[实用新型]一种芯片贴合设备有效
申请号: | 202122634941.9 | 申请日: | 2021-10-28 |
公开(公告)号: | CN216487991U | 公开(公告)日: | 2022-05-10 |
发明(设计)人: | 陈洁;陈鸣;余寺强;丁晓华;周翔 | 申请(专利权)人: | 深圳市鹰眼在线电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/68;H01L21/66;H01L21/67;B05C5/02;B05C13/02 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 熊永强 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙岗区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 贴合 设备 | ||
1.一种芯片贴合设备,其特征在于,包括:总工作台以及安装至所述总工作台的上料摆盘模块、点胶模块、载板输送模块、翻转模块以及贴附模块,其中,所述上料摆盘模块用于将芯片基座放置预定上料位置,对所述芯片基座进行定位和检测,并将定位和检测后的芯片基座摆放在中转托盘里,所述点胶模块用于将摆放后的芯片基座进行定位和高度检测,并对所述芯片基座进行点胶作业,并将点胶后的芯片基座传输至所述翻转模块,所述翻转模块用于翻转所述芯片基座,所述载板输送模块用于将安装有芯片的载板传输至所述贴附模块并向下一台贴合设备输送未贴附芯片基座的载板,所述贴附模块用于将翻转后的芯片基座贴合于所述载板的芯片上。
2.如权利要求1所述的芯片贴合设备,其特征在于,所述上料摆盘模块包括上料组件、上料搬运组件、摆盘组件以及上料中转组件,其中,所述上料组件用于提供所述芯片基座,所述上料搬运组件用于将所述芯片基座从所述上料组件中搬运出来,所述摆盘组件用于将所述芯片基座依次摆放至所述上料中转组件,所述上料中转组件用于将所述芯片基座传输至所述点胶模块。
3.如权利要求2所述的芯片贴合设备,其特征在于,所述上料组件包括多个上料托盘、上料提篮以及多个上料提篮支撑轴,其中,多个所述上料托盘用于摆放所述芯片基座,多个所述上料托盘均位于所述上料提篮的内部并沿着所述上料提篮的高度方向依次分布,所述上料提篮中未封闭的两面相对设置且面对所述上料搬运组件,多个所述上料提篮支撑轴用于支撑所述上料提篮并带着所述上料提篮沿着所述上料提篮支撑轴的轴向方向移动。
4.如权利要求3所述的芯片贴合设备,其特征在于,所述上料搬运组件包括上料搬运工作台轴与上料搬运工作台,其中,所述上料搬运工作台与所述上料搬运工作台轴滑动连接且沿着所述上料搬运工作台轴的轴向方向移动,所述上料搬运工作台的高度介于所述上料提篮的底面与邻近所述上料提篮底面的上料托盘之间,所述上料搬运工作台用于将所述上料托盘搬运出所述上料提篮。
5.如权利要求4所述的芯片贴合设备,其特征在于,所述摆盘组件包括摆盘支座、摆盘轴、摆盘连接件、拾取杆控制元件以及拾取杆,其中,所述摆盘支座位于所述上料搬运工作台轴的两侧并与所述总工作台固定连接,所述摆盘轴固定在所述摆盘支座背离所述总工作台的一侧,且横跨所述上料搬运工作台轴并与所述上料搬运工作台轴垂直,所述摆盘连接件位于所述摆盘轴背离所述摆盘支座的一侧且与所述摆盘轴滑动连接,所述摆盘连接件面对所述上料组件的一侧固定有所述拾取杆控制元件,所述拾取杆的一端位于在所述拾取杆控制元件内且与所述拾取杆控制元件滑动连接,所述拾取杆与所述摆盘轴垂直,且所述拾取杆的轴向方向朝着所述总工作台,所述摆盘连接件沿着所述摆盘轴的轴向方向移动,所述拾取杆控制元件用于控制所述拾取杆朝着或远离所述总工作台的方向移动和拾取所述芯片基座并修正所述芯片基座。
6.如权利要求5所述的芯片贴合设备,其特征在于,所述上料中转组件包括中转托盘轴、中转托盘连接件以及中转托盘,其中,所述中转托盘轴与所述上料搬运工作台轴平行且位于所述摆盘支座的内侧,所述中转托盘轴与所述总工作台固定连接,所述中转托盘连接件位于所述中转托盘轴背对所述总工作台的一侧并与所述中转托盘轴滑动连接,所述中转托盘位于所述中转托盘连接件背离所述中转托盘轴的一侧,所述中转托盘连接件沿着所述中转托盘轴的轴向方向移动,所述中转托盘用于盛放所述芯片基座。
7.如权利要求6所述的芯片贴合设备,其特征在于,所述上料摆盘模块还包括上料定位相机组件以及上料修正相机组件,其中,所述上料定位相机组件位于所述上料搬运工作台轴与所述摆盘轴之间,用于对所述上料托盘上的所述芯片基座拍照定位,所述上料修正相机组件位于所述上料搬运工作台轴与所述中转托盘轴之间且位于所述拾取杆的下方,所述上料修正相机组件用于检测所述芯片基座是否符合预定要求并拍照标定,所述拾取杆对所述芯片基座进行修正并将其放入到中转托盘里。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造