[发明专利]基于导电金属带的宽禁带半导体双面散热模块封装结构在审

专利信息
申请号: 202210269699.6 申请日: 2022-03-18
公开(公告)号: CN114649279A 公开(公告)日: 2022-06-21
发明(设计)人: 王来利;熊帅;张彤宇 申请(专利权)人: 西安交通大学
主分类号: H01L23/367 分类号: H01L23/367;H01L23/49;H01L23/16
代理公司: 西安通大专利代理有限责任公司 61200 代理人: 高博
地址: 710049 *** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 基于 导电 金属 宽禁带 半导体 双面 散热 模块 封装 结构
【权利要求书】:

1.一种基于导电金属带的宽禁带半导体双面散热模块封装结构,其特征在于,包括顶部功率衬底(100)和底部功率衬底(200),顶部功率衬底(100)和底部功率衬底(200)之间设置有功率垫片,顶部功率衬底(100)和底部功率衬底(200)分别连接有功率端子,功率端子与底部功率衬底(200)之间,以及功率端子与底部功率衬底(200)之间均设置有宽禁带功率半导体芯片(400),宽禁带功率半导体芯片(400)通过导电金属带分别于底部功率衬底(200)的上表面金属区域以及顶部功率衬底(100)的下表面金属区域连接,底部功率衬底(200)的上表面金属区域与驱动端子的上桥臂驱动端子连接,顶部功率衬底(100)的下表面金属区域与驱动端子的下桥臂驱动端子连接。

2.根据权利要求1所述的基于导电金属带的宽禁带半导体双面散热模块封装结构,其特征在于,顶部功率衬底(100)从上到下依次包括顶部上表面金属层(101)、顶部绝缘介质层(102)和顶部下表面金属层(103)。

3.根据权利要求2所述的基于导电金属带的宽禁带半导体双面散热模块封装结构,其特征在于,顶部下表面金属层(103)上依次设置有顶部第一金属区域(121)、顶部第二金属区域(122)、顶部第三金属区域(123)、顶部第四金属区域(124)以及顶部第五金属区域(125),顶部第二金属区域(122)连接直流侧功率垫片(301),顶部第三金属区域(123)为开尔文源极金属区域;

下桥臂驱动端子包括第一下桥臂栅极驱动端子(112)、第一下桥臂源极驱动端子(211)、第二下桥臂栅极驱动端子(114)以及第二下桥臂源极驱动端子(115);第一下桥臂栅极驱动端子(112)和第二下桥臂栅极驱动端子(114)设置在顶部第四金属区域(124)的两端,第一下桥臂源极驱动端子(211)和第二下桥臂源极驱动端子(115)设置在顶部第三金属区域(123)的两端。

4.根据权利要求1所述的基于导电金属带的宽禁带半导体双面散热模块封装结构,其特征在于,底部功率衬底(200)从上到下依次包括底部上表面金属层(201)、底部绝缘介质层(202)和底部下表面金属层(203)。

5.根据权利要求4所述的基于导电金属带的宽禁带半导体双面散热模块封装结构,其特征在于,底部上表面金属层(201)依次设置有底部第一金属区域(221)、底部第二金属区域(222)、底部第三金属区域(223)以及底部第四金属区域(224),底部第三金属区域(223)为开尔文源极金属区域;

上桥臂驱动端子包括底部第一栅极驱动端子(212)、底部第一源极驱动端子(213)、底部第二栅极驱动端子(214)以及底部第二源极驱动端子(215);底部第一栅极驱动端子(212)和底部第二栅极驱动端子(214)设置在底部第二金属区域(222)的两端,底部第一源极驱动端子(213)和底部第二源极驱动端子(215)设置在底部第三金属区域(223)的两端。

6.根据权利要求1或2或4所述的基于导电金属带的宽禁带半导体双面散热模块封装结构,其特征在于,宽禁带功率半导体芯片(400)包括若干半导体芯片,若干半导体芯片分两组并联连接构成半桥结构的上桥臂和下桥臂,上桥臂处芯片设置在底部功率衬底(200)的上表面金属层,下桥臂处芯片设置在顶部功率衬底(100)的下表面金属层。

7.根据权利要求6所述的基于导电金属带的宽禁带半导体双面散热模块封装结构,其特征在于,两组半导体芯片的数量相同,同一组半导体芯片之间间距相同。

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