[发明专利]功率半导体模块在审
申请号: | 202210577069.5 | 申请日: | 2022-05-25 |
公开(公告)号: | CN115411022A | 公开(公告)日: | 2022-11-29 |
发明(设计)人: | M·谢德;A·韦纳 | 申请(专利权)人: | 赛米控电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L25/07 | 分类号: | H01L25/07;H01L23/498;H01L23/367;H02M1/00 |
代理公司: | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人: | 谢攀;刘继富 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 功率 半导体 模块 | ||
1.功率半导体模块,其特征在于,其包括:柔性的第一衬底(2)、柔性的第二衬底(3)、第一功率半导体开关(T1)和第二功率半导体开关(T2),所述第一功率半导体开关(T1)和第二功率半导体开关(T2)布置在第一衬底(2)和第二衬底(3)之间,并且它们均具有第一负载电流连接部(C)、第二负载电流连接部(E)以及控制连接部(G),其中第一衬底(2)具有导电的第一金属层(2a)、导电的第二金属层(2b)以及布置在导电的第一金属层(2a)和导电的第二金属层(2b)之间的不导电的第一绝缘膜(2c),所述导电的第一金属层(2a)面朝向功率半导体开关(T1,T2),其中第二衬底(3)具有不导电的第二绝缘膜(3c)和布置在第二绝缘膜(3c)上的第三金属层(3a),其中第一功率半导体开关(T1)和第二功率半导体开关(T2)通过第一衬底(2)和第二衬底(3)电互连以形成半桥电路(4),其中半桥电路(4)具有第一负载电势直流电压连接部(DC+)、第二负载电势直流电压连接部(DC-)以及交流电压连接部(AC),所述第一负载电势直流电压连接部(DC+)由第一金属层(2a)的第一导体迹线(2aa)形成并在功率半导体模块(1)的运行期间具有第一电极性,所述第二负载电势直流电压连接部(DC-)由第二金属层(2b)的导体迹线(2ba)形成并在功率半导体模块(1)的运行期间具有第二电极性,所述交流电压连接部(AC)由第三金属层(3a)的导体迹线(3aa)形成。
2.根据权利要求1所述的功率半导体模块,其特征在于,第一功率半导体开关(T1)的第一负载电流连接部(C)布置在第一金属层(2a)的第一导体迹线(2aa)上并且与其导电接触,其中第二功率半导体开关(T2)的第二负载电流连接部(E)布置在第一金属层(2a)的第二导体迹线(2ab)上并与其导电接触,其中第一金属层(2a)的第二导体迹线(2ab)与第二金属层(2b)的导体迹线(2ba)导电连接,其中第一功率半导体开关(T1)的第二负载电流连接部(E)和第二功率半导体开关(T2)的第一负载电流连接部(C)与第三金属层(3a)的导体迹线(3aa)导电连接。
3.根据权利要求2所述的功率半导体模块,其特征在于,第三金属层(3aa)面向功率半导体开关(T1,T2)布置,并且第一功率半导体开关(T1)的第二负载电流连接部(E)和第二功率半导体开关(T2)的第一负载电流连接部(C)导电接触连接到第三金属层(3a)的导体迹线(3aa)。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的功率半导体模块,其特征在于,第二功率半导体开关(T2)以相对于第一功率半导体开关(T1)旋转180°的方式布置,其中旋转轴线在垂直于第一绝缘膜(2c)的法线方向(N1)的方向上延伸。
5.根据权利要求4所述的功率半导体模块,其特征在于,第一功率半导体开关(T1)的控制连接部(G)与第二衬底(3)的另一导体迹线(3ba)导电连接,并且第二功率半导体开关(T2)的控制连接部(G)与第一衬底(2)的另一导体迹线(2ac)导电连接。
6.根据权利要求5所述的功率半导体模块,其特征在于,第二衬底(3)的另一导体迹线(3ba)是第三金属层(3a)的组成部分,或者第二衬底(3)具有第四金属层(3b),其中第二绝缘膜(3c)布置在第三金属层(3a)和第四金属层(3b)之间,其中第二衬底(3)的另一导体迹线(3ba)是第四金属层(3b)的组成部分。
7.根据权利要求5所述的功率半导体模块,其特征在于,第一衬底(2)的另一导体迹线(2ac)是第一金属层(2a)或第二金属层(2b)的组成部分。
8.根据权利要求1-3中任一项所述的功率半导体模块,其特征在于,在没有布置功率半导体开关(T1,T2)的区域处,不导电的第一绝缘层(6)布置在第一金属层(2a)和第三金属层(3a)之间,其中第一绝缘层(6)是第一衬底(2)和/或第二衬底(3)的组成部分。
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