[发明专利]精密掩模版及其制作方法

说明书

本申请提供一种精密掩模版及其制作方法，涉及显示技术领域，用于解决张网时精密掩模版易出现褶皱的技术问题。该精密掩模版具有相连接的边框区和蒸镀区；位于蒸镀区的精密掩模版具有呈阵列排布的多个蒸镀开口；任一蒸镀开口和与其相邻的所有的蒸镀开口中，任意相邻的两个蒸镀开口的内侧面相交的区域形成第一阻隔部，第一阻隔部的厚度小于位于边框区的精密掩模版的厚度；任意相邻的两个蒸镀开口的内侧面不相交的区域形成第二阻隔部，第二阻隔部的厚度小于位于边框区的精密掩模版的厚度。该精密掩模版，能够减小或消除第一阻隔部和第二阻隔部之间的厚度差异，提高精密掩模版的强度均匀性，从而避免施加拉力时精密掩模版出现褶皱。

技术领域

本申请实施例涉及显示技术领域，尤其涉及一种精密掩模版及其制作方法。

背景技术

有机发光二极管(organic light-emitting diode，简称OLED)显示面板因其具有自发光、宽视角、广色域、可弯折等优点被广泛应用于手机、平板电脑等显示装置中。在OLED显示面板的生产过程中，一般通过精密掩模版将发光材料蒸镀于基板上，以在基板上形成所需的发光单元。在使用精密掩模版之前，需要对精密掩模版进行张网。然而，在张网过程中对精密掩模版施加拉力时，精密掩模版易出现褶皱，蒸镀时会使得发光材料的位置发生偏移，造成OLED显示面板的发光单元交叠而出现混色。

发明内容

鉴于上述问题，本申请实施例提供一种精密掩模版及其制作方法，以解决张网时精密掩模版易出现褶皱的技术问题。

为了实现上述目的，本申请实施例提供如下技术方案：

本申请实施例第一方面提供一种精密掩模版，所述精密掩模版具有相连接的边框区和蒸镀区；位于所述蒸镀区的所述精密掩模版具有呈阵列排布的多个蒸镀开口；任一所述蒸镀开口和与其相邻的所有的蒸镀开口中，任意相邻的两个所述蒸镀开口的内侧面相交的区域形成第一阻隔部，所述第一阻隔部的厚度小于位于所述边框区的所述精密掩模版的厚度；任意相邻的两个所述蒸镀开口的内侧面不相交的区域形成第二阻隔部，所述第二阻隔部的厚度小于位于所述边框区的所述精密掩模版的厚度。

本申请实施例的精密掩膜板，在任一蒸镀开口和与其相邻的所有的蒸镀开口中，对任意相邻的两个蒸镀开口的内侧面不相交的区域的精密掩模版进行减薄，以形成第二阻隔部。由于第二阻隔部的厚度小于位于边框区的精密掩模版的厚度，减小或消除了第一阻隔部和第二阻隔部之间的厚度差异，提高了精密掩模版的强度均匀性，从而避免了施加拉力时精密掩模版出现褶皱，进而防止OLED显示面板出现混色的问题。

在一些可能的实现方式中，所述第一阻隔部的厚度与所述第二阻隔部的厚度之比大于百分之六十，且小于或等于百分之百。

在一些可能的实现方式中，多个所述蒸镀开口呈矩阵排布，任意相邻两行中任意相邻的四个所述蒸镀开口包围一个所述第二阻隔部。

在一些可能的实现方式中，任一行中的所述蒸镀开口和与其相邻行中的所述蒸镀开口错位设置，该相邻两行中任意相邻的三个所述蒸镀开口包围一个所述第二阻隔部。

在一些可能的实现方式中，所述精密掩模版包括被配置为朝向待蒸镀基板的第一表面，以及被配置为朝向蒸镀源的第二表面；所述蒸镀开口包括相连通的第一凹槽和第二凹槽，所述第一凹槽由所述第一表面向所述第二表面的方向延伸，且在所述第一表面形成第一开口；所述第二凹槽由所述第二表面向所述第一表面的方向延伸，且在所述第二表面形成第二开口，所述第二凹槽和所述第一凹槽相交的区域形成阻挡环，所述第二开口在所述第一表面的正投影覆盖所述第一开口，所述阻挡环在所述第一表面的正投影位于所述第一开口内。

本申请实施例第二方面提供一种精密掩模版的制作方法，包括：

提供基板，所述基板具有相连接的边框区和蒸镀区；