[实用新型]一种半导体石英部件旋转平台

说明书

本实用新型涉及半导体生产设备，公开了一种半导体石英部件旋转平台，包括基台、转动安装于基台上的摆放台，所述摆放台上开设有若干围绕摆放台中心分布的滑移槽，各所述滑移槽的长度方向的延长线交汇于摆放台中心，所述滑移槽内安装有定位块，且所述基台上设置有用于驱使摆放台旋转的旋转机构；本实用新型旋转式的摆放台能够改变了工人围绕石英部件走动的清洗模式，使得工人在清洗时不容易牵拉供水管对石英部件产生碰撞，从而降低石英部件发生倾翻可能性的目的，并且可调节式的定位块能够根据石英部件高度的不同调整自身对石英部件的支撑位置，减少定位块支撑部位与石英部件重心之间的高度差，从而对石英部件形成更好的支撑。

技术领域

本实用新型涉及半导体生产设备领域，尤其是涉及一种半导体石英部件旋转平台。

背景技术

半导体技术一般指以半导体为材料，制作出组件及集成电路的技术，半导体技术在消费电子、通信系统、汽车工程、船舶工程、航空航天等领域均有着广泛应用，因此无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都非常巨大。

半导体集成电路的制作工艺，可以简单归类为晶圆的生长技术、薄膜沉积、光刻、蚀刻等，在这些工艺生产过程中，需要用到一些光刻设备、外延设备以及扩散设备等，这些设备的其中一部分关键部件为石英材质，这些石英部件包括石英舟、石英管、石英槽等，这些石英产品主要通过机加工获得，并且在加工成型后，需要进行清洗除杂，以保证石英部件具有足够的洁净度。

针对上述中的相关技术，发明人认为存在有以下缺陷：对于石英部件的清洗，一般较常采用的是浸入式或喷淋式清洗方法，浸入式由于产品会与溶解有杂质的污水产生接触，因此清洁效果并不理想。而喷淋式的清洗方法，则需要工人握持冲洗喷头围绕石英部件走动进行冲洗，在这个过程中，水管或工人容易误碰到石英产品，导致石英产品发生倾翻，而石英产品是脆性材料，非常容易发生碎裂。

实用新型内容

为了降低石英产品清洗过程中发生倾翻的可能性，本实用新型提供一种半导体石英部件旋转平台。

本实用新型提供的一种半导体石英部件旋转平台采用如下的技术方案：

一种半导体石英部件旋转平台，包括基台、转动安装于基台上的摆放台，所述摆放台上开设有若干围绕摆放台中心分布的滑移槽，各所述滑移槽的长度方向的延长线交汇于摆放台中心，所述滑移槽内安装有定位块，且所述基台上设置有用于驱使摆放台旋转的旋转机构。

通过采用上述技术方案，基台可以安装到任何设备或场地并作为摆放台的承载主体，摆放台在旋转机构的驱使下可以带动石英部件旋转，并且在旋转的过程，定位块支撑在石英部件的周围，对石英部件起到定位固定作用，而石英部件主动旋转的方式，使得操作人员在清洗石英部件时无需移动，只需要将喷淋头对准石英部件，随着摆放台的旋转即可清洗到石英部件上的各个部位，这种方式降低了工人走动时牵拉供水管导致误碰到石英部件的可能，从而达到降低石英部件发生倾翻概率的目的。

可选的，所述基台上开设有安装槽，所述摆放台放置于安装槽内，所述旋转机构包括固定于基台侧壁上且输出轴穿过基台侧壁并进入安装槽内的旋转电机、固定于旋转电机的输出轴上的旋转蜗杆以及设置于摆放台圆周侧壁上的旋转啮合齿，所述旋转蜗杆和旋转啮合齿相互啮合。

通过采用上述技术方案，安装槽用于供摆放台装入，而旋转电机用于驱动旋转蜗杆旋转，由于旋转蜗杆与摆放台侧壁上的旋转啮合齿相啮合，因此旋转蜗杆在转动的过程中能够带动摆放台旋转，从而达到带动石英部件转动的目的。

可选的，所述摆放台上设置有用于调整定位块在摆放台上位置的调节机构，所述调节机构包括固定于摆放台背对定位块一侧表面且与摆放台之间形成转动腔的扣盖、转动安装于转动腔内的调节盘，所述调节盘上开设有若干围绕调节盘中心分布的弧形槽，各所述弧形槽之间同时朝向调节盘的中心倾斜，所述定位块上固定有导向柱，所述导向柱穿设于弧形槽内，且在扣盖上设置有用于驱使调节盘旋转的调节组件。