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[实用新型]一种光纤激光器的老化测试装置-CN202121806410.7有效
发明人： 田金泉;刘志平 -专利权人：上海昊量光电设备有限公司
申请日： 2021-08-04 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： G01M11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光纤激光器的老化测试装置，包含底板，所述底板上方左侧设有检测结构，所述底板上方右侧设有调节结构，所述调节结构上设有若干发射头，若干所述发射头上连接有若干光纤激光器；本实用新型涉及光纤激光器检测技术领域，通过设有的调节结构和检测结构相互配合，可以同时对多个检测器和光纤激光器的位置进行调节，实现对齐对正处理，且不需要人为操作，提供便捷性和效率，降低人工成本。
一种光纤激光器老化测试装置

[实用新型]一种晶面宏观检查大旋转机构-CN202220883368.7有效
发明人：王豪;田金泉;王广禄;李涛 -专利权人：憬承光电科技（厦门）有限公司
申请日： 2022-04-18 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶面宏观检查大旋转机构，其特征在于：包括机座、旋转模组和转动模组，所述旋转模组固定在机座内腔，所述旋转模组包括第一电机、转盘和机架，所述机架固定在转盘上端，所述转动模组包括第二电机、皮带轮模组、转动轴和晶圆吸附机构，所述晶圆吸附机构通过转动轴固定在机架顶端，转动轴通过皮带轮模组与第二电机连接，所述第二电机固定在机架一侧。本实用新型用于宏观检查晶圆晶面时的旋转装置。
一种宏观检查旋转机构

[实用新型]一种晶圆夹持预对准机构-CN202220926206.7有效
发明人：郑亚阳;田金泉;王广禄;李涛 -专利权人：憬承光电科技（厦门）有限公司
申请日： 2022-04-21 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆夹持预对准机构，包括机座、旋转模组和预对准模组，旋转模组包括固定架、连接板和晶圆吸附机构，预对准模组包括对称分布的卡座安装架和卡座，机座上固定安装有固定底座，固定底座上设有两组的定位滑块和导轨气缸，定位滑块用于与卡座安装架下端的延伸部分通过螺栓进行固定，连接板一端固定在晶圆吸附机构下端面，另一端固定在固定架侧边，晶圆吸附机构下端为电机，上端安装有旋转盘，卡座安装架上端通过螺栓固定有卡座，卡座内侧设有供晶圆存放的圆弧台阶槽，圆弧台阶槽两端和中段均开设用于放置保护块的安装槽。通过旋转模组和预对准模组配合对晶圆进行对准动作，实现了晶圆的自动定心对准，有利于提高工作效率。
一种夹持对准机构

[实用新型]一种晶圆输送检查平台-CN202220882700.8有效
发明人：郑亚阳;田金泉;王广禄;李涛 -专利权人：憬承光电科技（厦门）有限公司
申请日： 2022-04-18 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆输送检查平台，其特征在于：包括机座、检查工作台、旋转模组和升降模组，所述机座上固定有固定模组，本实用新型通过旋转模组和升降模组与搬运机械手对晶圆进行交握动作，并在检查工作台进行寻找中心点和晶圆晶面检查等工作，提供了较大的便利，方便自动化动作，减少人工对晶圆造成的损坏。
一种输送检查平台

[实用新型]一种针对晶圆产品的机械手夹持机构-CN202220883369.1有效
发明人： 田金泉;王广禄;李涛;陈曦 -专利权人：憬承光电科技（厦门）有限公司
申请日： 2022-04-18 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种针对晶圆产品的机械手夹持机构，机械手夹持机构包括机械臂和设置在机械臂前端的夹持模组，夹持模组包括晶圆夹持座、位于前端的两组夹持块和尾端的夹持滑块，夹持座为“Y”字形，机械臂前端固定有夹持气缸，夹持气缸前端设有用于固定夹持滑块的安装模块，夹持座上安装有用于检查晶圆在席感应的传感器，夹持座尾端与机械臂的前端固定连接。本实用新型通过夹持气缸等组成的机构实现自动动作，对晶圆产品从卡匣里自动夹持及取放功能，当把晶圆产品从卡匣里取出来的时候只接触产品边缘3‑5mm，不会接触到产品其他部位，针对于晶圆产品，同时还装有在席感应功能装置，检查产品有无，防止损坏产品，起到报警动作停止功能。
一种针对产品机械手夹持机构

