[实用新型]一种半导体晶圆凸块用推拉力测试机

权利要求书

1.一种半导体晶圆凸块用推拉力测试机，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上表面的四角处均固定连接有稳定板(2)，四个所述稳定板(2)的表面从上至下依次共同滑动套接有第一测试机构和第二测试机构，四个所述稳定板(2)的顶端共同固定连接有顶板(3)，所述顶板(3)的背面安装有控制面板，所述顶板(3)下表面的两侧均固定安装有电动推杆(4)，所述第一测试机构包括滑动套接于四个所述稳定板(2)表面的活动板(5)，所述活动板(5)的表面开设有活动槽(6)，所述活动槽(6)的内侧通过滑槽活动连接有活动环(8)，所述活动环(8)的数量为两个，两个所述活动环(8)的相对侧共同固定连接有活动筒(9)，所述活动筒(9)的表面固定连接有承载座(10)，所述活动板(5)的内部通过轴座活动安装有双向螺纹杆(11)，所述双向螺纹杆(11)的两端均螺纹连接有夹板(12)，所述夹板(12)的表面固定连接有限位块(13)，所述承载座(10)的表面开设有与限位块(13)相适配的限位槽(14)，所述承载座(10)的上表面固定连接有拉力测试机构，所述承载座(10)的下表面固定连接有压力测试机构。

2.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆凸块用推拉力测试机，其特征在于：所述电动推杆(4)的输出端固定连接于活动板(5)的上表面，所述第一测试机构和第二测试机构的结构相同。

3.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆凸块用推拉力测试机，其特征在于：所述拉力测试机构包括固定连接于承载座(10)上表面的拉力测试传感器(15)，所述拉力测试传感器(15)的表面固定连接有安装板(16)。

4.根据权利要求3所述的一种半导体晶圆凸块用推拉力测试机，其特征在于：所述安装板(16)的两侧均螺纹连接有丝杆(17)，所述丝杆(17)的一端通过轴座活动安装有夹持板(18)。

5.根据权利要求4所述的一种半导体晶圆凸块用推拉力测试机，其特征在于：所述丝杆(17)的另一端固定连接有旋钮，所述夹持板(18)与安装板(16)滑动连接。

6.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆凸块用推拉力测试机，其特征在于：所述压力测试机构包括固定连接于承载座(10)下表面的固定盘(20)。

7.根据权利要求6所述的一种半导体晶圆凸块用推拉力测试机，其特征在于：所述固定盘(20)的一端固定安装有压力测试传感器(21)，所述压力测试传感器(21)的表面固定连接有测试台(19)。

8.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆凸块用推拉力测试机，其特征在于：所述底座(1)正面和背面的两侧均固定连接有稳定块，所述稳定块的形状为矩形。