[实用新型]一种通用掩模版盒有效

申请号：	201821461009.2	申请日：	2018-09-07
公开（公告）号：	CN208796016U	公开（公告）日：	2019-04-26
发明（设计）人：	朱希进;尤春;刘维维;季书凤;杨长华;薛文卿;张月圆;刘浩;陈青;刘孝君	申请（专利权）人：	无锡中微掩模电子有限公司
主分类号：	G03F1/66	分类号：	G03F1/66
代理公司：	连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙) 32330	代理人：	刘刚
地址：	214000 江***	国省代码：	江苏;32
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摘要：	本实用新型公开了一种通用掩模版盒，包括掩模版盒上合盖，掩模版盒上合盖一侧设有掩模版存放盒，掩模版盒上合盖和掩模版存放盒之间通过两个软铰链连接，掩模版盒上合盖和掩模版存放盒上均设有5009掩模版限板，5009掩模版限板分别设置于掩模版盒上合盖和掩模版存放盒的四边中心位置，每个设有两个限位杆，上的限位板之间设有5009掩模版限位槽，掩模版盒上合盖和掩模版存放盒四周均设有6025掩模版限位板，5009掩模版限板内侧设有互为直角的倾斜面，本实用新型所达到的有益效果是：本实用新型结构紧凑，在使用方便、功能实用、方便加工且定位简单的同时达到防水雾、防尘的功能，绿色环保。
搜索关键词：	掩模版掩模版盒合盖存放盒本实用新型限板通用掩模版限位板四边中心位置绿色环保防尘防水雾倾斜面软铰链限位槽限位杆加工
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【主权项】：

1.一种通用掩模版盒，包括掩模版盒上合盖(1)，其特征在于，所述掩模版盒上合盖(1)一侧设有掩模版存放盒(2)，所述掩模版盒上合盖(1)和掩模版存放盒(2)之间通过两个软铰链(3)连接，所述掩模版盒上合盖(1)和掩模版存放盒(2)上均设有5009掩模版限板(6)，所述5009掩模版限板(6)分别设置于掩模版盒上合盖(1)和掩模版存放盒(2)的四边中心位置，每个所述5009掩模版限板(6)设有两个限位杆，所述5009掩模版限板(6)上的限位板之间设有5009掩模版限位槽(7)，所述掩模版盒上合盖(1)和掩模版存放盒(2)四周均设有6025掩模版限位板(8)，所述5009掩模版限板(6)内侧设有互为直角的倾斜面，四个所述5009掩模版限板(6)之间的倾斜面之间形成5009掩模版存放区(10)，四个所述6025掩模版限位板(8)之间形成6025掩模版存放区(5)，每个所述掩模版存放盒(2)上的6025掩模版限位板(8)内两侧各设有一个卡接槽(9)，每个所述掩模版盒上合盖(1)上的6025掩模版限位板(8)内两侧各设有一个卡接柱(4)，所述卡接柱(4)卡接于卡接槽(9)上，所述掩模版盒上合盖(1)和掩模版存放盒(2)通过卡接柱(4)和卡接槽(9)互相连接。

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摘要：本实用新型公开了一种通用掩模版盒，包括掩模版盒上合盖，掩模版盒上合盖一侧设有掩模版存放盒，掩模版盒上合盖和掩模版存放盒之间通过两个软铰链连接，掩模版盒上合盖和掩模版存放盒上均设有5009掩模版限板，5009掩模版限板分别设置于掩模版盒上合盖和掩模版存放盒的四边中心位置，每个设有两个限位杆，上的限位板之间设有5009掩模版限位槽，掩模版盒上合盖和掩模版存放盒四周均设有6025掩模版限位板，5009掩模版限板内侧设有互为直角的倾斜面，本实用新型所达到的有益效果是：本实用新型结构紧凑，在使用方便、功能实用、方便加工且定位简单的同时达到防水雾、防尘的功能，绿色环保。

