[发明专利]一种液冷散热结构在审
申请号: | 202310009602.2 | 申请日: | 2023-01-04 |
公开(公告)号: | CN116544204A | 公开(公告)日: | 2023-08-04 |
发明(设计)人: | 温淞;薛海韵;陈钏;何慧敏;刘丰满;王启东 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | H01L23/473 | 分类号: | H01L23/473;G02B6/42;H05K7/20 |
代理公司: | 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 | 代理人: | 王胜利 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 散热 结构 | ||
1.一种液冷散热结构,其特征在于,液冷散热结构至少包括:
分液结构、第一微流道结构、接触冷板以及第二微流道结构;
所述接触冷板覆盖在所述第二微流道结构上方,所述第一微流道结构覆盖在所述接触冷板上方;所述第一微流道结构上方设置有分液结构;所述分液结构为螺旋桨式;所述第一微流道结构为针对光芯片设置的结构;所述第二微流道结构为针对交换芯片设置的结构。
2.根据权利要求1所述的液冷散热结构,其特征在于,所述分液结构包括进液结构以及出液结构;
所述进液结构包含1条进液流道;所述出液结构包括8条出液流道。
3.根据权利要求1所述的液冷散热结构,其特征在于,所述液冷散热结构应用于异形封装交换芯片的光电合封系统;所述光电合封系统的交换芯片功耗大于预设阈值。
4.根据权利要求3所述的液冷散热结构,其特征在于,所述第一微流道结构为对称式结构,用于对光芯片进行换热;
所述第二微流道结构为针对异形封装交换芯片设置的结构;所述第二微流道结构的尺寸小于所述第一微流道结构的尺寸。
5.根据权利要求2所述的液冷散热结构,其特征在于,对于所述光芯片,在所述液冷散热结构的四个边角分别设置第一出液口;
对于所述交换芯片,在进液口对称中心旁对称设置四个第二出液口;所述进液口的尺寸大于出液口的尺寸;所述进液口呈十字花型。
6.根据权利要求1所述的液冷散热结构,其特征在于,所述第一微流道结构以及所述接触冷板的中间镂空;镂空面积等于所述第二微流道结构的面积。
7.根据权利要求3所述的液冷散热结构,其特征在于,所述光电合封系统中光芯片基于所述交换芯片对称设置;所述光芯片的数量是根据光芯片自身带宽、光芯片自身速率、所述交换芯片的带宽以及所述交换芯片的速率来确定的。
8.根据权利要求3所述的液冷散热结构,其特征在于,所述光电合封系统的带宽大于预设带宽阈值;所述光电合封系统的速率大于预设速率阈值;所述光芯片的数量与带宽、速率成正比。
9.根据权利要求5所述的液冷散热结构,其特征在于,螺旋桨式的分液结构基于进液口呈中心对称,对四个方向的分液流量进行均匀化处理。
10.根据权利要求3所述的液冷散热结构,其特征在于,所述光电合封系统中包括交换芯片以及光芯片;所述光电合封系统的交换芯片的结温需控制在80℃以下。
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