[实用新型]一种半导体设备密封锁紧机构

权利要求书

1.一种半导体设备密封锁紧机构，其特征在于：包括炉膛、炉盖、驱动机构和锁紧机构，所述炉膛内设有反应腔室，所述炉膛内的反应腔室内用于放置半导体原料，所述锁紧机构设置于所述炉膛底部，所述驱动机构能够控制所述锁紧机构将所述炉盖与所述炉膛密封连接。

2.根据权利要求1所述的半导体设备密封锁紧机构，其特征在于：还包括定位构件，所述定位构件圆周分布数个并固定安装在所述炉膛下端面上，所述炉盖上开有用于与所述定位构件对应的定位孔，所述定位构件能够起定位导向作用。

3.根据权利要求1所述的半导体设备密封锁紧机构，其特征在于：所述炉盖上端面沿圆周方向均匀开设有多个槽口，所述槽口底部设置有平滑向下的滑动斜面。

4.根据权利要求3所述的半导体设备密封锁紧机构，其特征在于：所述锁紧机构包括转环、支撑环和压紧轮；所述炉膛外套设有所述转环，所述支撑环安装在所述转环与所述炉膛之间，所述转环上开有连接槽，所述压紧轮的一端带外螺纹，此端穿过所述转环上的连接槽用螺母固定在转环上，所述压紧轮的另一端连接有滚轮，所述滚轮能够通过所述炉盖上的槽口后通过转环的转动滑至所述滑动斜面最底部；所述转环外侧连接有所述驱动机构。

5.根据权利要求4所述的半导体设备密封锁紧机构，其特征在于：所述支撑环为钢丝绳结构、滚珠结构或滑块结构；

所述支撑环为钢丝绳结构时，所述钢丝绳压在所述转环和所述炉膛之间；

所述支撑环为滚珠结构时，所述转环上开有数个圆孔，将所述滚珠通过所述圆孔装入所述转环和所述炉膛之间；所述炉膛和所述转环内侧开有锥形槽，所述滚珠圆周均匀分布在锥形槽后将所述圆孔堵住防止滚轮掉出，所述滚珠在支撑所述转环的同时又能使转动顺畅；

所述支撑环为滑块结构时，所述转环上开有数个长槽孔，所述滑块和所述炉盖上开有对应的安装孔，所述滑块穿过所述转环上的长槽孔后用螺钉安装固定在所述炉膛上，所述滑块在支撑所述转环的同时，又能使所述转环沿长槽孔方向上做转动。

6.根据权利要求4所述的半导体设备密封锁紧机构，其特征在于：所述锁紧机构还包括限位件，所述限位件穿过所述转环底部的螺纹孔后与所述压紧轮侧边固定抵接。

7.根据权利要求4所述的半导体设备密封锁紧机构，其特征在于：所述转环上开设有水平设置的连接槽，所述压紧轮的一端穿过所述连接槽后与所述转环固定连接。

8.根据权利要求4所述的半导体设备密封锁紧机构，其特征在于：所述驱动机构包括位于所述转环切线方向上，且能够伸缩的推杆，所述推杆一侧固定在设备主体上，相对所述炉膛固定不动，另一端固定安装在转环上，所述转环外侧在径向上开有一个螺纹孔，所述推杆的端部安装有一个关节轴承，所述关节轴承上穿设有螺钉，所述螺钉与所述螺纹孔固定连接。

9.根据权利要求8所述的半导体设备密封锁紧机构，其特征在于：所述推杆靠近所述转环的一侧设置有第一被测件和第二被测件，所述炉膛外侧靠近所述推杆一端设置有感应件，所述感应件用于检测所述第一被测件或第二被测件，并将感应信号传输给推杆的控制端，控制推杆停止动作。

10.根据权利要求1所述的半导体设备密封锁紧机构，其特征在于：所述炉膛和炉盖的密封连接处设置有O形密封圈。