[发明专利]基于导电金属带的宽禁带半导体双面散热模块封装结构在审
| 申请号: | 202210269699.6 | 申请日: | 2022-03-18 |
| 公开(公告)号: | CN114649279A | 公开(公告)日: | 2022-06-21 |
| 发明(设计)人: | 王来利;熊帅;张彤宇 | 申请(专利权)人: | 西安交通大学 |
| 主分类号: | H01L23/367 | 分类号: | H01L23/367;H01L23/49;H01L23/16 |
| 代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 高博 |
| 地址: | 710049 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 基于 导电 金属 宽禁带 半导体 双面 散热 模块 封装 结构 | ||
1.一种基于导电金属带的宽禁带半导体双面散热模块封装结构,其特征在于,包括顶部功率衬底(100)和底部功率衬底(200),顶部功率衬底(100)和底部功率衬底(200)之间设置有功率垫片,顶部功率衬底(100)和底部功率衬底(200)分别连接有功率端子,功率端子与底部功率衬底(200)之间,以及功率端子与底部功率衬底(200)之间均设置有宽禁带功率半导体芯片(400),宽禁带功率半导体芯片(400)通过导电金属带分别于底部功率衬底(200)的上表面金属区域以及顶部功率衬底(100)的下表面金属区域连接,底部功率衬底(200)的上表面金属区域与驱动端子的上桥臂驱动端子连接,顶部功率衬底(100)的下表面金属区域与驱动端子的下桥臂驱动端子连接。
2.根据权利要求1所述的基于导电金属带的宽禁带半导体双面散热模块封装结构,其特征在于,顶部功率衬底(100)从上到下依次包括顶部上表面金属层(101)、顶部绝缘介质层(102)和顶部下表面金属层(103)。
3.根据权利要求2所述的基于导电金属带的宽禁带半导体双面散热模块封装结构,其特征在于,顶部下表面金属层(103)上依次设置有顶部第一金属区域(121)、顶部第二金属区域(122)、顶部第三金属区域(123)、顶部第四金属区域(124)以及顶部第五金属区域(125),顶部第二金属区域(122)连接直流侧功率垫片(301),顶部第三金属区域(123)为开尔文源极金属区域;
下桥臂驱动端子包括第一下桥臂栅极驱动端子(112)、第一下桥臂源极驱动端子(211)、第二下桥臂栅极驱动端子(114)以及第二下桥臂源极驱动端子(115);第一下桥臂栅极驱动端子(112)和第二下桥臂栅极驱动端子(114)设置在顶部第四金属区域(124)的两端,第一下桥臂源极驱动端子(211)和第二下桥臂源极驱动端子(115)设置在顶部第三金属区域(123)的两端。
4.根据权利要求1所述的基于导电金属带的宽禁带半导体双面散热模块封装结构,其特征在于,底部功率衬底(200)从上到下依次包括底部上表面金属层(201)、底部绝缘介质层(202)和底部下表面金属层(203)。
5.根据权利要求4所述的基于导电金属带的宽禁带半导体双面散热模块封装结构,其特征在于,底部上表面金属层(201)依次设置有底部第一金属区域(221)、底部第二金属区域(222)、底部第三金属区域(223)以及底部第四金属区域(224),底部第三金属区域(223)为开尔文源极金属区域;
上桥臂驱动端子包括底部第一栅极驱动端子(212)、底部第一源极驱动端子(213)、底部第二栅极驱动端子(214)以及底部第二源极驱动端子(215);底部第一栅极驱动端子(212)和底部第二栅极驱动端子(214)设置在底部第二金属区域(222)的两端,底部第一源极驱动端子(213)和底部第二源极驱动端子(215)设置在底部第三金属区域(223)的两端。
6.根据权利要求1或2或4所述的基于导电金属带的宽禁带半导体双面散热模块封装结构,其特征在于,宽禁带功率半导体芯片(400)包括若干半导体芯片,若干半导体芯片分两组并联连接构成半桥结构的上桥臂和下桥臂,上桥臂处芯片设置在底部功率衬底(200)的上表面金属层,下桥臂处芯片设置在顶部功率衬底(100)的下表面金属层。
7.根据权利要求6所述的基于导电金属带的宽禁带半导体双面散热模块封装结构,其特征在于,两组半导体芯片的数量相同,同一组半导体芯片之间间距相同。
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