[发明专利]一种半导体产品的生产控制方法及装置在审

专利信息
申请号: 202211034273.9 申请日: 2022-08-26
公开(公告)号: CN115390526A 公开(公告)日: 2022-11-25
发明(设计)人: 庄金晓;王帆;汪玉明;汪超 申请(专利权)人: 长鑫存储技术有限公司
主分类号: G05B19/418 分类号: G05B19/418
代理公司: 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 代理人: 王迪
地址: 230000 安徽省合肥市*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体 产品 生产 控制 方法 装置
【说明书】:

本申请公开了一种半导体产品的生产控制方法及装置,用以在半导体产线发生意外生产中断等情况下,精准、快速地判断半导体产品所属的预设的卡控情境,从而实行卡控,避免后续造成产品、产线等安全方面的问题。本申请实施例提供的一种半导体产品的生产控制方法,包括:当半导体产品的产线中断时,从预设数据库中获取半导体产品对应的当前的机台运作流程信息;根据所述半导体产品对应的当前的机台运作流程信息,判断所述半导体产品是否属于预设的卡控情境,其中,预设至少一种卡控情境,不同的卡控情境对应不同的禁止码;对于属于预设的卡控情境的半导体产品,设置所述半导体产品所属的卡控情境对应的禁止码,并进行卡控。

技术领域

本申请涉及半导体技术领域,尤其涉及一种半导体产品的生产控制方法及装置。

背景技术

在目前的半导体产业中,需要通过有经验的工程师,针对产线上的突发中断意外情况,做完判定后再交由其他工程师分工处理。而当前产线上的意外停止状况多样化,不同状况会有不同的处理流程,容易造成操作失误,并会造成作业流程耗时过久,处理流程不及时且不够完善,跨部门协作过程会容易造成错误,造成产线的安全风险以及产品的安全风险,导致严重损失。

发明内容

本申请实施例提供了一种半导体产品的生产控制方法及装置,用以在半导体产线发生意外生产中断等情况下,精准、快速地判断半导体产品所属的预设的卡控情境,从而实行卡控,避免后续造成产品、产线等安全方面的问题。

本申请实施例提供的一种半导体产品的生产控制方法,包括:

当半导体产品的产线中断时,从预设数据库中获取半导体产品对应的当前的机台运作流程信息;

根据所述半导体产品对应的当前的机台运作流程信息,判断所述半导体产品是否属于预设的卡控情境,其中,预设至少一种卡控情境,不同的卡控情境对应不同的禁止码;

对于属于预设的卡控情境的半导体产品,设置所述半导体产品所属的卡控情境对应的禁止码,并进行卡控。

通过所述方法,当半导体产品的产线中断时,从预设数据库中获取半导体产品对应的当前的机台运作流程信息;根据所述半导体产品对应的当前的机台运作流程信息,判断所述半导体产品是否属于预设的卡控情境,其中,预设至少一种卡控情境,不同的卡控情境对应不同的禁止码;对于属于预设的卡控情境的半导体产品,设置所述半导体产品所属的卡控情境对应的禁止码,并进行卡控,从而在半导体产线发生意外生产中断等情况下,精准、快速地判断半导体产品所属的预设的卡控情境,从而实行卡控,避免后续造成产品、产线等安全方面的问题。

在一些实施方式中,预设的卡控情境为下列情境之一:

第一卡控情境:半导体产品有搬送信息,但无当前站点预约完成及上机台完成信息;

第二卡控情境:半导体产品有当前站点预约完成信息,但无上机台完成信息;

第三卡控情境:半导体产品有当前站点预约完成信息,但无机台开始执行信息;

第四卡控情境:半导体产品有当前站点预约完成信息及机台开始执行信息,但无机台抽片信息;

第五卡控情境:半导体产品有机台开始处理信息,但无所述机台处理完成信息。

在一些实施方式中,当所述半导体产品对应的当前的机台运作流程信息,满足如下条件时,确定所述半导体产品属于所述第三卡控情境:

所述半导体产品有当前站点预约完成信息,以及上机台完成信息,但无机台开始执行信息以及执行完成准备搬离信息。

在一些实施方式中,当所述半导体产品对应的当前的机台运作流程信息,满足如下条件时,确定所述半导体产品属于所述第四卡控情境:

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