
与导热硅脂、高温无铅钎料相比,银烧结技术的烧结连接层成分为银,具有优异的导电和导热性能,由于银的熔点高达961℃,将不会产生熔点小于300℃的软钎焊连层中出现的典型疲劳效应,具有极高的可靠性,且其烧结温度和传统软钎焊料温度相当。采用银烧结技术可使功率模组使用寿命提高5-10倍,烧结层厚度较焊接层厚度薄60-70%,热传导率提升3倍。
目前国内尚未开发出成熟可量产的TPAK烧结模组。
TPAK器件有压烧结的工艺流程,如图2所示,印刷即通过丝网印刷机将银膏印刷在散热器上。烘烤即将印刷后的散热器放入烘箱,从而挥发出银膏中的有机物,此时银膏固化。贴片即通过专用贴片机将器件贴装在散热器对应凸台的银膏上,此时贴片机能够提供一定的温度和压力,使得器件与散热器呈现一种预烧结的状态,TPAK器件能够稳固的贴装在散热器上。烧结即将贴装好的TPAK模组放入烧结设备中,烧结温度一般在230-250℃,并通过压头在TPAK器件表面施加压力,通过有压烧结的方式实现TPAK器件与散热器的连接。
现有对TPAK器件贴装方式是通过设备贴装,如Tesla。但是将TPAK器件与散热器进行银烧结的技术路线是一种高成本方案,而且国内尚没有开发出可成熟可量产的TPAK烧结模组,国内仍然处于试研阶段。因此,对于一些研究院所以及小批量试研的企业,通过购置专用TPAK器件贴片设备无疑增加研发成本。
发明内容
为解决上述技术问题,本发明提供一种适用于TPAK器件有压烧结的定位夹具及贴装方法,针对没有专用贴TPAK器件设备的情况下,通过夹具设计能够实现TPAK器件与散热器各凸台的精准定位和稳固贴片,为高质量有压烧结奠定基础。本发明通过手动形式即可实现TPAK器件与散热器的贴装,降低成本。
为达到上述目的,本发明采用如下技术方案:
一种适合TPAK器件有压烧结的定位夹具,包括一个载体、两个导向板、一个支撑板、两个定位销、两个支撑环;
所述载体用于承载散热器,根据散热器的结构进行设计;所述导向板用于对TPAK器件进行手动定位和支撑,安装在载体中的轨道槽中,所述支撑板用于对TPAK器件的支撑,所述支撑环用于避免在有压烧结后,支撑板受挤压抽取不出;所述导向板设置有定位齿,所述定位齿的间距以及个数取决于并联的TPAK器件的个数,用于对TPAK器件的精准定位以及固定;所述导向板通过长度小于6mm的M3内六角螺丝固定在载体的导轨槽上;所述支撑板上端两侧进行斜切30°倒角,用于支撑TPAK器件,使得TPAK器件在烧结过程的压力施加下保持稳固状态。
进一步地,所述导向板的长度根据散热器整体长度进行设计,高度根据散热器与其表面所印刷的银膏高度之后进行设计,导向板上的定位齿根据TPAK器件并联个数以及并联间距进行设计。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