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摘要：本发明提出一种掩膜版、制造方法及设备，显示治具的技术领域，包括相对设置的第一基板和第二基板，第一基板的下表面上设置有多个阵列排布的第一遮光区，第二基板的上表面设置有多个阵列排布的第二遮光区，第一遮光区和第二遮光区的形状相同且位置一一对应；其中，掩膜版还包括有框胶，第一基板和第二基板通过框胶连接。本发明的掩膜版、制造方法及设备，可用于紫外光固化装置，通过使用两片同机型的掩膜版，经过相关工艺流程，使之形成合板的掩膜版，有效的保护膜面。

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一种通用掩模版盒-201811041483.4
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摘要：本发明公开了一种通用掩模版盒，包括掩模版盒上合盖，掩模版盒上合盖一侧设有掩模版存放盒，掩模版盒上合盖和掩模版存放盒之间通过两个软铰链连接，掩模版盒上合盖和掩模版存放盒上均设有5009掩模版限板，5009掩模版限板分别设置于掩模版盒上合盖和掩模版存放盒的四边中心位置，每个设有两个限位杆，上的限位板之间设有5009掩模版限位槽，掩模版盒上合盖和掩模版存放盒四周均设有6025掩模版限位板，5009掩模版限板内侧设有互为直角的倾斜面，本发明所达到的有益效果是：本发明结构紧凑，在使用方便、功能实用、方便加工且定位简单的同时达到防水雾、防尘的功能，绿色环保。

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一种光刻机的光罩存放单元及光刻机-201820612307.0
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申请日： 2018-04-26 - 公布日： 2018-11-27 - 主分类号： G03F1/66
摘要：本实用新型公开了一种光刻机的光罩存放单元及光刻机，光刻机的光罩存放单元包括光罩存放台，光罩存放台上设置有光罩支撑架和喷嘴支撑架，光罩存放单元连接一干燥净化装置，干燥净化装置接入干燥气。采用实用新型的技术方案降低了光罩存放单元的环境湿度，抑制了光罩雾化的生长速度，实现提高产品良率，避免了光罩送洗断线所造成的经济损失。

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摘要：本实用新型提供一种光罩盒，包括第一盒体、第二盒体及锁扣机构。第一盒体具有多个第一定位部。第二盒体可沿第一方向相对第一盒体开合，并与第一盒体共同形成容置空间。第二盒体具有多个第二定位部，这些第二定位部与这些第一定位部相配合以共同定位并支撑光罩。锁扣机构包括设于第一盒体及第二盒体中的一者的滑扣单元，及设于第一盒体及第二盒体中的另一者的扣勾单元。当第二盒体与第一盒体相对盖合时，滑扣单元与扣勾单元可相互扣合以将光罩盒固定于闭合状态，且至少一第一定位部与至少一第二定位部沿垂直于第一方向的方向相互挡止。可提高作业时的便利性及可靠度，避免外界的杂物因盖合不确实而进入光罩盒污染光罩及光罩在传送过程中受到损伤。

光罩存储装置-201711456006.X
发明人：魏德萌 -专利权人：武汉华星光电技术有限公司
申请日： 2017-12-28 - 公布日： 2018-06-19 - 主分类号： G03F1/66
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掩模版盒的上锁和解锁装置-201310049277.9
发明人：郑锋标;王长刚 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2013-02-07 - 公布日： 2018-01-19 - 主分类号： G03F1/66
摘要：本发明属于TFT光刻设备领域，具体涉及一种掩模版盒的上锁和解锁装置。所述装置包括版叉机构、夹持机构和版盒升降机构，所述版叉机构包括左导轨、设置在左导轨上可直线往复运动的左版叉、右导轨、设置在右导轨上可直线往复运动的右版叉、驱使左版叉及右版叉反向运动的同步带和驱动同步带的驱动件；所述夹持机构包括与锁扣件一一对应的卡爪；所述版盒升降机构从版盒下部托载版盒，版盒随版盒升降机构升起或下降。本发明提供技术方案采用低成本的微型气缸和同步带作为传动件；增加了版盒的保护挡板同时以分步方式进行上锁和解锁，保证过程的稳定可靠；为了保证掩模的工作环境，本发明还引入了伸缩密封箱来提供洁净环境。

