[发明专利]一种组合物、制备方法及其在晶圆激光切割中的应用

权利要求书

1.一种组合物，其特征在于，以质量份计，所述组合物包括：

水溶性树脂20-35份；流平剂0.05-0.3份；紫外线吸收剂0.1-0.5份；缓蚀剂0.1-3份；增塑剂2-10份；有机溶剂45-70份；去离子水15-30份；

其中，所述水溶性树脂包括亲水基团，所述亲水基团选自羟基、酰胺基、羧基中的至少一种。

2.根据权利要求1所述的一种组合物，其特征在于，所述组合物包括：

水溶性树脂25-30份；流平剂0.05-0.1份；紫外线吸收剂0.2-0.3份；缓蚀剂1-2份；增塑剂2-5份；有机溶剂60-70份；去离子水15-20份。

3.根据权利要求1所述的一种组合物，其特征在于，所述水溶性树脂由第一单体和第二单体通过共聚制得；其中，所述第一单体选自侧基含有所述羟基、所述酰胺基、所述羧基中的至少一种的化合物，所述第二单体选自侧基含有所述羟基、所述酰胺基、所述羧基中的至少一种的化合物。

4.根据权利要求3所述的一种组合物，其特征在于，所述第一单体选自侧基含有所述酰胺基的化合物，所述第二单体选自侧基含有所述羟基的化合物；或者，

所述第一单体选自侧基含有所述酰胺基的化合物，所述第二单体选自侧基含有所述羧基的化合物；或者，

所述第一单体选自侧基含有所述酰胺基的化合物，所述第二单体选自侧基含有所述酰胺基的化合物，且所述第二单体与所述第一单体各自为不同的化合物。

5.根据权利要求4所述的一种组合物，其特征在于，所述第一单体选自苯甲酰胺、丙烯酰胺、N,N-二甲基甲酰胺中的至少一种，所述第二单体选自甲基丙烯酸羟乙酯、丙烯酸羟乙酯、丙烯酸羟丙酯、丙烯酸羟丁酯中的至少一种；或者

所述第一单体选自苯甲酰胺、丙烯酰胺、N,N-二甲基甲酰胺中的至少一种，所述第二单体选自丙烯酸、甲基丙烯酸、顺丁烯二酸酐、亚甲基丁二酸中的至少一种；

所述第一单体选自苯甲酰胺、丙烯酰胺、N,N-二甲基甲酰胺中的至少一种，所述第二单体选自苯甲酰胺、丙烯酰胺、N,N-二甲基甲酰胺中的的至少一种，且所述第二单体与所述第一单体各自为不同的化合物。

6.根据权利要求3所述的一种组合物，其特征在于，所述第一单体和所述第二单体共聚的质量比为25:(5-10)。

7.根据权利要求1所述的一种组合物，其特征在于，所述水溶性树脂的分子量为50000～80000。

8.根据权利要求1所述的一种组合物，其特征在于，所述流平剂选自聚醚改性有机硅、聚酯改性有机硅、端基改性有机硅中的至少一种；和/或，

所述紫外线吸收剂选自阿魏酸、2-羟基-4正辛氧基二苯甲酮、2,4-二羟基苯甲酮、2-羟基-4-二乙胺基-2-羧基二苯甲酮中的至少一种；和/或，

所述缓蚀剂选自环己胺、硅酸钠、苯甲酸钠中的至少一种；和/或，

所述增塑剂选自甘油、1,3-丁二醇、聚乙二醇中的至少一种。

9.权利要求1-8任一项所述的一种组合物的制备方法，其特征在于，包括：分别称取各自质量份的水溶性树脂、流平剂、紫外线吸收剂、缓蚀剂、增塑剂、有机溶剂和去离子水，混合、搅拌后，制备得到组合物；其中，所述搅拌的速度为200～500rpm；所述搅拌的时间为1～5h。

10.一种权利要求1-8任一项所述的组合物在晶圆激光切割中作为激光切割保护材料的应用。