[实用新型]晶圆传送机械手及晶圆传送装置

权利要求书

1.一种晶圆传送机械手，其特征在于，包括：

基座；

手臂，连接于所述基座上，以承接晶圆，所述手臂包括相固连的主体部和指部，所述指部内侧沿周圈覆设有限位板；以及

侦测件，设置于所述基座上，以侦测晶圆位置是否发生变化。

2.如权利要求1所述的晶圆传送机械手，其特征在于，所述限位板具有朝靠近所述基座方向收缩的校准斜面。

3.如权利要求2所述的晶圆传送机械手，其特征在于，所述限位板上开设有多个侦测孔，所述多个侦测孔位于限位板远离所述基座的一侧边沿，所述侦测件透过所述侦测孔进行侦测。

4.如权利要求1所述的晶圆传送机械手，其特征在于，包括：所述侦测件朝向晶圆方向发射侦测光，当所述晶圆位置发生变化时，所述侦测件检测到所述侦测光的反射光，并向外传输报警信号。

5.如权利要求1所述的晶圆传送机械手，其特征在于，所述侦测件的数量为至少3个，且布置于同一平面上，所述侦测件对应于晶圆所在位置。

6.如权利要求1所述的晶圆传送机械手，其特征在于，所述手臂通过支撑柱与所述基座连接，所述支撑柱连接在所述手臂的主体部上。

7.如权利要求6所述的晶圆传送机械手，其特征在于，所述晶圆传送机械手还包括驱动组件，所述驱动组件设置在基座内，以驱动所述手臂在基座上运动。

8.如权利要求7所述的晶圆传送机械手，其特征在于，所述驱动组件包括与所述支撑柱连接的皮带、驱动所述皮带运动的驱动电机以及连接于所述皮带和驱动电机之间的转动件。

9.如权利要求1所述的晶圆传送机械手，其特征在于，所述晶圆传送机械手还包括机械臂，所述机械臂与所述基座连接，以移动所述基座。

10.一种晶圆传送装置，其特征在于，包括如权利要求1-9中任一项所述的晶圆传送机械手。