[发明专利]显示面板及其制作方法

说明书

本发明实施例公开了一种显示面板及其制作方法；该显示面板包括多个第一薄膜晶体管和该第一薄膜晶体管电性连接的第二薄膜晶体管，该第一薄膜晶体管包括第一有源层、及和该第一有源层电连接的第一源漏极层，该显示面板还包括阳极层，该阳极层包括位于该第一源漏极层与该第一有源层之间的第一部分、及由该第一部分向远离对应该第一有源层延伸的第二部分；本发明通过一道光罩，一同形成有重叠部分的第一源漏极层和阳极层，实现第一源漏极层与阳极层电连接的同时，降低了膜层厚度，减少了光罩数量，降低了成本，简化了工艺流程，提高了生产率。

技术领域

本发明涉及显示领域，具体涉及一种显示面板及其制作方法。

背景技术

近些年，显示面板的厚度及制作成本受到广泛关注，源漏极层和阳极层之间的连接，通常需要经过源漏极层和阳极层之间的绝缘层的过孔，导致膜层的厚度增大，还需要多个不同光罩进行图案化处理，导致成本增高，工艺流程冗余，不利于良性生产。

因此，亟需一种显示面板及其制作方法以解决上述技术问题。

发明内容

本发明提供一种显示面板及其制作方法，可以优化目前源漏极层和阳极层之间制作工艺流程及结构。

本发明提供了一种显示面板，包括多个第一薄膜晶体管和所述第一薄膜晶体管电性连接的第二薄膜晶体管，所述第一薄膜晶体管包括第一有源层、及和所述第一有源层电连接的第一源漏极层；

其中，所述显示面板还包括阳极层，所述阳极层包括位于所述第一源漏极层与所述第一有源层之间的第一部分、及由所述第一部分向远离对应所述第一有源层延伸的第二部分。

优选的，所述第一源漏极层在所述阳极层上的正投影位于所述第一部分之内或者与所述第一部分重合。

优选的，所述第二薄膜晶体管包括第二有源层、及和所述第二有源层电连接的第二源漏极层；其中，所述第一有源层和所述第二有源层同层设置。

优选的，所述第一薄膜晶体管还包括位于所述第一有源层上的第一栅绝缘层、位于所述第一栅绝缘层上的第一栅极层、位于所述第一栅极层上的层间绝缘层、位于所述层间绝缘层上的第二栅极层、及位于所述第二栅极层上的平坦层，所述阳极层和所述第一源漏极层位于所述平坦层上；所述第二薄膜晶体管还包括位于所述第二有源层上的第二栅绝缘层、位于所述第二栅绝缘层上的第三栅极层、及位于所述第三栅极层上的所述层间绝缘层，所述第二源漏极层位于所述层间绝缘层上；其中，所述第一栅极层和所述第三栅极层同层设置，所述第二栅极层和所述第二源漏极层同层设置。

优选的，所述显示面板还包括位于所述第二有源层远离所述第三栅极层一侧的金属遮光层，所述第二源漏极层与所述金属遮光层电连接；其中，所述第二有源层在所述金属遮光层上的正投影位于所述金属遮光层内。

优选的，所述第一源漏极层与所述金属遮光层电连接。

优选的，所述第一有源层的材料包括低温多晶硅，所述第二有源层的材料包括金属氧化物。

优选的，所述第一源漏极层包括位于所述第一部分上的导电接触层、位于所述导电接触层上的主体导电层、及位于所述主体导电层上的导电保护层；所述阳极层的材料为透明氧化铟锡。

本发明还提供了一种显示面板的制作方法，包括：

提供一衬底；

在所述衬底上依次形成阳极材料层和第一源漏极材料层；

利用半色调光罩，将所述第一源漏极材料层形成第一源漏极层，将所述阳极材料层形成位于所述第一源漏极层靠近所述衬底一侧的第一部分、及由所述第一部分向远离对应所述第一源漏极层延伸的第二部分。