[实用新型]一种晶圆夹持预对准机构

说明书

本实用新型公开了一种晶圆夹持预对准机构，包括机座、旋转模组和预对准模组，旋转模组包括固定架、连接板和晶圆吸附机构，预对准模组包括对称分布的卡座安装架和卡座，机座上固定安装有固定底座，固定底座上设有两组的定位滑块和导轨气缸，定位滑块用于与卡座安装架下端的延伸部分通过螺栓进行固定，连接板一端固定在晶圆吸附机构下端面，另一端固定在固定架侧边，晶圆吸附机构下端为电机，上端安装有旋转盘，卡座安装架上端通过螺栓固定有卡座，卡座内侧设有供晶圆存放的圆弧台阶槽，圆弧台阶槽两端和中段均开设用于放置保护块的安装槽。通过旋转模组和预对准模组配合对晶圆进行对准动作，实现了晶圆的自动定心对准，有利于提高工作效率。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术制造领域辅助器械，尤其涉及一种晶圆夹持预对准机构。

背景技术

晶圆预对准是半导体制造的重要环节之一,预对准机用来检测晶圆的偏心及缺口(或切边)并实现单个晶圆的定位以及晶圆之间的一致性,对半导体制造精度的保证起到了重要作用。

随着晶圆尺寸的提高,对晶圆预对准的精度要求也相应提高,因此,有必要对晶圆预对准的相关技术进行系统研究，一般的绷膜环晶圆预对准机构定位装夹复杂，工序多，工作效率低下，耗费大量时间；传统的绷膜环晶圆预对准机构定心对准的精度和效率都很低，并且部分步骤还需要人工操作，不能实现自动定心对准。

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型提供了一种晶圆夹持预对准机构。

为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：一种晶圆夹持预对准机构，其特征在于：包括机座、旋转模组和预对准模组，所述旋转模组包括固定架、连接板和晶圆吸附机构，所述预对准模组包括对称分布的卡座安装架和卡座，所述机座上固定安装有固定底座，所述固定底座上设有两组的定位滑块和导轨气缸，定位滑块与卡座安装架下端的延伸部分通过螺栓进行固定，所述连接板一端固定在晶圆吸附机构下端面，另一端固定在固定架侧边，晶圆吸附机构下端为电机，上端安装有旋转盘，所述卡座安装架上端通过螺栓固定有卡座，所述卡座内侧设有供晶圆存放的圆弧台阶槽，所述圆弧台阶槽两端和中段均开设用于放置保护块的安装槽。

进一步的，连接板中段设有升降气缸进行升降动作。

进一步的，机座上分布有若干根支撑块，支撑块和机座通过螺栓围设有防护罩。

其中，支撑块上方通过螺栓加装有防护板，防护板预留有卡座安装架和晶圆吸附机构的安放孔。

进一步的，多组所述卡座依次以递减阶梯式的叠加方式固定在卡座安装架上，卡座圆弧台阶槽的槽壁到旋转盘中心的距离即为晶圆半径。

进一步的，晶圆旋转盘上端面设有真空吸附装置。

进一步的，机座上安装有用于检测晶圆中心和缺口的晶圆检测仪。

进一步的，卡座安装架和固定架均加设有加强筋。

通过升降气缸实现旋转模组对晶圆的交握动作，通过两边对称的卡座对晶圆的夹持力使得晶圆对中动作完成。

由上述对本实用新型结构的描述可知，和现有技术相比，本实用新型具有如下优点：

1、通过对称的卡座收拢，旋转模组和卡座的配合，能快速完成晶圆进行对中动作。

2、保护块能在夹持对中时对晶圆产生保护作用。

附图说明

构成本申请的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型一种晶圆夹持预对准机构的结构示意图；

图2为本实用新型一种晶圆夹持预对准机构的局部立体结构示意图；