[发明专利]一种液冷散热结构在审

专利信息
申请号: 202310009602.2 申请日: 2023-01-04
公开(公告)号: CN116544204A 公开(公告)日: 2023-08-04
发明(设计)人: 温淞;薛海韵;陈钏;何慧敏;刘丰满;王启东 申请(专利权)人: 中国科学院微电子研究所
主分类号: H01L23/473 分类号: H01L23/473;G02B6/42;H05K7/20
代理公司: 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 代理人: 王胜利
地址: 100029 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 散热 结构
【权利要求书】:

1.一种液冷散热结构,其特征在于,液冷散热结构至少包括:

分液结构、第一微流道结构、接触冷板以及第二微流道结构;

所述接触冷板覆盖在所述第二微流道结构上方,所述第一微流道结构覆盖在所述接触冷板上方;所述第一微流道结构上方设置有分液结构;所述分液结构为螺旋桨式;所述第一微流道结构为针对光芯片设置的结构;所述第二微流道结构为针对交换芯片设置的结构。

2.根据权利要求1所述的液冷散热结构,其特征在于,所述分液结构包括进液结构以及出液结构;

所述进液结构包含1条进液流道;所述出液结构包括8条出液流道。

3.根据权利要求1所述的液冷散热结构,其特征在于,所述液冷散热结构应用于异形封装交换芯片的光电合封系统;所述光电合封系统的交换芯片功耗大于预设阈值。

4.根据权利要求3所述的液冷散热结构,其特征在于,所述第一微流道结构为对称式结构,用于对光芯片进行换热;

所述第二微流道结构为针对异形封装交换芯片设置的结构;所述第二微流道结构的尺寸小于所述第一微流道结构的尺寸。

5.根据权利要求2所述的液冷散热结构,其特征在于,对于所述光芯片,在所述液冷散热结构的四个边角分别设置第一出液口;

对于所述交换芯片,在进液口对称中心旁对称设置四个第二出液口;所述进液口的尺寸大于出液口的尺寸;所述进液口呈十字花型。

6.根据权利要求1所述的液冷散热结构,其特征在于,所述第一微流道结构以及所述接触冷板的中间镂空;镂空面积等于所述第二微流道结构的面积。

7.根据权利要求3所述的液冷散热结构,其特征在于,所述光电合封系统中光芯片基于所述交换芯片对称设置;所述光芯片的数量是根据光芯片自身带宽、光芯片自身速率、所述交换芯片的带宽以及所述交换芯片的速率来确定的。

8.根据权利要求3所述的液冷散热结构,其特征在于,所述光电合封系统的带宽大于预设带宽阈值;所述光电合封系统的速率大于预设速率阈值;所述光芯片的数量与带宽、速率成正比。

9.根据权利要求5所述的液冷散热结构,其特征在于,螺旋桨式的分液结构基于进液口呈中心对称,对四个方向的分液流量进行均匀化处理。

10.根据权利要求3所述的液冷散热结构,其特征在于,所述光电合封系统中包括交换芯片以及光芯片;所述光电合封系统的交换芯片的结温需控制在80℃以下。

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