[发明专利]应用于镀膜设备的机械手在审
| 申请号： | 202210392259.X | 申请日： | 2022-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN114496901A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 蒋征;朱佳奇 | 申请（专利权）人： | 拓荆科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687;H01L21/677;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286 | 代理人： | 黄海霞 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 应用于 镀膜 设备 机械手 | ||
1.一种应用于镀膜设备的机械手，其特征在于，包括：端部执行器和晶圆传送器；
所述端部执行器包括执行器基板、加热部；所述执行器基板上设有加热部，所述加热部用于对晶圆进行加热；
所述晶圆传送器用于将通过所述端部执行器预热后的晶圆传送至晶圆处理腔。
2.根据权利要求1所述的应用于镀膜设备的机械手，其特征在于，所述端部执行器还包括：接触部；
所述接触部设置于所述执行器基板上，且所述接触部用于放置所述晶圆。
3.根据权利要求2所述的应用于镀膜设备的机械手，其特征在于，所述执行器基板上还设有供电接触点，所述加热部通过所述供电接触点连接供电部，所述供电部用于给所述加热部供电，以实现所述加热部对所述晶圆的加热。
4.根据权利要求3所述的应用于镀膜设备的机械手，其特征在于，所述执行器基板连接有测温部，所述测温部用于监测所述执行器基板表面的温度；
并且所述测温部还连接所述供电部，用于通过控制所述供电部实现对所述加热部的温度的控制。
5.根据权利要求4所述的应用于镀膜设备的机械手，其特征在于，所述加热部包括加热丝，所述加热丝均匀地分布于所述执行器基板表面。
6.根据权利要求5所述的应用于镀膜设备的机械手，其特征在于，所述执行器基板上设有测温接触点；
所述执行器基板连接有测温部，包括：
所述执行器基板通过所述测温接触点连接所述测温部。
7.根据权利要求6所述的应用于镀膜设备的机械手，其特征在于，所述执行器基板上还设有测温热偶，所述测温热偶连接所述测温接触点。
8.根据权利要求2所述的应用于镀膜设备的机械手，其特征在于，所述接触部包括至少一个棱柱型接触垫，且所述棱柱型接触垫的棱柱方向为所述晶圆的直径方向。
9.根据权利要求8所述的应用于镀膜设备的机械手，其特征在于，所述棱柱型接触垫的倾斜角度为45度。
10.根据权利要求7所述的应用于镀膜设备的机械手，其特征在于，所述端部执行器和所述晶圆传送器呈堆叠结构，且所述晶圆传送器设置于所述端部执行器顶部。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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