[实用新型]半导体载台有效
| 申请号： | 202221099070.3 | 申请日： | 2022-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN217507271U | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 张智文;王志锋;徐悠和;张福庭;杨秉丰;黄泰源 | 申请（专利权）人： | 日月光半导体制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京植德律师事务所 11780 | 代理人： | 唐华东 |
| 地址： | 中国台湾高雄*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 半导体 | ||
1.一种半导体载台，用于承载放置层状产品的治具，其特征在于，所述半导体载台包括画面撷取单元和处理单元；所述画面撷取单元用于撷取所述治具内的层状产品的影像，将撷取的所述影像传送至所述处理单元；所述处理单元用于根据所述影像判断所述层状产品的状况。
2.根据权利要求1所述的半导体载台，其特征在于，所述半导体载台还包括升降单元，所述画面撷取单元安装于所述升降单元。
3.根据权利要求2所述的半导体载台，其特征在于，所述升降单元为所述半导体载台的升降门，所述画面撷取单元安装于所述升降门的背离所述治具的一面。
4.根据权利要求1所述的半导体载台，其特征在于，所述画面撷取单元包括摄像机。
5.根据权利要求4所述的半导体载台，其特征在于，所述摄像机有两个，排列方向与所述层状产品的边缘平行。
6.根据权利要求4所述的半导体载台，其特征在于，所述摄像机的光轴与所述治具的纵深方向形成夹角，所述夹角不大于20度。
7.根据权利要求6所述的半导体载台，其特征在于，所述摄像机有两个，两个所述摄像机的光轴与所述治具的纵深方向形成的夹角相等。
8.根据权利要求1所述的半导体载台，其特征在于，所述画面撷取单元包括滤光片。
9.根据权利要求8所述的半导体载台，其特征在于，所述滤光片允许波长在540nm-600nm区间的光通过。
10.根据权利要求1所述的半导体载台，其特征在于，所述画面撷取单元包括光源。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