[发明专利]一种晶圆夹持预对准机构-CN202210419897.6在审
发明人：郑亚阳;田金泉;王广禄;李涛 -专利权人：憬承光电科技（厦门）有限公司
申请日： 2022-04-21 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆夹持预对准机构，包括机座、旋转模组和预对准模组，旋转模组包括固定架、连接板和晶圆吸附机构，预对准模组包括对称分布的卡座安装架和卡座，机座上固定安装有固定底座，固定底座上设有两组的定位滑块和导轨气缸，定位滑块用于与卡座安装架下端的延伸部分通过螺栓进行固定，连接板一端固定在晶圆吸附机构下端面，另一端固定在固定架侧边，晶圆吸附机构下端为电机，上端安装有旋转盘，卡座安装架上端通过螺栓固定有卡座，卡座内侧设有供晶圆存放的圆弧台阶槽，圆弧台阶槽两端和中段均开设用于放置保护块的安装槽。通过旋转模组和预对准模组配合对晶圆进行对准动作，实现了晶圆的自动定心对准，有利于提高工作效率。
一种夹持对准机构

[实用新型]一种绷膜环晶圆磁铁吸附平台-CN202021688478.5有效
发明人： 田金泉;李涛;王广禄;陈曦;柯华榕 -专利权人：憬承光电科技（厦门）有限公司
申请日： 2020-08-14 - 公布日： 2021-04-23 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种绷膜环晶圆磁铁吸附平台，包括第一导轨、第二导轨、工作台、底板、分隔板、支撑柱、第一安装板、电磁铁柱、限位凸起、推动气缸、第一斜块、第一滑轮、第二滑轮、第二斜块、第一拖链、第二拖链、铁环、支撑杆、滑轨、第二安装板、限位柱和连接板，所述第二导轨的一侧安装有第一拖链，所述第二导轨上安装有第一气缸，所述第一导轨上安装有滑块，且滑块的顶端与第二安装板的底端中心处固定连接，该实用新型，利用安装的电磁铁柱是电磁铁柱与铁环固定连接，进而对放置在铁环上的晶圆进行固定，改变了传统中采用真空进行吸附固定的方式，降低了电量的损耗，同时降低了晶圆的损坏率。
一种绷膜环晶圆磁铁吸附平台

[实用新型]一种晶圆自动预对准装置-CN202021907916.2有效
发明人： 田金泉;李涛;王广禄;陈曦;柯华榕 -专利权人：憬承光电科技（厦门）有限公司
申请日： 2020-09-04 - 公布日： 2021-04-23 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆自动预对准装置，包括电机升降杆、第一滑轨、固定架、顶柱、承片台、第一电机、真空泵、第二滑轨、第二电机、第一固定块、第一传感器、第二传感器、螺母块、第一固定板、第二固定块、垫板、第一滑块、第三固定块、丝杆、第二固定板、第一支撑板、第二滑块、挡块、联轴器、盖板、第二支撑板、底板、外壳、第二凹槽和第五固定块，该实用新型利用真空泵通过管道抽取吸气口内部的空气，实现晶圆被吸附在承片台上，有利于晶圆的快速定位装夹，该装置利用第一电机带动晶圆沿X方向运动，利用电机升降杆的升降带动晶圆沿Y方向运动，配合第一传感器和第二传感器的检测，实现了晶圆的自动定心对准，有利于提高工作效率。
一种自动对准装置

