[发明专利]一种C12A7:e-电子化合物靶材及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202210573634.0 申请日: 2022-05-24
公开(公告)号: CN115044977A 公开(公告)日: 2022-09-13
发明(设计)人: 沈文兴;白平平;童培云 申请(专利权)人: 先导薄膜材料(广东)有限公司
主分类号: C30B29/22 分类号: C30B29/22;C30B11/00;C01F7/164
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 薛梦
地址: 511517 广东省清*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 c12a7 电子 化合物 及其 制备 方法
【说明书】:

本发明公开了一种C12A7:e‑电子化合物靶材及其制备方法,属于无机材料靶材制备技术领域,该方法包括以下步骤:(1)将CaCO3、Al2O3粉混合均匀后,置于石墨坩埚中,在通入惰性气体气氛炉中进行固相反应,形成C12A7化合物;(2)将步骤(1)所得的C12A7化合物破碎成粉体,将粉体置于带盖石墨桶中,然后将装有粉体的石墨桶置于真空感应炉中进行熔炼还原,采用定向凝固的方式,形成C12A7:e‑电子化合物;(3)将步骤(2)所得C12A7:e‑电子化合物加工后,与背板进行绑定,得到C12A7:e‑电子化合物靶材。采用上述方法制备的C12A7:e‑电子化合物靶材相对密度和纯度高。

技术领域

本发明涉及一种C12A7:e-电子化合物靶材及其制备方法,属于无机材料靶材制备技术领域。

背景技术

C12A7(12CaO·7Al2O3,Ca12Al14O33)具有独特的笼型晶体结构,外来的离子能够进入笼子中并可以在笼间游走,这将开创新型的固体电解质种类甚至是电子化合物,其在燃料电池。离子发射器,传感器等领域具有潜在的应用价值。

C12A7还是一种光诱导体,它在紫外照射处理后,导电性增加了10个数量级。其优点是在大自然中的储量大,原料成本低,无污染;具有良好的光透过性,最大声子能量较低,可以有效减少辐射松弛现象,经过还原处理后可以获得永久导电性,这就使C12A7在光电转换领域具有较大的应用前景。

专利CN 105951171 A,公开了一种电子化合物C12A7:e-单晶体的制备方法,采用放电等离子体烧结、光学悬浮区域熔炼以及活性物质还原法制备出高纯度、高质量的C12A7:e-单晶体,首先制备多晶棒作为棒料,通过区域熔炼,切成小薄片,再次采用金属钛块作为还原剂在石英管中进行合成C12A7:e-晶体。通过分析,虽然能够制备出C12A7:e-晶体,但是尺寸上较小、操作比较繁琐。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术的不足,提供一种C12A7:e-电子化合物靶材及其制备方法。

为实现上述目的,本发明采取的技术方案为,第一方面,提供一种C12A7:e-电子化合物靶材的制备方法,包括以下步骤:

(1)将CaCO3、Al2O3粉混合均匀后,置于石墨坩埚中,在通入惰性气体气氛炉中进行固相反应,形成C12A7化合物;其中,反应温度为1300~1400℃,升温速率为5~10℃,反应时间为4~6h;

(2)将步骤(1)所得的C12A7化合物破碎成颗粒,将颗粒置于带盖石墨桶中,然后将装有颗粒的石墨桶置于真空感应炉中进行熔炼还原,采用定向凝固的方式,形成C12A7:e-电子化合物;其中,熔炼还原的温度为1450~1600℃,时间为2~4h,定向凝固的速率为0.1~0.5mm/s;

(3)将步骤(2)所得C12A7:e-电子化合物加工后,与背板进行绑定,得到C12A7:e-电子化合物靶材。

本发明采用固相反应结合定向凝固技术,可以制备得到大尺寸C12A7:e-电子化合物;采用定向凝固技术,有效避免材料中缺陷的产生,形成致密的C12A7:e-电子化合物。在熔炼还原过程中使用带盖的高纯石墨桶,石墨桶不仅是制备C12A7:e-电子化合物的载体,同时在熔炼还原过程中,还作为还原剂,将C12A7化合物还原成C12A7:e-电子化合物,因此本发明无需添加任何还原助剂,即可得到致密度高、纯度高、内部无缺陷的C12A7:e-电子化合物。

定向凝固是指在凝固过程中采用强制手段,在凝固金属样未凝固熔体中建立起沿特定方向的温度梯度,从而使熔体在气壁上形核后沿着与热流相反的方向,按要求的结晶取向进行凝固的技术。

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