[发明专利]一种半导体产品的生产控制方法及装置

权利要求书

1.一种半导体产品的生产控制方法，其特征在于，该方法包括：

当半导体产品的产线中断时，从预设数据库中获取半导体产品对应的当前的机台运作流程信息；

根据所述半导体产品对应的当前的机台运作流程信息，判断所述半导体产品是否属于预设的卡控情境，其中，预设至少一种卡控情境，不同的卡控情境对应不同的禁止码；

对于属于预设的卡控情境的半导体产品，设置所述半导体产品所属的卡控情境对应的禁止码，并进行卡控。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，预设的卡控情境为下列情境之一：

第一卡控情境：半导体产品有搬送信息，但无当前站点预约完成及上机台完成信息；

第二卡控情境：半导体产品有当前站点预约完成信息，但无上机台完成信息；

第三卡控情境：半导体产品有当前站点预约完成信息，但无机台开始执行信息；

第四卡控情境：半导体产品有当前站点预约完成信息及机台开始执行信息，但无机台抽片信息；

第五卡控情境：半导体产品有机台开始处理信息，但无所述机台处理完成信息。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，当所述半导体产品对应的当前的机台运作流程信息，满足如下条件时，确定所述半导体产品属于所述第三卡控情境：

所述半导体产品有当前站点预约完成信息，以及上机台完成信息，但无机台开始执行信息以及执行完成准备搬离信息。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，当所述半导体产品对应的当前的机台运作流程信息，满足如下条件时，确定所述半导体产品属于所述第四卡控情境：

所述半导体产品有当前站点预约完成信息、上机台完成信息、机台开始执行信息，但无机台抽片信息、腔室开始运作信息以及机台执行完成准备撤离信息。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，当所述半导体产品对应的当前的机台运作流程信息，满足如下条件时，确定所述半导体产品属于所述第五卡控情境：

所述半导体产品有机台开始执行信息、第一片晶圆的抽片信息、腔室开始运作信息，但没有所述机台执行完成信息以及执行完成准备撤离信息。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，对于属于预设的卡控情境的半导体产品进行卡控之后，所述方法还包括：

判断所述属于预设的卡控情境的半导体产品是否满足释放卡控的条件，如果是，则释放对于所述属于预设的卡控情境的半导体产品的卡控，否则，继续保持对于所述属于预设的卡控情境的半导体产品的卡控。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述释放卡控的条件，包括：

当前站点处理完成；

或者，当前站点处理完成，并且有下一站预约信息。

8.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述释放对于所述属于预设的卡控情境的半导体产品的卡控，包括：

删除为属于预设的卡控情境的半导体产品设置的所述禁止码，使得机台继续对所述半导体产品进行处理。

9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

发出关于当前被卡控的半导体产品的告警信息，其中包括所述禁止码，用于指示当前被卡控的半导体产品所属的卡控情境。

10.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

提供用户界面给用户；

通过所述用户界面实现用户对所述数据库中的信息进行维护，以及提示用户当前是否存在被卡控的半导体产品。

11.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

当根据所述半导体产品对应的当前的机台运作流程信息，确定存在所述半导体产品对下一站的预约信息，但不存在当前站的执行完成信息时，对所述半导体产品进行加锁管控。