[实用新型]一种绷膜环晶圆检查机-CN202021499377.3有效
发明人： 田金泉;李涛;王广禄;陈曦;柯华榕 -专利权人：憬承光电科技（厦门）有限公司
申请日： 2020-07-27 - 公布日： 2021-01-01 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种绷膜环晶圆检查机，包括检查机主体、晶圆提篮、工作台、纵向移动组件、横向移动组件、安装座、X轴移动组件、Y轴移动组件、吸附平台、支架、INKER标记仪、CCD对位仪、检查组件和扫描仪；该实用新型，通过增设纵向移动组件、横向移动组件、X轴移动组件、Y轴移动组件、吸附平台和检查组件，并配合CCD对位仪和扫描仪，从而使晶圆检查机能实时定位待检查晶圆的位置，自动对待检查晶圆完成移动、夹取、夹持、吸附和检查的动作，不仅提高了晶圆检查机的自动化程度，降低了人员的劳动强度，提高了晶圆检查的效率，还避免了人为操作失误对晶圆表面造成损伤的问题，减少了晶圆检查的次品率，节省了资源。
一种绷膜环晶圆检查

[发明专利]一种绷膜环晶圆检查机-CN202010729072.5在审
发明人： 田金泉;李涛;王广禄;陈曦;柯华榕 -专利权人：憬承光电科技（厦门）有限公司
申请日： 2020-07-27 - 公布日： 2020-11-13 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明公开了一种绷膜环晶圆检查机，包括检查机主体、晶圆提篮、工作台、纵向移动组件、横向移动组件、安装座、X轴移动组件、Y轴移动组件、吸附平台、支架、INKER标记仪、CCD对位仪、检查组件和扫描仪；该发明，通过增设纵向移动组件、横向移动组件、X轴移动组件、Y轴移动组件、吸附平台和检查组件，并配合CCD对位仪和扫描仪，从而使晶圆检查机能实时定位待检查晶圆的位置，自动对待检查晶圆完成移动、夹取、夹持、吸附和检查的动作，不仅提高了晶圆检查机的自动化程度，降低了人员的劳动强度，提高了晶圆检查的效率，还避免了人为操作失误对晶圆表面造成损伤的问题，减少了晶圆检查的次品率，节省了资源。
一种绷膜环晶圆检查

[实用新型]一种方便拆装的电光调制器-CN201922265113.5有效
发明人： 田金泉 -专利权人：上海奚以光电科技有限公司
申请日： 2019-12-17 - 公布日： 2020-08-07 - 主分类号： G02F1/03 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种方便拆装的电光调制器，包括外壳，所述外壳顶部外壁开设有矩形开口，且矩形开口的内壁卡接有密封盖，所述密封盖底部外壁四角处均通过螺栓固定有安装管，所述外壳底部内壁的四角处均通过螺栓固定有安装套，四个所述安装管的内壁均设置有限位机构，所述限位机构包括隔板，且隔板通过螺栓固定在安装管内壁上，所述隔板顶部外壁开设有安装口，且安装口的内壁套接有连接柱，所述连接柱的外壁套接有弹簧。本实用新型通过在密封盖底部设置四个安装管，通过在安装管内设置限位机构，通过限位机构和拉绳的配合便于对密封盖进行拆卸，解决了现有的电光调制器密封盖不方便拆卸的问题。
一种方便拆装电光调制器

[实用新型]一种应力测量仪LED光源-CN201922265115.4有效
发明人： 田金泉 -专利权人：上海奚以光电科技有限公司
申请日： 2019-12-17 - 公布日： 2020-07-14 - 主分类号： G01L1/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种应力测量仪LED光源，包括固定板，所述固定板底部外壁的两侧通过螺栓固定有同一个安装箱，所述固定板底部外壁的两侧均通过螺栓固定有同一个支撑架，所述支撑架的两侧外壁均设置有调节旋钮，所述安装箱的两侧内壁均通过螺栓固定有安装架，且两个安装架相对一侧外壁通过轴承固定有同一个灯光箱，所述灯光箱传动轴的一端套接有第一齿轮，其中一个所述安装架的一侧外壁通过轴承固定有扇形齿轮。本实用新型通过在安装箱内设置第一齿轮和扇形齿轮相匹配，再电动伸缩杆的驱动进而带动灯光箱的角度调节，又通过灯光箱中的齿条和第二齿轮相匹配，解决了现有的应力测量仪LED光源无法调节的问题。
一种应力测量仪 led 光源