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摘要：一种光罩盒，包含一第一盒体、一第二盒体、一锁扣机构及一无线识别装置。该第一盒体与该第二盒体由金属材质制成，且该第二盒体可沿一第一方向相对该第一盒体开合，并共同形成一容置空间。该锁扣机构由绝缘材质制成，包括一设于该第一盒体的第一锁扣件，及一设于该第二盒体的第二锁扣件，该第一锁扣件与该第二锁扣件可释锁地相互锁扣以将该第一盒体与该第二盒体锁定于一闭合状态。该无线识别装置设于该第一锁扣件与该第二锁扣件其中的一者，并与该第一盒体或该第二盒体间隔一段距离，不仅能避免无线识别装置的判读受干扰，也方便组装。

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摘要：一种新型光罩存储盒，包括盒体，盒体侧部设有与盒体内部连通的放置口，放置口上设有与盒体上部铰接的前板，前板与盒体下部通过锁扣固连；盒体顶面为透明的，且盒体顶面上设有加强筋；在盒体的内底面上固设有防磨件和感应件，防磨件与盒体侧面贴合；盒体的外底面上固设有4～10个支撑件。本实用新型使用方便，设置的前板方便了对光罩的放置，避免了光罩过多的接触空气；设于盒体内底面上的防磨件避免了对光罩的磨损；实现了光罩的放置，避免了光罩直接接触空气，造成的光罩污染。

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发明人：张剑鸣 -专利权人：苏州慧桥自动化设备有限公司
申请日： 2016-08-31 - 公布日： 2017-03-22 - 主分类号： G03F1/66
摘要：一种光罩存储盒，包括盒体，盒体包括水平设置的底板和盖板，底板和盖板之间设置有4个侧板，盖板前端与任意一个侧板铰接，盖板后端通过连接件与侧板连接；盖板上设有把手、观察窗和加强筋，观察窗上设有透明的树脂板；底板上表面设有光罩支撑块和感应传感器；光罩支撑块的高度等于感应装置的高度；光罩支撑块的数量为4个，4个光罩支撑块分别设于底板的4个顶角上；光罩支撑块的外壁上设有树脂防护层。本实用新型的光罩存储盒可以对光罩进行保护，防止光罩被磨损；便于光罩的搬运和使用。

掩膜板卡夹-201620455626.6
发明人：李宝军 -专利权人：鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2016-05-18 - 公布日： 2016-09-28 - 主分类号： G03F1/66
摘要：本实用新型公开了一种掩膜板卡夹，属于显示面板制造领域。所述掩膜板卡夹包括：卡夹主体；所述卡夹主体内设置有至少一个用于放置掩膜板的卡槽，每个所述卡槽包括支撑座；每个所述支撑座内设置有缓冲结构。在搬运该掩膜板卡夹的过程中，支撑座内的缓冲结构能够对掩膜板卡夹与掩膜板之间的碰撞起到缓冲作用，有效减小碰撞对掩膜板造成的损坏，解决了相关技术中的掩膜板卡可能会对掩膜板造成损坏的问题。本实用新型用于装载掩膜板。

光罩盒-201620064742.5
发明人：郑宸雅;萧芝岳 -专利权人：华邦电子股份有限公司
申请日： 2016-01-22 - 公布日： 2016-08-31 - 主分类号： G03F1/66
摘要：本实用新型提供一种光罩盒，其包括上盖以及底座。底座位于上盖的相对侧且包括多个支撑架与多个限位件。限位件位于光罩盒的三侧。支撑架适于支撑光罩，且光罩位于支撑架与上盖之间。光罩适于以第一摆设方向或由第一摆设方向转90度的第二摆设方向配置于支撑架上。在第一摆设方向以及第二摆设方向下，支撑架皆位于光罩的多个周边区的下方，且支撑架的边缘不超出周边区。本实用新型提供的光罩盒具有改良的支撑架配置，可避免因光罩的摆设方向不同而损害光罩。

