[实用新型]一种巨量转移装置

权利要求书

1.一种巨量转移装置，其特征在于，包括用于发射激光光束的激光发射器，以及沿所述激光光束的光路依次设置的光路组件，用于固定暂存基板的上载台和用于承载显示背板的下载台，所述上载台包括控制部件和第一载台主体，所述暂存基板固定在所述第一载台主体上，所述控制部件用于调整所述第一载台主体，以使所述第一载台主体与所述下载台平行。

2.根据权利要求1所述的巨量转移装置，其特征在于，所述上载台还包括对位相机，所述对位相机设于所述第一载台主体背离所述下载台的一侧，用于采集所述暂存基板上的标记图像和所述显示背板上的标记图像。

3.根据权利要求1所述的巨量转移装置，其特征在于，所述第一载台主体上设有镂空孔，用于透过激光；并且，所述第一载台主体上围绕所述镂空孔设有第一吸附区，用于吸附固定所述暂存基板。

4.根据权利要求1至3任意一项所述的巨量转移装置，其特征在于，所述下载台包括：

第二载台主体，与所述第一载台主体相对设置，用于承载所述显示背板；以及

测距模块，设于所述第二载台主体的边缘位置，用于测量所述第一载台主体与所述第二载台主体之间的间距。

5.根据权利要求4所述的巨量转移装置，其特征在于，所述第二载台主体的形状为多边形；所述测距模块设有至少三个；并且，至少三个所述测距模块沿所述第二载台主体的边缘折线形排布。

6.根据权利要求4所述的巨量转移装置，其特征在于，所述第二载台主体上设有第二吸附区，所述第二吸附区的位置与所述暂存基板沿光路在所述第二载台主体上投影的位置重叠。

7.根据权利要求4所述的巨量转移装置，其特征在于，所述下载台还包括加热件，所述加热件设于所述第二载台主体内，用于加热所述显示背板。

8.根据权利要求1所述的巨量转移装置，其特征在于，所述光路组件包括半反射透镜，所述半反射透镜用于将一束所述激光光束分为两束转移光束。

9.根据权利要求8所述的巨量转移装置，其特征在于，所述光路组件还包括两组沿所述转移光束的光路设置的半波片、偏振片和聚焦透镜。

10.根据权利要求9所述的巨量转移装置，其特征在于，所述光路组件还包括束流收集器，所述束流收集器设于所述偏振片的出光光路上，用于收集偏振光。