[实用新型]一种晶圆夹持预对准机构有效

专利信息
申请号: 202220926206.7 申请日: 2022-04-21
公开(公告)号: CN217740498U 公开(公告)日: 2022-11-04
发明(设计)人: 郑亚阳;田金泉;王广禄;李涛 申请(专利权)人: 憬承光电科技(厦门)有限公司
主分类号: H01L21/68 分类号: H01L21/68;H01L21/67
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 361115 福建省厦门市火炬高新区(翔安*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 夹持 对准 机构
【权利要求书】:

1.一种晶圆夹持预对准机构,其特征在于:包括机座(1)、旋转模组和预对准模组,所述旋转模组包括固定架(2)、连接板(3)和晶圆吸附机构(4),所述预对准模组包括对称分布的卡座安装架(5)和卡座(6),所述机座(1)上固定安装有固定底座(7),所述固定底座(7)上设有两组的定位滑块(8)和导轨气缸(9),定位滑块(8)与卡座安装架(5)下端的延伸部分通过螺栓进行固定,所述连接板(3)一端固定在晶圆吸附机构(4)下端面,另一端固定在固定架(2)侧边,晶圆吸附机构(4)下端为电机,上端安装有旋转盘(10),所述卡座安装架(5)上端通过螺栓固定有卡座(6),所述卡座(6)内侧设有供晶圆存放的圆弧台阶槽(11),所述圆弧台阶槽(11)两端和中段均开设用于放置保护块的安装槽(12)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆夹持预对准机构,其特征在于:所述连接板(3)中段设有升降气缸(13)进行升降动作。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆夹持预对准机构,其特征在于:所述机座(1)上分布有若干根支撑块(14),支撑块(14)和机座(1)通过螺栓围设有防护罩(15)。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆夹持预对准机构,其特征在于:所述支撑块(14)上方通过螺栓加装有防护板(16),防护板(16)预留有卡座安装架(5)和晶圆吸附机构(4)的安放孔。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆夹持预对准机构,其特征在于:多组所述卡座(6)依次以递减阶梯式的叠加方式固定在卡座安装架(5)上,卡座圆弧台阶槽(11)的槽壁到旋转盘(10)中心的距离即为晶圆半径。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆夹持预对准机构,其特征在于:旋转盘(10)上端面设有真空吸附装置。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆夹持预对准机构,其特征在于:所述机座(1)上方安装有用于检测晶圆中心和缺口的晶圆检测仪(17)。

8.根据权利要求1所述的一种晶圆夹持预对准机构,其特征在于:所述卡座安装架(5)和固定架(2)均加设有加强筋(18)。

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