[实用新型]CVD法生长多层异质结的制备装置

权利要求书

1.CVD法生长多层异质结的制备装置，其特征在于，包括底盘(1)、加热板(2)和传送环(3)，所述底盘(1)的顶部固定安装有立柱(16)和电机(18)，立柱(16)的外侧转动套接有转筒(17)，转筒(17)的外侧固定连接有多个支撑杆，多个支撑杆的顶端均固定连接在传送环(3)的底部，且立柱(16)的顶端固定安装有固定板(6)，固定板(6)的顶部开设有安装孔，安装孔内转动安装有丝杆(10)，丝杆(10)的底端固定安装有旋钮(11)，所述加热板(2)的顶部固定安装有安装板(7)，安装板(7)的顶部固定安装有横板(8)，横板(8)螺纹套接在丝杆(10)的外侧，且固定板(6)的底部固定连接有两个连接弹簧(14)，两个连接弹簧(14)的底端固定连接有同一个环形板(13)，环形板(13)的底部两侧均固定安装有定位杆(15)，所述旋钮(11)的顶部开设有多个定位槽，两个定位杆(15)分别活动卡接在对应的定位槽内，且环形板(13)的一侧固定安装有推杆(12)。

2.根据权利要求1所述的CVD法生长多层异质结的制备装置，其特征在于，所述固定板(6)的底部固定安装有两个竖杆，所述环形板(13)滑动套接在两个竖杆的外侧。

3.根据权利要求1所述的CVD法生长多层异质结的制备装置，其特征在于，所述固定板(6)的顶部固定安装有L板(9)，所述横板(8)滑动套接在L板(9)的外侧。

4.根据权利要求1所述的CVD法生长多层异质结的制备装置，其特征在于，所述转筒(17)的外侧固定套接有从动齿轮(4)，所述电机(18)的输出轴上固定连接有主动齿轮(5)，主动齿轮(5)与从动齿轮(4)相啮合。

5.根据权利要求1所述的CVD法生长多层异质结的制备装置，其特征在于，所述固定板(6)的顶部开设有滑孔，安装板(7)滑动连接在滑孔内。

6.根据权利要求1所述的CVD法生长多层异质结的制备装置，其特征在于，所述转筒(17)的外侧转动连接有多个支撑轮，支撑轮与底盘(1)的顶部滚动连接。