防尘薄膜组件收纳容器-201610022706.7
发明人：関原一敏 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2016-01-14 - 公布日： 2016-07-27 - 主分类号： G03F1/66
摘要：提供一种在运送未使用分离片的防尘薄膜组件时掩模粘着层不发生损伤等的防尘薄膜组件收纳容器。本发明的防尘薄膜组件收纳容器是包括收纳未使用保护掩模粘着层(22)的分离片的矩形防尘薄膜组件的防尘薄膜组件(20)收纳容器本体、嵌合于所述防尘薄膜组件收纳容器本体(20)中的密闭的盖体(17)的防尘薄膜组件收纳容器，其特点是，在上述防尘薄膜组件收纳容器本体(11)上设置外侧高起的阶梯状防尘薄膜组件框架支承装置(12)，防尘薄膜组件框架的掩模粘着层未涂布区域(23)支承在阶梯状防尘薄膜组件框架支承装置(12)的低阶梯部上。

兼容式掩模版上下料用花篮-201420177506.5
发明人：陈友篷;杨晨 -专利权人：无锡中微掩模电子有限公司
申请日： 2014-04-11 - 公布日： 2014-08-20 - 主分类号： G03F1/66
摘要：本实用新型涉及一种兼容式掩模版上下料用花篮，所述兼容式掩模版上下料用花篮，包括花篮架；所述花篮架内设有至少一层用于放置并支撑掩模版的掩模版支撑座，所述掩模版支撑座对称分布在花篮架内；所述掩模版支撑座包括用于支撑第一掩模版的第一支撑台阶、用于支撑第二掩模版的第二支撑台阶以及用于支撑第三掩模版的第三支撑台阶；第三支撑台阶的底端位于第二支撑台阶的顶端，第二支撑台阶的顶端位于第一支撑台阶的顶端。本实用新型结构简单紧凑，使用方便，满足了不同尺寸掩模版的上下料要求，满足机械手臂的传输要求，降低了掩模频繁接触的风险，适应范围广，安全可靠。

光罩盒结构-201320883992.8
发明人：萧芝岳;郑宸雅 -专利权人：华邦电子股份有限公司
申请日： 2013-12-30 - 公布日： 2014-07-09 - 主分类号： G03F1/66
摘要：本实用新型提供了一种光罩盒结构，包括一底座及一上盖。底座承载一光罩，并且具有多个第一抵挡元件。光罩抵接于多个第一抵挡元件之间。每一第一抵挡元件具有一勾形部及一强化部。强化部成型于勾形部之中。上盖连接于底座，并且具有多个定位部。当上盖盖合于底座之上时，多个定位部抵接固定光罩。本实用新型改善了底座的抵挡元件的结构强度，能有效防止光罩发生损坏。

一种菲林存放装置-201420002444.4
发明人：谢天荣;黄朝安;夏甜甜;邱为根 -专利权人：深圳市兴达线路板有限公司
申请日： 2014-01-01 - 公布日： 2014-06-18 - 主分类号： G03F1/66
摘要：本实用新型公开了一种菲林存放装置，包括：支撑架、支撑底座、转动装置、用于装载菲林的菲林袋，所述支撑架立置于所述支撑底座上，所述转动装置以所述支撑架为转动轴，所述菲林袋一端与所述支撑架连接，另一端与所述转动装置连接，其可跟随所述转动装置绕所述支撑架转动。采用本实用新型，可以避免现有技术中取用菲林拖拽时对其造成损坏；另外，采用数字操控盘与二极管相结合的方式标示菲林的存放位置，可以方便地查找菲林，提高了工作效率。

专利分类

G 物理

G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版，例如掩膜，光掩膜；其所用空白掩膜或其所用薄膜；其专门适用于此的容器；其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜，例如通过电子束；其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜，例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM]；PSM空白；其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜；其制备，例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜，例如用于校准或测试的特殊涂层或标记；其制备

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[实用新型]一种通用掩模版盒有效

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