[发明专利]一种高效稳定的高频脉冲电源

权利要求书

1.一种高效稳定的高频脉冲电源，其特征在于，包括输入滤波(1)、整流滤波电路(2)、初级全桥变压电路(3)和次级全桥逆变升压电路(4)，用于激发低温等离子的能量由次级全桥逆变升压电路(4)输出，且所述的次级全桥逆变升压电路(4)的能量输出端连接有用于检测输出电压和电流的输出回路保护电路(5)，所述的输出回路保护电路(5)连接于控制电路(6)，所述的控制电路(6)连接于所述的初级全桥变压电路(3)以控制初级全桥变压电路(3)的输出电压，所述初级全桥变压电路(3)的输出端连接于所述次级全桥逆变升压电路(4)的输入端以控制次级全桥逆变升压电路(4)的能量输出。

2.根据权利要求1所述的高效稳定的高频脉冲电源，其特征在于，所述的输入滤波(1)还连接有辅助电源变换电路(7)，所述的控制电路(6)由所述的辅助电源变换电路(7)供电。

3.根据权利要求1所述的高效稳定的高频脉冲电源，其特征在于，次级全桥逆变升压电路(4)输出的能量为电压值可调的高频脉冲波形。

4.根据权利要求3所述的高效稳定的高频脉冲电源，其特征在于，所述的次级全桥逆变升压电路(4)的初级线圈端具有由多个开关管构成的脉冲开关电路(9)，所述的控制电路(6)连接于所述的脉冲开关电路(9)，并通过PWM控制脉冲开关电路(9)的各个开关管以使次级全桥逆变升压电路(4)输出脉冲波形。

5.根据权利要求4所述的高效稳定的高频脉冲电源，其特征在于，所述初级全桥变压电路(3)的初级线圈端具有由至少一个开关管构成的调压开关电路(8)，所述的控制电路(6)连接于所述的调压开关电路(8)以控制初级全桥变压电路(3)的输出电压。

6.根据权利要求5所述的高效稳定的高频脉冲电源，其特征在于，所述的输出回路保护电路(5)用于对次级全桥逆变升压电路(4)的输出端进行电流电压提取，并将提取的电流电压值返回给控制电路(6)，以使控制电路(6)根据所述的电压电流值，通过控制调压开关电路(8)控制系统输出稳定的能量。

7.根据权利要求5所述的高效稳定的高频脉冲电源，其特征在于，所述的控制电路(6)还用于在输出回路保护电路(5)检测到电流电压超出过电压过电流保护阈值时断开调压开关电路(8)。

8.根据权利要求1所述的高效稳定的高频脉冲电源，其特征在于，所述的初级全桥变压电路(3)的次级线圈包括有两个方向相反的线圈，且两个线圈具有一个公共引线端。

9.根据权利要求8所述的高效稳定的高频脉冲电源，其特征在于，所述的初级全桥变压电路(3)的次级线圈三个引线端均通过至少两个管脚输出，每个引线端通过至少两个管脚输出后连接于所述的次级全桥逆变升压电路(4)。

10.根据权利要求1-9任意一项所述的高效稳定的高频脉冲电源，其特征在于，高频脉冲电源的脚踏开关插座被接地处理。