[发明专利]应用于镀膜设备的机械手

说明书

本发明提供了一种应用于镀膜设备的机械手，所述机械手包括：端部执行器和晶圆传送器；所述端部执行器包括执行器基板、加热部；所述执行器基板上设有加热部，所述加热部用于对晶圆进行加热；所述晶圆传送器用于将通过所述端部执行器预热后的晶圆传送至晶圆处理腔。本发明通过在晶圆的传送过程中对晶圆进行加热和保温，以缩短在镀膜之前对晶圆的处理时间，提高了晶圆表面的镀膜效率。

技术领域

本发明涉及晶圆传送装置技术领域，尤其涉及一种应用于镀膜设备的机械手。

背景技术

目前，在镀膜设备领域中，先对晶圆进行预热，然后通过机械手将预加热后的晶圆传送到处理腔中，以便于后续对晶圆的镀膜工作。但是在传送过程中，传送到处理腔之前的晶圆的温度会降低，导致后续对晶圆温度的加热时间会被延长，降低了镀膜效率。现有的传送装置，例如一篇公开号为CN102498556A的发明专利公开了一种用于在传送期间加热一或多个基板的设备及方法，以防止在高温下处理基板而不会受到热冲击，与本申请实际要解决的技术问题并不一样。

因此，本发明提出了一种应用于镀膜设备的机械手，以缩短在镀膜之前对晶圆的处理时间。

发明内容

本发明提出了一种应用于镀膜设备的机械手，在晶圆的传送过程中对晶圆进行加热和保温，以缩短在镀膜之前对晶圆的处理时间，提高了晶圆表面的镀膜效率。

第一方面，本发明提供一种应用于镀膜设备的机械手，包括：端部执行器和晶圆传送器；所述端部执行器包括执行器基板、加热部；所述执行器基板上设有加热部，所述加热部用于对晶圆进行加热；所述晶圆传送器用于将通过所述端部执行器预热后的晶圆传送至晶圆处理腔。

其有益效果在于：通过所述执行器基板上设有加热部，在机械手对所述晶圆的传输过程中，对所述晶圆进行预热；又因为所述加热部具有一定的温度，所以还可以实现对晶圆进行保温，进一步地，又通过所述机械手包括端部执行器和晶圆传送器，实现了在晶圆的传送过程中对晶圆进行加热和保温，以缩短在镀膜之前对晶圆的处理时间，提高了晶圆表面的镀膜效率。

可选地，所述端部执行器还包括：接触部；所述接触部设置于所述执行器基板上，且所述接触部用于放置所述晶圆。其有益效果在于：通过所述接触部用于放置所述晶圆，可以避免所述晶圆和所述执行器基板之间接触，以防止所述执行器基板上温度过高时对所述晶圆的损害。

进一步可选地，所述执行器基板上还设有供电接触点，所述加热部通过所述供电接触点连接供电部，所述供电部用于给所述加热部供电，以实现所述加热部对所述晶圆的加热。

又进一步可选地，所述执行器基板连接有测温部，所述测温部用于监测所述执行器基板表面的温度；并且所述测温部还连接所述供电部，用于通过控制所述供电部实现对所述加热部的温度的控制。其有益效果在于：通过所述测温部对所述执行器基板表面的温度以及通过控制所述供电部实现对所述加热部的温度的控制，可以实现对所述执行器基板上的温度的调节，以达到理想的加热状态。

再进一步可选地，所述加热部包括加热丝，所述加热丝均匀地分布于所述执行器基板表面。其有益效果在于：通过所述加热丝均匀地分布于所述执行器基板表面，使得所述执行器表面的温度较为均匀。

还进一步可选地，所述执行器基板上设有测温接触点；所述执行器基板连接有测温部，包括：所述执行器基板通过所述测温接触点连接所述测温部。其有益效果在于：该设计小巧灵活，不占空间。

可选地，所述执行器基板上还设有测温热偶，所述测温热偶连接所述测温接触点。

进一步可选地，所述接触部包括至少一个棱柱型接触垫，且所述棱柱型接触垫的棱柱方向为所述晶圆的直径方向。

又进一步可选地，所述棱柱型接触垫的倾斜角度为45度。

可选地，所述端部执行器和所述晶圆传送器呈堆叠结构，且所述晶圆传送器设置于所述端部执行器顶部。其有益效果在于：该设计较为节省空间。