[实用新型]一种激光束指向稳定系统-CN201820906888.9有效
发明人：谷宗浩;田金泉 -专利权人：上海昊量光电设备有限公司
申请日： 2018-06-12 - 公布日： 2018-12-11 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种激光束指向稳定系统，包括激光发射器、二维快速反射镜、DSP控制器、两个位置敏感探测器和两个分束镜，所述激光发射器发出的激光束入射至所述二维快速反射镜上经过反射后的光线依次穿过两片所述分束镜，光线分别在两片所述分束镜上产生的反射光线分别由两个所述位置敏感探测器接收，所述位置敏感探测器、所述DSP控制器和所述二维快速反射镜依次连接，所述二维快速反射镜和所述分束镜的光线入射角均为45°，所述位置敏感探测器上设有与入射光波长匹配的窄带滤波片。本实用新型可实现对于光束指向的实时纠正，结构简单，检测响应速度快，灵敏度较高，适应振动环境。
位置敏感探测器快速反射镜分束镜二维本实用新型激光发射器激光束指向稳定系统光线入射角入射光波长窄带滤波片反射光线光束指向依次连接振动环境灵敏度激光束入射反射匹配穿过响应检测纠正

[实用新型]一种偏振态测量仪-CN201820907945.5有效
发明人： 田金泉;戴陈光 -专利权人：上海昊量光电设备有限公司
申请日： 2018-06-12 - 公布日： 2018-12-11 - 主分类号： G01J4/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种偏振态测量仪，包括激光器、第一准直器、起偏器、1/4波片、检偏器、第二准直器和功率计，被测光纤布置在所述激光器和所述第一准直器之间，所述起偏器、所述1/4波片、所述检偏器等间隔依次布置在所述第一准直器和所述第二准直器之间，所述第二准直器连接所述功率计，所述激光器射出的检测光的光轴对准所述第一准直器的中心，所述第一准直器和所述第二准直器的光轴位于同一直线上，所述第一准直器和所述起偏器之间的距离和所述第二准直器和所述检偏器之间的距离相等。本实用新型体积小，结构简单，调节方便，操作便捷，灵敏度较高。
准直器激光器检偏器起偏器本实用新型偏振态测量功率计波片调节方便光轴对准距离相等同一直线依次布置等间隔检测光灵敏度体积小光轴射出光纤

[实用新型]一种长光程气体吸收池-CN201820930653.3有效
发明人：步元首;田金泉 -专利权人：上海昊量光电设备有限公司
申请日： 2018-06-12 - 公布日： 2018-12-11 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种长光程气体吸收池，包括石英密闭管、支撑杆和两块端板，所述石英密闭管、所述支撑杆均设于两块所述端板之间，所述石英密闭管的两端与所述端板的连接处分别设有密闭固定环，所述端板上设有通光孔作为入射口和出射口，所述端板上设有快速接头用于通气和控压，两块所述端板的相对面的中间分别设有第一直角棱镜和第二直角棱镜，所述第一直角棱镜和所述第二直角棱镜相对放置且入射光在所述第一直角棱镜和所述第二直角棱镜之间的反射次数至少为5次。本实用新型具有光程长、容积小、重量轻、强度高等特点，密封性好，有效光程计算简单，调节方便，光束传输特性好，相互之间不易形成干扰，提高测量准确性，结构简单，实际使用性强。
直角棱镜端板密闭管石英本实用新型气体吸收池长光程支撑杆光束传输特性调节方便快速接头密封性好相对放置有效光程出射口固定环光程长入射光入射口使用性通光孔重量轻控压密闭反射通气测量

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